INFICON BPG400-SD Anleitung

Funktion
Die Messröhre hat über den ganzen Messbereich eine konti-
nuierliche Kennlinie. Das Messsignal ist über den gesamten
Messbereich logarithmisch vom Druck abhängig.
Bayard-Alpert Pirani Gauge
Eingesetzt wird eine Kombination aus einem Heisskatoden-
Ionisations-Messsystem nach Bayard-Alpert (für
BPG400
p < 2.0×10
p > 5.5×10
BPG400-SD
-3
5.5×10 mbar wird ein gemischtes Signal der beiden Mess-
BPG400-SP
systeme ausgegeben. Die Heisskatode wird (zum Schutz vor
Durchbrennen) erst unterhalb der Schaltschwelle von
-2
2.4×10 mbar vom Pirani- Messsystem eingeschaltet. Aus-
geschaltet wird sie, wenn der Druck 3.2×10
Marke
DeviceNet™ Open DeviceNet Vendor Association, Inc.
Sicherheit
Verwendete Symbole
Kurzanleitung
inkl. EU-Konformitätserklärung
tima03d1-e (2016-04)
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher
Art.
Produktidentifikation
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und
Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschil-
Umweltschäden.
des erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein.
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeach-
ten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden
führen.
INFICON AG, LI-9496 Balzers
Model: Personalqualifikation
PN:
SN:
V W
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen
nur durch Personen ausgeführt werden, welche die ge-
Gültigkeit
eignete technische Ausbildung besitzen und über die nöti-
gen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber ent-
Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnum-
sprechend geschult worden sind.
mern (PN):
BPG400 ( ohne Anzeige)
Grundlegende Sicherheitsvermerke
353-500
(DN 25 ISO-KF)
353-502
(DN 40 CF-R)
• Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Pro-
zessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie
BPG400 (mit Anzeige)
die Schutzmaßnahmen ein.
353-501
(DN 25 ISO-KF)
353-503 Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werk-
(DN 40 CF-R)
stoffen und Prozessmedien.
BPG400-SD (mit DeviceNet-Schnittstelle und Schaltfunktionen)
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen (z. B. Explosion)
353-507
(DN 25 ISO-KF)
der Prozessmedien infolge Eigenerwärmung des
353-508
(DN 40 CF-R)
Produkts.
BPG400-SP (mit Profibus-Schnittstelle und Schaltfunktionen)
• Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen
353-505
(DN 25 ISO-KF)
Vorschriften und Einhaltung der Schutzmaßnahmen zu-
353-506
(DN 40 CF-R)
lässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument an-
gegebenen Sicherheitsvermerke.
Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
• Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen der Ausführung
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
353-500. Sie gelten sinngemäß auch für die anderen
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
Ausführungen.
halten Sie die Schutzmaßnahmen ein.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vor-
behalten. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.
Alle Maßangaben in mm.
Verantwortung und Gewährleistung
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährlei-
stung, falls der Betreiber oder Drittpersonen
Die Messröhren BPG400, BPG400-SD und BPG400-SP
erlauben die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich • dieses Dokument missachten
-10
von 5×10 ... 1000 mbar.
• das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen
Sie dürfen nicht für die Messung von leicht entzündbaren
• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen
oder brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidations-
usw.) vornehmen
mittel (z. B: Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen
• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zu-
verwendet werden.
gehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Röhren können mit dem Vacuum Gauge Controller
VGC103, VGC40x oder mit einem kundeneigenen Auswerte-
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten
gerät/Controller betrieben werden.
Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder
Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (z. B.
Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung.
Technische Daten
Die technischen Daten der Messröhren BPG400-SD
und BPG400-SP weichen in einigen Punkten von
denjenigen der nachfolgend beschriebenen BPG400
ab (→ "Technische Daten" in  [1] und [2]).
-2
mbar) und einem Pirani-Messsystem (für
-3 -2 Messbereich
mbar). Im überlappenden Bereich 2.0×10 ...
(Luft, O , CO, N )
2 2
Genauigkeit
-2
mbar übersteigt.
Wiederholbarkeit
Emission
Einschaltdruck
Ausschaltdruck
Emissionsstrom
-6
p ≤7.2×10 mbar
7.2×10 -6 mbar < p
<3.2×10 -2 mbar
Emissionsstrom-
Umschaltung
GEFAHR
25 µA  5 mA
5 mA  25 µA
Degas
Emissionsstrom
-6
(p <7.2×10 mbar)
WARNUNG
Steuereingangssignal
Dauer
Im Degas-Betrieb liefert die BPG400 weiterhin Messwerte,
die aber etwas grössere Toleranzwerte als bei Normal-
betrieb aufweisen können.
Vorsicht
Ausgangssignal (Messsignal)
Messbereich
Beziehung Spannung-Druck
Fehlersignal (→  [1])
Minimale Lastimpedanz
Messröhrenidentifikation
RS232C-Schnittstelle
Übertragungsrate
Datenformat
Anschlussstecker
Weitere Informationen zu der RS232C-Schnittstelle →  [1]
Anzeige (353-501, 353-503)
Darstellung
Masse
Masseinheiten
Speisung
Die Messröhre darf nur an Speise- oder Mess-
geräte angeschlossen werden, die den Anfor-
derungen der geerdeten Schutzkleinspannung
(PELV) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre
ist abzusichern
Versorgungsspannung an der
Messröhre
Stromaufnahme
Standard
Degas
Emissionsstart (200 ms)
Sicherung vorzuschalten
Leistungsaufnahme
1)
INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen.
2)
Spannungsabfall auf Speiseleitungen berücksichtigen.
Elektrischer Anschluss
Messkabel
nur Analogwerte,
ohne Degas-Funktion
Analogwerte,
mit Degas-Funktion
alle Funktionen,
inkl. RS232C-Schnittstelle
5×10 -10 ... 1000 mbar
Leitungslänge (24 V(dc))
kontinuierlich
15% des Messwertes im
Bereich
Bei RS232C-Betrieb
-8 -2
1×10 ... 10 mbar
(nach 5 Min. Stabilisierung)
Werkstoffe gegen Vakuum
5% des Messwertes im
Gehäuse, Halterungen,
Bereich
Abschirmungen
-8 -2
1×10 ... 10 mbar
Durchführungen
(nach 5 Min. Stabilisierung)
Isolator
Katode
Katodenhalter
-2
2.4×10 mbar
Pirani-Element
-2
3.2×10 mbar
Inneres Volumen
DN 25 ISO-KF
5 mA
DN 40 CF-R
Maximal zulässiger Druck
25 µA
Zulässige Temperaturen
Lagerung
-6
7.2×10 mbar
Betrieb
-5
3.2×10 mbar
Ausheizen
Relative Feuchte
Jahresmittel
≈16 mA (P ≈4.0 W)
degas
an 60 Tagen
0 V/24 V(dc), aktiv high
Verwendung
<3 Min, danach selbsttätige
Abschaltung
Schutzart
Abmessungen [mm]
0 ... +10 V
4-40UNC 2B
0.774 ... 10 V
-10
(5×10 ... 1000 mbar)
logarithmisch,
0.75 V/Dekade
≈0.3 V (Heisskatodenfehler)
≈0.5 V (Piranifehler)
10 kΩ
42 kΩ zwischen Pin 10 und
Pin 5 (Messkabel)
9600 Baud
binär
8 Daten-Bits
DN 25 ISO-KF
ein Stop-Bit
kein Parity-Bit
kein Handshake Gewicht
→ "Elektrischer Anschluss" 353-500, 353-501
353-502, 353-503
353-505, 353-507
353-506, 353-508
LCD-Matrix, 32×16 Pixels,
mit Hintergrundbeleuchtung
16.0 mm × 11.2 mm
Beziehung Messsignal – Druck
mbar (ab Werk), Torr, Pa
(Umstellen der Masseinheit
→  [1]) Druck p [mbar]
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
GEFAHR
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1)
.
1E–04
1E–05
24 V(dc) (20 ... 28 V(dc),
1E–06
Rippel ≤2 V ) 2)
pp
1E–07
1E–08
≤0.5 A
≤0.8 A
1E–09
≤1.4 A
1E–10
1.0 2.0 3.0 4.0
0.0
Messsignal U[V]
1)
1.25 AT
≤16 W
D-Sub-Stecker, 15-polig,
(U-7.75)/0.75+c
p = 10
U p
4-polig, abgeschirmt
[V] [mbar]
[V] [Pa]
5-polig, abgeschirmt
[V] [Torr]
7-polig, abgeschirmt
wobei p Druck
≤35 m (4/5/7×0.25 mm²)
U Messsignal
≤50 m (4/5/7×0.34 mm²)
c Konstante (abhängig von der Druckeinheit)
≤100 m (4/5/7×1.0 mm²)
≤30 m
Gasartabhängigkeit
Für andere Gase als Luft kann der Druck im Anzeigenbereich
p < 10 -3 mbar durch eine einfache Umrechnung ermittelt
Edelstahl
werden (ausführlichere Angaben →  [1]):
NiFe vernickelt
Glas
p = K × angezeigter Druck
Iridium, Yttriumoxyd (Y O )
eff
2 3
Molybdän
Wolfram, Kupfer
Gasart Kalibrier- Gasart
faktor K
3
≈24 cm
He 5.9 Luft, O , CO, N
3
≈34 cm
2
Ne 4.1 H
2
2 bar (absolut)
Kr 0.5 Xe
Ar 0.8
–20 ... +70 °C
0 ... +50 °C
150 °C
(Elektronikeinheit entfernt)
≤65% (nicht kondensierend)
≤85% (nicht kondensierend)
Einbau
nur in Innenräumen
Höhe bis zu 2000 m NN
Vakuumanschluss
IP 30
GEFAHR
GEFAHRt: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar
4-40UNC 2B
Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im
Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch her-
umfliegende Teile und Gesundheitsschäden
durch ausströmendes Prozessmedium führen.
Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck
im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck ge-
eignete Spannelemente verwenden.
GEFAHR
GEFAHR: Schutzerdung
Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im
Störungsfall lebensgefährlich sein.
Die Messröhre muss galvanisch mit der geerde-
DN 40 CF-R
ten Vakuumkammer verbunden sein. Die Ver-
bindung muss den Anforderungen einer Schutz-
verbindung nach EN 61010 entsprechen:
≈ 285 g
• CF-Anschlüsse entsprechen dieser Forde-
≈ 550 g
rung.
≈ 430 g
• Für KF-Flansche ist ein elektrisch leitender
≈ 695 g
Spannring zu verwenden.
Vorsicht
Vorsicht: Vakuumkomponente
Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen
die Funktion der Vakuumkomponente.
Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re-
geln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be-
schädigung beachten.
Vorsicht
Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich
Das Berühren des Produkts oder Teilen davon
mit blossen Händen erhöht die Desorptionsrate.
Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und
sauberes Werkzeug benutzen.
5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0
Die Einbaulage ist beliebig. Damit Kondensate und
Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine
waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzu-
c
gen.
0
Die Messröhre wird standardmäßig mit eingebautem
2
Gitter ausgeliefert. Bei potentiell verschmutzenden
-0.125
Anwendungen und zum Schutz der Elektroden vor
Licht und schnellen Teilchen wird empfohlen, das
optionale Baffle einzubauen ( →  [1]).
Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem an-
schliessen. Es empfiehlt sich, auf die Verwendung von
Vakuumfett zu verzichten.
Dichtung mit Zentrierring
Kalibrier-
faktor K
1.0
2
2.4 oder
0.4
Schutzdeckel
Dichtung mit Zentrierring
Spannelement und Filter
Schutzkappe aufbewahren.
Elektrischer Anschluss (BPG400)
Die nachfolgenden Angaben zum elektrischen
Anschluss sowie das Anschlussschema gelten nur
für die Messröhre BPG400 (Details zum Anschluss
und den weiteren Funktionen der Messröhren
BPG400-SD und -SP →  [1] und [2]).
Die Messröhre muss ordnungsgemäß angeschlos-
sen sein ( → "Vakuumanschluss").

Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel ge-
mäß Schema herstellen.
BPG400
TxD 13
RS232C
RxD 14
Messsignal
2
+
12
Degas 7
1.25AT
+U b
8
+
–
5
42k Ω 10 Identifikation
15
Elektrischer Anschluss
Pin 2 Signalausgang (Messsignal) 0 ... +10 V
Pin 5 Speisungserde, GND
Pin 7 Degas ein, aktiv high +24 VDC
9
Pin 8 Speisung +24 VDC
Pin 10 Messröhrenidentifikation
Pin 12 Signalerde, GND
Pin 13 RS232C, TxD
15
Pin 14 RS232C, RxD
Pin 15 Abschirmung, Gehäuse, GND
D-Sub, 15-polig
Pins 1, 3, 4, 6, 9 und 11 sind
Buchsen,
messröhrenseitig nicht belegt.
lötseitig
(2016-04)
t i ma 0 3 d 1 - e
Original: Deutsch tima03d1-e (2016-04)
24 V
1
8