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nung. Als Vorvakuumpumpe ist im UL 500 eine Dreh-
schieber-Vakuumpumpe TRIVAC D 4 B eingebaut.
Daten und Angaben zur Vorvakuumpumpe siehe Ge-
brauchsanleitung GA 01.201.
1.3.4 Hilfspumpe
Die im UL 500 eingebaute Hilfspumpe evakuiert einen
angeschlossenen Prüfling bis auf den Druck, bei dem er
an die Pumpseite der Turbopumpe angekoppelt werden
kann. Zusätzlich unterstützt sie die Vorpumpe im Leck-
suchbetrieb bei der Bewältigung größerer Gasmengen,
die aus dem Prüfling gelangen.
Erläuterungen zur Abb. 2
1
Totaldruck-Meßstelle, am Einlaß (P1)
2
Testanschluß
3
Bypaßventil zum Einlaßventil
4
Einlaßventil (VE)
5
Flutventil für Turbo-Molekularpumpe (VF2)
6
Zweiflutige Turbo-Molekularpumpe
7
Massenspektrometer
8
Vorpumpe TRIVAC D 4 B
Abb. 2 Funktionsschema UL 500
GA 10.204/4.01 - 08/00
Als Hilfspumpe ist im UL 500 eine Drehschieberpumpe
TRIVAC D 25 B eingebaut. Alle Daten der Hilfspumpe
siehe GA 01.202. Darüber hinaus können wahlweise die
Typen TRIVAC D 16 B, D 40 B und D 65 B als Hilfspum-
pe eingesetzt werden.
1.3.5 Massenspektrometer
Das Massenspektrometer (MS) besteht im wesentlichen
aus der Ionenquelle, dem magnetischen Trennsystem
und dem Ionenfänger (3/5).
Die Ionenquelle ionisiert neutrale Gasteilchen und
erzeugt daraus einen Ionenstrahl. Die positiv geladenen
9
Totaldruck-Meßstelle, Vorvakuum (P2)
10 Koppelventil (VK)
11 Drossel für Massivleckbetrieb
12 Hilfspumpe TRIVAC D 25 B
13 Testleck mit Testleckventil (VT)
14 Hilfspumpenventil (VH)
15 Flutventil für Prüfling (VF1)
7
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