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Installation und Bedienungs-Handbuch
X-TMF-SLA5800-MFC-ger
Artikel-Nummer: 541B027AAJ
Juni, 2010
®
Brooks
Massedurchflussregler
Modell SLA5850, SLA5851, SLA5853
und Massedurchflussmesser
Modell SLA5860, SLA5861, SLA5863
Modell SLA5850D
Digitaler Ein-/Ausgang
Massedurchflussregler
mit Coplanar-Ventil
Modell SLA5853S
Massedurchflussregler
analoger Ein-/Ausgang
mit RS-485
DeviceNet
TM
Massedurchflussregler
analoger Ein-/Ausgang
Brooks
Modell SLA5850S
mit RS-485
Modell SLA5850S
Massedurchflussregler analoger
Ein-/Ausgang
mit RS-485 in Downport-
Ausführung (Elastomer- gedichtet)
®
Digitaler MFC's & MFM's
Modell SLA5850F
Digitaler Ein-/Ausgang
FOUNDATION Fieldbus
Massedurchflussregler
mit Coplanar-Ventil
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Verwandte Anleitungen für Brooks SLA5850
Inhaltszusammenfassung für Brooks SLA5850
- Seite 1 Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 ® Brooks Massedurchflussregler Modell SLA5850, SLA5851, SLA5853 und Massedurchflussmesser Modell SLA5860, SLA5861, SLA5863 Modell SLA5850F Modell SLA5850D Digitaler Ein-/Ausgang Digitaler Ein-/Ausgang FOUNDATION Fieldbus DeviceNet Massedurchflussregler Massedurchflussregler...
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Seite 2: Wichtige Anweisungen
Lesen Sie diese Seite, bevor Sie fortfahren! Brooks Instrument entwickelt, produziert und testet seine Produkte derart, dass sie viele nationale und internationale Standards erfüllen. Da diese Instrumente technisch ausgefeilte Produkte sind, müssen Sie sie ordnungsgemäß installieren, verwenden und warten, um sicherzustellen, dass sie entsprechend der technischen Daten funktionieren. - Seite 3 Juni, 2010 Lieber Kunde, Wir freuen uns, dass wir Ihre Anforderungen in Bezug auf Messung und Regelung mit einem Brooks Instrument Gerät erfüllen können. Tag für Tag entscheiden sich Kunden im Durchflussbereich auf der ganzen Welt für Brooks Instrument Lösungen für ihre Gas- und Flüssigkeitsanwendungen mit geringem Durchfluss. Brooks bietet eine große Auswahl an Produkten für die Durchflussmessung und -regelung für verschiedenste Branchen - angefangen...
- Seite 4 Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN...
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Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks ® Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Paragraph Seite Nummer Nummer Abschnitt 1 Einführung Anwendungsbereich ........................1-1 Zweck ............................1-1 Beschreibung ..........................1-1 Technische Daten........................1-2 Abschnitt 2 Installation Allgemeines ..........................2-1 Erhalt der Geräte ........................ - Seite 6 Nummer Alarmausgang mit Open Collector ..................... 1-7 Allgemeine Verdrahtung ......................1-7 Ansprechleistung des digitalen Brooks Massedurchflussreglers ..........1-8 Lineare Rampenfunktion von 200 % pro Sekunde auf 0,5 % pro Sekunde Sollwertänderung... 1-8 Modell SLA5850D digitaler Ein-/Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler ......1-12 Modell SLA5850S analoger Ein-/Ausgang Massedurchflussregler mit RS-485 Elastomer Downport Anschluss ........................
- Seite 7 Inhalt Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks ® Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Von außen zugängliche Einstellmöglichkeit für alle Messer/Regler ..........3-3 Schaltkreis Störungsbeseitigung ....................4-5 Tabellen Tabelle Seite Nummer Nummer Durchflussbereiche und Nenndruck ................... 1-3 Kalibrierungsauswahlsignal......................1-9 Analoger Ein-/Ausgang Pinbelegung: ..................
- Seite 8 Inhalt Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks ® Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN...
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Seite 9: Abschnitt 1 Einführung
Großer Durchflussbereich Die SLA5800 Reihe deckt einen äußerst großen Durchflussbereich ab. Mit Modell SLA5850 kann ein Endwertdurchfluss von nur 3 ml gemessen werden. Mit einem hohen Messbereichsverhältnis von 50:1 kann ein Gasdurchfluss hinunter bis auf 0,06 ml präzise gemessen oder geregelt werden. -
Seite 10: Technische Daten
Personenschäden bzw. Schäden des Gerätes führen. LEISTUNGSDATEN: Durchflussbereiche Modelle SLA5850/SLA5860 - Jeder Endwertbereich von 0-3 ml bis 0-50 ln/ min (N2 Äq.) Bis zu 0-50 ln/min (N2 Äq.) mit der Option des coplanaren Ventils Modelle SLA5851/SLA5861 - Jeder Endwertbereich von 20-100 ln/min (N2 Äq.) -
Seite 11: Durchflussbereiche Und Nenndruck
(2) Max. Delta P für 5853 ist 20 bar (300 psi). (3) 70 bar / 1.000 psi für UL-Zertifizierung. Differenzdruckbereich (Regler) Minimum: Modell SLA5850 5 psi (0,35 bar) bis 50 ln/min (N2 Äq.) Modell SLA5851 10 psi (0,69 bar) von 30 ln/min bis 100 ln/min (N2 Äq.) Modell SLA5853 7,5 psi (0,52 bar) von 100 ln/min bis 500 ln/min (N2 Äq.) - Seite 12 Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Von innen nach außen: 1 x 10-9 atm scc/sec. Helium max. Der Drucktest an den Geräten erfolgt ohne Fittinge. Maximale / minimale Umgebungstemperatur In Betrieb: 0°C bis 65°C (32°F bis 149°F)
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Seite 13: Elektrische Daten
Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Volumenumrechnung vorgenommen wird. ELEKTRISCHE DATEN: Analoge/RS-485 Version: 15-Pin Sub-D-Stecker Digitaler Ein-/Ausgang: DeviceNet: 5-Pin Micro-Stecker FOUNDATION Fieldbus: 4-Pin Micro-Stecker Anschlussspannung Analoge Option: 13,5-27 VDC,... - Seite 14 Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Nennbereich: 0 - 5 VDC, 1 - 5 VDC Kalibrierte Genauigkeit: + 0,1 % vom Endwert Gesamter Bereich: -0,5 - 5,5 VDC (@ 0-5 VDC); 0,6 - 5,5 VDC (@ 1-5 VDC) Mind.
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Seite 15: Alarmausgang Mit Open Collector
Massedurchflussreglers und den tatsächlichen (Übergangs-) Durchfluss bis zum stabilen Zustand, wenn der Gasdurchfluss in die Prozesskammer eintritt – bei einem abrupten Sollwertsprung. Brooks Geräte verfügen auch über eine adaptive (optimierte) PID- Regelung, einschließlich schneller Ansprechzeit und linearer Regelcharakteristik und /oder Rampenfunktion. -
Seite 16: Ansprechleistung Des Digitalen Brooks Massedurchflussreglers
Die lineare Rampenfunktion ist auf 200% pro Sekunde herunter bis 0,5% pro Sekunde Sollwertänderung einstellbar. Abbildung 1-3 Ansprechleistung des digitalen Brooks Massedurchflussreglers Zeit ( Sekunden) Abbildung 1-4 Lineare Rampenfunktion von 200 % pro Sekunde auf 0,5 % pro Sekunde Sollwertänderung... -
Seite 17: Analoger Ein-/Ausgang Pinbelegung
Siehe Tabelle 1-3 (Pinbelegung analoger Ein-/Ausgang), dadurch kann das Gerät über einen PC zur Prozesssteuerung verwendet werden. In Bezug auf RS-485 können folgende Baud-Raten für die digitale Brooks Serie ausgewählt werden: 1.200, 2.400, 4.800, 9.600, 19.200 und 38.400 Baud. Die Baud-Raten können über die Brooks Service Suite... - Seite 18 DeviceNet Produkte über MAC ID Schalter ausgewählt werden, die am Gerät angebracht sind. Die Kommunikation über DeviceNet bietet auch Zugang zu vielen Funktionen der digitalen Brooks SLAMf Serie für Regelungs- und Überwachungsaufgaben, einschließlich: Genaue Sollwerteinstellung und Istwertmessung (einschließlich •...
- Seite 19 Siehe Tabelle 1-1 für weitere Informationen zum Thema Druck PC-basierte Support-Tools Brooks Instrument bietet eine Vielzahl von PC-basierten Prozess- und Servicetools an, um den Bedarf unserer Kunden zu erfüllen. SmartDDE kann mit jeder Einheit, die RS-485 unterstützt, in einer Mehrpunktkonfiguration (multi-drop) verwendet werden, wodurch Anwender ihre Brooks Geräte regeln und überwachen können.
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Seite 20: Modell Sla5850D Digitaler Ein-/Ausgang Devicenet Massedurchflussregler
Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Abbildung 1-5 Modell SLA5850D digitaler Ein-/Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler Abbildung 1-6 Modell SLA5850S analoger Ein-/Ausgang Massedurchflussregler mit RS-485 Elastomer Downport Anschluss 1-12... -
Seite 21: Modell Sla5850F Digitaler Ein-/Ausgang Foundation Fieldbus Massedurchflussregler Mit
Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Abbildung 1-7 Modell SLA5850F digitaler Ein-/Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussregler mit coplanarem Ventil Abbildung 1-8 Modell SLA5851D digitaler Ein-/Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler 1-13... -
Seite 22: Modell Sla5853F Digitaler Ein-/Ausgang Foundation Fieldbus Massedurchflussregler
Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Abbildung 1-9 Modell SLA5853F digitaler Ein-/Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussregler Abbildung 1-10 Modell SLA5853S analoger Ein-/Ausgang Massedurchflussregler mit Flanschanschluss 1-14... -
Seite 23: Modell Sla5860S Analoger Ein-/Ausgang Massedurchflussmesser Mit Rs-485
Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Abbildung 1-11 Modell SLA5860S analoger Ein-/Ausgang Massedurchflussmesser mit RS-485 Abbildung 1-12 Modell SLA5861F digitaler Ein-/Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussmesser 1-15... - Seite 24 Abschnitt 1 Einführung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC's & MFM's ® Juni, 2010 Abbildung 1-13 Modell SLA5863D digitaler Ein-/Ausgang DeviceNet Massedurchflussmesser 1-16...
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Seite 25: Abschnitt 2 Installation
Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 2-1 Allgemeines Dieser Abschnitt enthält Installationsanweisungen für die digitalen Brooks® Massedurchflussregler und -messer. In Abschnitt 1, Abbildungen 1-5 bis 1-12 sind die Maße und elektrischen Anschlüsse dargestellt. 2-2 Erhalt der Geräte Nach Erhalt der Geräte prüfen Sie bitte die Außenverpackung der Geräte auf Transportschäden. -
Seite 26: Rücklieferung
Email: BrooksAs@BrooksInstrument.com Fax +31 (0) 318 549 309 E-mail: BrooksEu@BrooksInstrument.com Für jedes Gerät, das an Brooks zurück gesandt wird, wird das Formular RPR003-1, das Decontamination Statement von Brooks Instrument sowie ein Sicherheitsdatenblatt (MSDS) für das Medium/die Medien benötigt, die im Gerät eingesetzt werden. Dies wird benötigt, bevor das Brooks Personal mit seiner Arbeit beginnen kann. -
Seite 27: In-Line Filter
40 um SLA5853/63 > 100 ln/min Bitte an das Werk wenden Hinweis: Brooks bietet viele Filteroptionen. Bitte wenden Sie sich für die Filter, die hier nicht aufgeführt sind, ans Werk. 2-9 Installation Empfohlene Vorgehensweise für die Installation: a. Die digitalen Brooks Massedurchflussregler oder -messer müssen an einem sauberen, trockenen Ort aufgebaut werden, der relativ frei von Stößen und Vibrationen ist. - Seite 28 Die Modelle der Reihe 5853 verfügen über ein einzigartiges und anderes Ventildesign als die standardmäßigen thermischen Massedurchflussregler von Brooks für niedrigen Durchfluss. Der 5853 hat ein zweistufiges, vorgesteuertes Ventil. Das vorgesteuerte Ventil (das sich auf dem Massedurchflussregler befindet) steuert einen Differenzdruck über dem Hauptventil, das im Gegenzug den Durchfluss durch das Gerät regelt.
- Seite 29 Einlassöffnungen und Rückflussregler in der Prozessauslegung verwendet. In vielen Fällen kann der 5853 durch den Einbau eines Gegendruckreglers von den unbeständigen, nachgeschalteten Drücken, die viele Prozesse aufweisen, isoliert werden. Für weitere Informationen wenden Sie sich bitte an die Brooks Technical Service Gruppe.
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Seite 30: Elektrische Anschlüsse
Anschlüsse benötigt: Eine Spannungsversorgung (+13,5 VDC - 27 VDC), das Sollwertsignal sowie die entsprechenden Masseleitungen. Die digitale, elektrische Schnittstelle von Brooks ist dazu ausgelegt, Signalanschlüsse mit niedrigem Verlust zu ermöglichen. Separate Masseleitungen werden für den analogen Sollwert, das analoge Durchflusssignal und die Stromversorgung benötigt. -
Seite 31: Schaltplan Sub-D-Stecker Abgeschirmtes Kabel, Version Spannung Ein-/Ausgang
GRÜN/WEISS RS-485, Masse A (+) Ein-/Ausgang BLAU/WEISS *Brooks Read-Out Modelle 0151, 0152, 0154, 0254 (Tabelle 3-1 typische Widerstandswerte für die Kalibrierungsauswahl) Abbildung 2-1 Schaltplan Sub-D-Stecker abgeschirmtes Kabel, Version Spannung Ein-/Ausgang Abbildung 2-2 Gemeinsamer elektrischer Schaltplan, Version für Spannungssignale ( Ein-/Ausgang) -
Seite 32: Empfohlene Verkabelung Der Ein-/Ausgänge Für Stromsignale (Nicht Isolierte Stromversorgung)
Abschnitt 2 Installation Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Abbildung 2-3 Empfohlene Verkabelung der Ein-/Ausgänge für Stromsignale (nicht isolierte Stromversorgung) Abbildung 2-4 Empfohlene Verkabelung für Ein-/Ausgänge für Stromsignale (isolierte Stromversorgung) -
Seite 33: Verfahren Zur Funktionsprüfung (Analoger Ein-/Ausgang)
Abschnitt 2 Installation Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 2-11 Verfahren zur Funktionsprüfung (analoger Ein-/Ausgang) a. Montieren Sie den Massedurchflussregler/-messer in der endgültigen Position. b. Schließen Sie den Massedurchflussregler/-messer an den Strom an, und warten Sie ungefähr 45 Minuten, bis das Gerät vollständig... -
Seite 34: Aufbau Ein-/Ausgang Devicenets
EINGABE in das Netzwerk oder die Daten, die vom Gerät (Massedurchflussregler) AUFGENOMMEN werden, sind eine AUSGABE vom Netzwerk). Der Brooks Massedurchflussregler unterstützt 12 mögliche Eingangskonfigurationen und 4 mögliche Ausgangskonfigurationen. ANMERKUNG: Diese Informationen und alle anderen detaillierten DeviceNet Informationen finden Sie im Brooks DeviceNet Supplement Instruction Manual. 2-10... -
Seite 35: Abschnitt 3 Betrieb
Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 3-1 Überblick Dieser Abschnitt beinhaltet die folgenden Informationen: • Funktionsbeschreibung • Eigenschaften 3-2 Funktionsbeschreibung Das System der thermischen Massedurchflussmessung besteht aus zwei Komponenten: Strömungsteiler(Restrictor) und Durchflusssensor. - Seite 36 Hinweis: Alle digitalen Brooks Massedurchflussmesser werden im Werk gemäß Kundenauftrag konfiguriert und müssen nicht eingestellt werden. Nicht alle Geräte verfügen über alle Eigenschaften. Das digitale Brooks Gerät ist ein digitaler Massedurchflussregler mit allen Eigenschaften. Die Leistung des digitalen Brooks Geräts entspricht größtenteils der eines herkömmlichen, analogen Massedurchflussreglers, jedoch mit verbesserter Genauigkeit, Übergangsfunktion und...
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Seite 37: Von Außen Zugängliche Einstellmöglichkeit Für Alle Messer/Regler
Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Abbildung 3-1 Funktionsplan Durchflusssensor (VCR Endanschlüsse abgebildet) "Nullpunkt" Taste Abbildung 3-2 Von außen zugängliche Einstellmöglichkeit für alle Messer/Regler... -
Seite 38: Betriebsart Analoger Ein-/Ausgang
Kalibrierungen werden im Kundenauftrag vorgegeben. Nur die bestellten Kalibrierungen werden im Gerät verfügbar sein. Soweit nichts anderes vorgegeben ist, ist bei einem digitalen Brooks Massedurchflussregler/- messer, der nur mit einer Kalibrierung bestellt wurde, diese Kalibrierung auf Kalibrierung Nr. 1 gespeichert. -
Seite 39: Typische Widerstandswerte Für Die Kalibrierungsauswahl
Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Valve Override (nur Massedurchflussregler) Mit Pin 12 auf dem 15-Pin Sub-D-Stecker kann das Ventil ungeachtet vom Sollwert so weit wie möglich geschlossen oder geöffnet werden. Wenn dieser Eingang nicht elektrisch angeschlossen ist, arbeitet der Massedurchflussregler entsprechend dem vorgegebenen Sollwert. -
Seite 40: Kommunikation
überschreiten und muss vorsichtig verwendet werden. 3-5 Kommunikation 3-5-1 RS-485 Kommunikation (nur analoge Versionen) Eine digitale Kommunikation, die dazu ausgelegt ist, die Brooks S-Serie "S-Protokoll" oder "pseudo-Hart" Kommunikation nachzubilden, ist in der digitalen Brooks Serie über RS-485 verfügbar. Diese Art von multi-drop- fähiger Kommunikation bietet Zugang zu vielen Funktionen der digitalen... - Seite 41 Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 3-5-2 DeviceNet Kommunikation Die digitale Brooks Serie SLA5800 ist auch mit DeviceNetTM Kommunikation erhältlich. DeviceNet ist ein offenes, digitales Protokoll für hohe Geschwindigkeiten und ein System, das sich leicht anschließen lässt. Brooks Instrument bietet mehrere seiner Gerät mit diesem beliebten Netzwerkstandard an und ist Mitglied der ODVATM (Open DeviceNet Vendors Association), dem führenden Standardisierungsgremium für...
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Seite 42: Alarme Und Warnhinweise (Nur Analoge Versionen)
3-6 Alarme und Warnhinweise (nur analoge Versionen) In diesem Abschnitt werden die Alarme und Warnhinweise beschrieben, die mit den analogen Versionen der digitalen Brooks Serie verbunden sind. Informationen über Alarme und Warnhinweise für Brooks DeviceNet Geräte finden Sie im Brooks DeviceNet Supplemental Manual. - Seite 43 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Haltefunktion aktivieren - Wenn ein Alarm/Warnhinweis auf "non- latching/nicht halten" eingestellt ist, bedeutet das, dass der Alarm nur angezeigt wird, wenn die überwachten Werte die vorgegebenen Bedingungen überschreiten.
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Seite 44: Diagnose Alarme (Nur Analoge Versionen)
Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 3-6-2 Diagnose Alarme (nur analoge Versionen) Ein Diagnose-Alarm wird angezeigt, wenn eine der unten stehenden Diagnosen eine Störung erkennt, dies visuell über die rote bzw. grüne LED anzeigt und den TTL Open Collector Ausgang öffnet, der sich auf dem 15-... -
Seite 45: Allgemeine Alarme Und Warnhinweise (Nur Analoge Versionen)
Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 3-6-3 Allgemeine Alarme und Warnhinweise (nur analoge Versionen) Mehrere Alarme stehen zur Verfügung, um unerwartete Ereignisse wie folgt anzuzeigen: Durchflussalarme Es gibt zwei Durchflussalarme. Bei jedem kann der Anwender einen minimalen und maximalen Durchflussgrenzbereich einstellen. -
Seite 46: Datensätze Kalibrierung/Konfiguration
Kalibrierungs- und Konfigurationsdatensätze können durch einen geschulten Anwender über den Service Port unter Verwendung einer speziellen Software angepasst werden, die bei Brooks erhältlich ist. Weitere Informationen über den Service Port und die Service Tool Software-Anwendungen finden Sie im Brooks Service Suite User Manual. -
Seite 47: Weitere Funktionen
3-8 Weitere Funktionen Über den Service Port können unter Verwendung einer speziellen Software weitere Funktionen aufgerufen werden. Die Software ist bei Brooks erhältlich. Weitere Informationen über den Service Port und die Service Tool Software-Anwendungen finden Sie im Brooks Service Suite User Manual. -
Seite 48: Konfiguration Des Istwertsignals
Einheit, die RS-485 unterstützt, in einer Mehrpunktkonfiguration (multi-drop) verwendet werden, wodurch Anwender ihre Brooks Geräte regeln und überwachen können. Die Brooks Service Suite (nur Versionen mit analogem Ein-/Ausgang) kann verwendet werden, um Brooks Geräte zu überwachen, diagnostizieren, einzustellen und zu kalibrieren. -
Seite 49: Abschnitt 4 Wartung
Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 4-1 Wartung und Störungsbeseitigung Die digitalen Brooks Massedurchflussregler und -messer erfordern keine routinemäßige Wartung. Wenn ein In-Line-Filter verwendet wird, müssen die Filterelemente regelmäßig ausgetauscht oder gereinigt werden. -
Seite 50: Störungsbeseitigung Analoge Version Oder Devicenet
Abschnitt 4 Wartung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 4-1-1 Störungsbeseitigung analoge Version oder DeviceNet Dieser Abschnitt umfasst Empfehlungen, wie Probleme des Massedurchflussreglers im Gasverteilsystem erkannt werden können, und liefert Antworten auf häufig gestellte Fragen. - Seite 51 Netzwerkstatus an. Bitte berücksichtigen Sie, dass die "NET" LED 4 verschiedene Betriebszustände haben kann. Weitere Einzelheiten zu diesen LEDs finden Sie im Brooks DeviceNet Supplement Instruction Manual. F: Wozu dient der Drehknopf oben auf dem Massedurchflussregler? A: Zwei der Drehschalter sind mit "ADDRESS"...
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Seite 52: Störungsbeseitigung Sensor
Pin 6 bis Pin 7 Nennmesswert 580 Ohm. 4-1-2 Systemprüfungen Die digitalen Durchflussmesser und -regler von Brooks werden im Allgemeinen in Gasanlagen verwendet, die sehr komplex sein können. Es kann daher sehr schwierig sein, einen Fehler im System zu isolieren. -
Seite 53: Störungsbeseitigung
Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 Störungsbeseitigung 1. Stellen Sie eine ordnungsgemäße Verbindung zum digitalen Brooks Massedurchflussmesser oder -regler her (verwenden Sie Abbildung 4-1 als Referenz), schalten Sie den Strom ein, und lassen Sie das Gerät 45 Minuten aufwärmen. Bei einem Regler stellen Sie den Sollwert auf Null. -
Seite 54: Reinigungsverfahren
Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 4-1-3 Reinigungsverfahren Wenn es aufgrund von Ablagerungen nötig wird, den digitalen Brooks Massedurchflussregler oder -messer zu reinigen, gehen Sie wie folgt vor: 1. Entfernen Sie das Gerät aus dem System. 2. Spülen Sie mit trockenem Stickstoff, der praktisch alle Partikel aus dem Gerät entfernt. - Seite 55 (unabhängig vom Sollwert), und ein Reinigungsverfahren Durchfluss durch das (Abschnitt 4-1-2). Messgerät/den Regler ist vorhanden Defekte Elektronik Wenden Sie sich an Brooks Instrument. Durchfluss kann ohne Einfluss des Verstopftes Regelventil Reinigen Sie das Regelventil Sollwerts nicht erreicht werden. (gilt (Abschnitt 4-1-2), oder senden Sie für Massedurchflussregler)
- Seite 56 Abschnitt 4 Wartung Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ ® Brooks Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN...
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Seite 57: Abschnitt A, Ce-Bescheinigung Des Massedurchflussgeräts
CE mærkning af Masse Flow udstyr Dato Januar-1996. Brooks Instrument har gennemført CE mærkning af elektronisk udstyr med succes, i henhold til regulativet om elektrisk støj (EMC direktivet 89/336/EEC). Der skal dog gøres opmærksom på benyttelsen af signalkabler i forbindelse med CE mærkede udstyr. - Seite 58 Date January-1996. The Brooks (electric/electronic) equipment bearing the CE mark has been successfully tested to the regulations of the Electro Magnetic Compatibility (EMC directive 89/336/EEC). Special attention however is required when selecting the signal cable to be used with CE marked equipment.
- Seite 59 Janvier 1996. Messieurs, Les équipements Brooks (électriques/électroniques) portant le label CE ont été testés avec succès selon les règles de la Compatibilité Electromagnétique (directive CEM 89/336/EEC). Cependant, la plus grande attention doit être apportée en ce qui concerne la sélection du câble utilisé pour véhiculer le signal d’un appareil portant le label CE.
- Seite 60 CE. Qualità dei cavi di segnale e dei relativi connettori: Brooks fornisce cavi di elevata qualità che soddisfano le specifiche richieste dalla certificazione CE. Se l’utente intende usare propri cavi, questi devono possedere una schermatura del 100%. I connettori sia di tipo “D” che circolari devono possedere un guscio metallico. Se esiste un passacavo esso deve essere metallico e fornito di fissaggio per lo schermo del cavo.
- Seite 61 Januar 1996 Til den det angår Brooks Instrument elektrisk og elektronisk utstyr påført CE-merket har gjennomgått og bestått prøver som beskrevet i EMC forskrift om elektromagnetisk immunitet, direktiv 89/336/EEC. For å opprettholde denne klassifisering er det av stor viktighet at riktig kabel velges for tilkobling av det måletekniske utstyret.
- Seite 62 Date : January 1996 Brooks (elektriska / elektronik) utrustning, som är CE-märkt, har testats och godkänts enligt gällande regler för elektromagnetisk kompabilitet (EMC direktiv 89/336/EEC). Speciell hänsyn måste emellertid tas vid val av signalkabel som ska användas tillsammans med CE-märkt utrustning.
- Seite 63 Installation und Bedienungs-Handbuch X-TMF-SLA5800-MFC-ger Artikel-Nummer: 541B027AAJ Brooks ® Digitaler MFC's & MFM's Juni, 2010 DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN...
- Seite 64 Unterschrift eines berechtigten Vertreters des Verkäufers. BROOKS SERVICE UND SUPPORT Brooks verschreibt sich der Verpflichtung, dass all unsere Kunden die ideale Durchflusslösung für ihre Anwendung erhalten und zwar mit hervorragendem Service und Support, um dies zu stützen. Wir unterhalten in der ganzen Welt erstklassige Reparaturwerkstätten, um schnell zu reagieren und Unterstützung zu geben.