Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Übersetzung des Originals ASM HVM Lecksucher...
Seite 2: Haftungsausschluss
Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung Gültigkeit 1.1.1 Varianten 1.1.2 Mitgeltende Dokumente Zielgruppe Konventionen 1.3.1 Piktogramme 1.3.2 Anweisungen im Text 1.3.3 Aufkleber 1.3.4 Abkürzungen Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise 2.1.1 Sicherheitshinweise 2.1.2 Sicherheitsmaßnahmen Bestimmungsgemäßer Gebrauch Vorhersehbarer Fehlgebrauch Transport und Lagerung Produktempfang Auspacken/Verpacken Handhabung Lagerung Produktbeschreibung Produktidentifizierung...
Seite 4 Inhaltsverzeichnis 7.6.2 Kalibrierung im Testmodus „Vakuumtest“ mit einem externen Testl- 7.6.3 Kalibrierung im Schnüffeltest mit einem internen Testleck 7.6.4 Kalibrierung im Schnüffeltest mit einem externen Testleck 7.6.5 Kalibrierung im Schnüffeltest auf Konzentration Funktion „Zero“ Touchscreen 7.8.1 Navigation 7.8.2 Hauptbildschirm 7.8.3 Bildschirm „Grafik“ 7.8.4 Bildschirm „Grafik“: Diagrammparameter 7.8.5 Bildschirm „Grafik“: Löschen des Diagramms 7.8.6 „Bildschirm „Grafik“: Aufzeichnen eines Diagramms“...
Seite 5 Inhaltsverzeichnis 8.6.1 Lecksuche: Startverzögerung 8.6.2 Lecksuche: Nullpunktunterdrückung 8.6.3 Lecksuche: Druckschalterschwellen 8.6.4 Lecksuche: Kalibrierung 8.6.5 Lecksuche: Spektrometerzelle 8.6.6 Lecksuche: Kalibrierung des internen Pirani-Messgeräts 8.6.7 Eingang/Ausgang: Serielle Schnittstelle 1 und 2 8.6.8 Eingang/Ausgang: Dig. Ein-/Ausgänge 8.6.9 Menü „SD-Karte“ 8.6.10Service Leitfaden für die Störungsbehebung Wartung/Austausch Zubehöre Technische Daten und Abmessungen...
Seite 6 Inhaltsverzeichnis Erfüllung von UL/CSA UK Konformitätserklärung EG Konformitätserklärung 6/176...
Seite 7: Zu Dieser Anleitung
Aufbewahren für späteres Nachschlagen. 1.1 Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum. Die Betriebsanleitung be- schreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen für den sicheren Gebrauch des Geräts. Die Beschreibung erfolgt nach den geltenden Richtlinien. Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produkts.
Seite 8: Anweisungen Im Text
Zu dieser Anleitung Zu prüfender Schwerpunkt auf der Abbildung Genanntes anzuwendendes Anziehdrehmoment 1 2 3 Halten Sie die Reihenfolge der Vorgänge und/oder die Anweisungen zum Abbau/Wiederein- bau ein 1.3.2 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.
Seite 9 Zu dieser Anleitung Den Service-Centern vorbehalten He_PU He_MU H2_PU H2_MU Mode 1 XXXXXX XXXXXX Mode 2 XXXXXX XXXXXX Mode 3 XXXXXX XXXXXX MU Lds XXXXXX MU Cal XXXXXX (Beispiel) Dieser Aufkleber stellt die Angaben zur in diesem Produkt installier- ten Firmware bereit. Factory Firmware / Logiciel usine Name der Firmware Prüfsumme der Firmware...
Seite 10: Abkürzungen
Zu dieser Anleitung 1.3.4 Abkürzungen Eingang / Ausgang Helium 4 Helium 3 Wasserstoff [XXXXXX] Menüs und Einstellungen in der Steuereinheit z. B. [Messen] [Prüfgas], um das für die Prüfung zu verwendende Prüfgas auszuwählen. 10/176...
Seite 11: Sicherheit
Sicherheit 2 Sicherheit 2.1 Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt. ► Anweisung zur Vermeidung der Gefahrensituation WARNUNG Möglicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr, die bei Nichtbeachtung zum Tod oder zu schweren Verlet-...
Seite 12 Sicherheit WARNUNG Stromschlaggefahr Strom und Spannung können zu elektrischen Schlägen führen. Eingriffe in das Gerät dürfen nur von autorisiertem und qualifiziertem Personal durchgeführt werden. ► Die Stromversorgung trennen und verriegeln, indem der Sicherungsautomat auf O gestellt wird. ► Vor jeglichen Eingriffen in das Produkt und/oder dem Entfernen der Abdeckung ist Netzkabel von der elektrischen Versorgung zu trennen.
Seite 13: Sicherheitsmaßnahmen
Sicherheit VORSICHT Quetschgefahr durch Kippen des Produkts Das Produkt wird den EG-Sicherheitsvorschriften vollständig gerecht. Dennoch besteht die Gefahr, dass das Produkt umkippt, wenn es nicht ordnungsgemäß installiert oder verwendet wird. ► Stellen Sie das Produkt auf einen ebenen, harten Boden. ►...
Seite 14: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Sicherheit Installation und Verwendung des Zubehörs Die Produkte können mit geeigneten Zubehörteilen erweitert werden. Installation, Verwendung und Instandsetzung des verwendeten Zubehörs werden in den entsprechende Betriebsanleitung detailliert beschrieben. ● Verwenden Sie ausschließlich Originalzubehöre des Herstellers. ● Bestellnummern der Zubehörteile (siehe Kapitel „Zubehöre“). Die in dieser Betriebsanleitung beschriebenen Installations- und Wartungsarbeiten dürfen ausschließ- lich von qualifizierten und mit den Sicherheitsvorschriften (EMV, elektrische Sicherheit, chemische Ver- unreinigung) vertrauten Personen durchgeführt werden.
Seite 15: Transport Und Lagerung
Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3.1 Produktempfang Lieferbedingungen ● Vergewissern Sie sich, dass das Produkt während des Transports nicht beschädigt wurde. ● Sollte das Produkt beschädigt sein, setzen Sie sich mit dem Spediteur in Verbindung und informieren Sie den Hersteller. ►...
Seite 16: Handhabung
Transport und Lagerung 5. Nehmen Sie das Lecksuchgerät von der Transportpalette: Lassen Sie das Lecksuchgerät auf der Rampe nach unten gleiten und halten Sie es dabei am Griff, um es abzubremsen. 6. Entfernen Sie die gelbe Schutzfolie von den Rädern. 7.
Seite 17: Lagerung
Hebering (WLL): 140 kg 1 Hebering Lenkgriff 3.4 Lagerung Pfeiffer Vacuum empfiehlt die Lagerung der Produkte in ihrer Originaltransportverpackung. Lagerung eines neuen Produkts ► Belassen Sie das Produkt in seiner Verpackung. ► Belassen Sie den Blindflansch auf jedem Anschluss. ► Lagern Sie das Produkt in einer sauberen und trockenen Umgebung entsprechend den zulässi- gen Temperaturbedingungen (siehe Kapitel „Technische Eigenschaften“).
Seite 18: Produktbeschreibung
Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4.1 Produktidentifizierung Um das Produkt korrekt zu identifizieren, wenn Sie mit unserem Servicecenter sprechen, halten Sie stets die Informationen bereit, die auf dem Typenschild stehen (siehe Kapitel „Aufkleber“). 4.1.1 Lieferumfang ● 1 Lecksucher ● 1 Set Dokumentation (USB-Stick und Betriebsanleitung für Lecksuchgerät) ●...
Seite 19: Anschlussschnittstelle
Produktbeschreibung 4.2 Anschlussschnittstelle Befestigungspunkt Schlauchhalte- Anschluss 9-polige serielle Schnittstelle D-Sub rung RS-232 (SERIAL) Arbeitsfläche Anschluss 15-polige E/A-Kommunikationsschnittstel- le D-Sub (INPUTS/OUTPUTS) Ansaugflansch Lecksuchgerät (Ein- Anschluss Belüftung lass) SD-Karte Anschluss Spüleingang Anschluss Standard-Fernbedie- Nicht verwendet nung Aufbewahrungskasten Anschluss Standard-Schnüffelsonde (STANDARD SNIFFER) Bremsen Auslass für Vorpumpe (EXHAUST) Befestigung zum Sichern des Netzka- Befestigungspunkt Flaschenhalter bels...
Seite 20: Beschreibung Der Steuereinheit
Produktbeschreibung 4.3 Beschreibung der Steuereinheit START STAND-BY Anschluss für Standard-Fernbedienung (Zubehör). Wechseln der Anwendungsbildschirme: Rückkehr zum Startbildschirm (Standardfenster) von ei- nem beliebigen Menü. Wechseln der Ebene der Funktionstasten. Taste START/STAND-BY Start/Stopp eines Tests. Schnellzugriff auf die Funktionen (siehe Kapitel „Funktionstasten“). Anzeige einer Ebene der Funktionstasten: Ausführen der Funktion oder Aufrufen eines Unterme- nüs durch Berühren des Bildschirms.
Seite 21: Installation
Installation 5 Installation 5.1 Installation des Lecksuchgeräts HINWEIS Lecksuchgerätentlüftung Bei schlechter Entlüftung besteht die Gefahr, dass die internen Komponenten des Lecksuchgeräts durch Erwärmung geschädigt werden. ► Die Betriebsumgebungstemperatur muss stets eingehalten werden. ► Lüftungsgitter nicht abdecken. ► Die Lüftungsgitter sollten regelmäßig gereinigt werden. ►...
Seite 22: Anbringen Der Schlauchhalterung
Installation 5.3 Anbringen der Schlauchhalterung Die Schlauchhalterung DN 40 ISO-KF (einzeln geliefert, ohne Zentrierring, Dichtungsring, Klemme) er- möglicht das Befestigen des Schlauchs, der den Einlass des Lecksuchgeräts mit der zu testenden Anla- ge verbindet, während des Transports oder einer längeren Lagerung sowie das Unter-Vakuum-Halten des Einlasses des Lecksuchgeräts und des Schlauchs.
Seite 23 Installation Das Scharnier ist nicht verriegelt, wenn sich der Riegel in dieser Stellung befindet (Zwischenstel- lung). Der Deckel schließt selbständig. Das Verfahren muss unbedingt eingehalten werden, um den De- ckel zu fixieren. 95° 102° Das Scharnier ist verriegelt, wenn sich der Riegel in dieser Stellung befindet (Aufwärtsstellung). Der Deckel schließt nicht selbständig.
Seite 24: Anschluss Der Spülung Und Belüftung
Installation 5.5 Anschluss der Spülung und Belüftung 5.5.1 Standardausrüstung HINWEIS Verseuchungsgefahr durch das Prüfgas Das Lecksuchgerät sollte nicht in einer Umgebung mit einer hohen Konzentration an Prüfgas verwen- det werden. Das Prüfgas stellt eine Verseuchungsgefahr für das Lecksuchgerät dar. Der Hersteller ist nicht für die Verseuchung des Produkts mit dem Prüfgas verantwortlich. ►...
Seite 25: Auslassverbindung
Installation Nutzungsdruck Wenn der Neutralgasdruck zu hoch ist, bleibt das Einlassventil unter Umständen geschlossen. ● 0 bis 0,3 bar relative (≈ 0 bis 4,5 psig) ● 1 bis 1,3 bar absolut (≈ 14,5 bis 19 psig) Vorgehensweise 1. Entfernen Sie die Belüftung und den Spülanschlussfilter (siehe Kapitel „Anschlussschnittstelle“). 2.
Seite 26: Anschluss Des Prüflings Oder Der Zu Testenden Anlage
Installation ► Darauf achten, dass der Hauptschalter auf O steht. ► Schließen Sie die Stromversorgung an den Lecksucher über das mit dem Lecksucher gelieferten Kabel an den Anschluss an (siehe Kapitel „Anschlussschnittstelle“). ► Siehe Kapitel „Technische Daten“. 5.8 Anschluss des Prüflings oder der zu testenden Anlage HINWEIS Verschleißgefahr bei Teilen oder Anlagen Es besteht eine Verschleißgefahr für Teile oder Anlagen, die an den Vakuumkreis des Lecksuchge-...
Seite 27: Inbetriebnahme
Inbetriebnahme 6 Inbetriebnahme 6.1 Einschalten des Lecksuchgeräts 1. Schließen Sie das Netzkabel an. 2. Schalten Sie den Hauptschalter/Schutzschalter auf I. 3. Bei der Erstinbetriebnahme: Richten Sie die Sprache, Einheit, Datum und Uhrzeit ein (der Bedie- ner kann diese Einstellungen zu einem späteren Zeitpunkt ändern). 4.
Seite 28: Betrieb
Betrieb 7 Betrieb 7.1 Verwendungsbedingungen WARNUNG Verletzungsgefahr durch Verwendung von Wasserstoff als Prüfgas Wasserstoff kann bei der Lecksuche als Prüfgas eingesetzt werden. Je nach seiner Konzentration kann es im schlimmsten Fall zu einem Explosionsrisiko kommen. ► Verwenden Sie niemals Prüfgas mit einem Wasserstoffgehalt von mehr als 5 %. ►...
Seite 29: Starten/Stoppen Des Tests
Betrieb Fehlerart Steuereinheit Warnung Anzeige des Fehlers. Klicken Sie auf das Piktogramm , um den Fehler anzuzeigen. Fehler Anzeige des Fehlers. Klicken Sie auf das Piktogramm , um den Fehler anzuzeigen. Kritischer Anzeige der Meldung „Kritischer Fehler – Wenden Sie sich an unser Service- Fehler E244“.
Seite 30: Automatischer Teststart Bei Anlauf
Betrieb 8. Gehen Sie dann mit der Schnüffelsonde langsam über die Bereiche des Prüflings, die Lecks auf- weisen könnten: Die angezeigte Leckrate variiert, wenn ein Leck erkannt wird (quantitativer Wert des gemessenen Leckrate). 9. Stoppen Sie den Test durch Drücken der Taste START/STAND-BY. 7.5 Automatischer Teststart bei Anlauf Diese Funktion ermöglicht es, den ersten Test nach der Anlaufphase des Lecksuchgeräts automatisch zu starten.
Seite 31: Kalibrierung Im Testmodus „Hochvakuum" Mit Einem Internen Testleck
Betrieb Änderung von Prüfgas- oder Testmethodeneinstellung Die ausgewählte Testmethode und das Prüfgas beeinflussen die Kalibrierung. Wird einer der folgenden Parameter geändert, muss der Melder zwingend kalibriert wer- den: ● Testmethode (Vakuumtest oder Schnüffeln) ● Prüfgas ( He oder H Internes Testleck Das interne Testleck ist speziell an dieses Lecksuchgerät angepasst.
Seite 32: Kalibrierung Im Schnüffeltest Mit Einem Externen Testleck
Betrieb Die Kalibrierung kann durchgeführt werden, wenn sich das Lecksuchgerät im Modus „Stand-By“ befin- det. Diese Kalibrierung kalibriert nur das Lecksuchgerät und nicht die gesamte Messkette (Lecksuchgerät und Schnüffelsonde). ► Identisch mit dem Verfahren im Testmodus „Hochvakuumtest“ (siehe Kapitel „Kalibrierung im Testmodus Hochvakuumtest mit einem internen Testleck“).
Seite 33: Funktion „Zero
Betrieb Stellen Sie vor dem Einleiten dieser Funktion sicher, dass sich das Lecksuchgerät in einer nicht mit dem Prüfgas kontaminierten Umgebung befindet. 1. Weisen Sie eine Funktionstaste auf [AUTOKALIB] zu (siehe Kapitel „Funktionstasten“). 2. Konfigurieren Sie folgende Parameter: ● Testmethode: „Schnüffeln“ (siehe Kapitel „Testmethode“). ●...
Seite 34 Betrieb Beispiel für jeden Anwendungsbildschirm Hauptbildschirm (Standard) Informationen zum aktuellen Test Bildschirm „Grafik“ Überwachung und Aufzeichnung der Leckrate und/oder des Ein- lassdrucks Bildschirm „Vakuumkreis“ Schematische Darstellung des Lecksuchgeräts und des Status der Ventile Bildschirm „Einstellungen“ Parameter des Lecksuchgeräts Folgende Bildschirminhalte dienen als Beispiel: die Anzeige kann je nach den Einstellungen des Leck- suchgeräts variieren.
Seite 35: Navigation
Betrieb 7.8.1 Navigation Symbole Funktion deaktiviert (AUS) Funktion aktiviert (EIN) Zugang ohne Passwort erlaubt Zugang gesperrt: Passwort erforderlich „Verpixelte“ Taste: Zugang für das Produkt nicht zulässig xxxxxxxx „Graue“ Taste: Zugriff auf die Parametrierung oder Funktion „Weiße“ Taste: Taste nicht programmierbar, zeigt Informationen Taste „Messwert“: Anzeige der gemessenen Leckrate Pfeiltasten zum Blättern in Menüs Aufrufen des Störungs-/Warnungsfensters...
Seite 36: Funktion
Betrieb 11 10 Position Funktion 2. Nachkommastelle anzeigen Prüfgas Anzeige COR: Korrekturfaktor angewendet Statusanzeige der Funktion „Zero“ Einheit der Leckrate Balkenanzeige der Funktion „Zero“ mit 2 Dekaden Balkenanzeige des Drucks von Zelle oder externem Messgerät Statusanzeige der Funktion „Belüften“ Statusanzeige der Funktion „Stumm“ Anzeige : Zu konsultierende Fehler-/Warnmeldung Statusanzeige der aktivierten Funktion „Spülgas“...
Seite 37: Bildschirm „Grafik": Diagrammparameter
Betrieb Normal Position Funktion Digitale Anzeige der Leckrate Aktueller Status des Lecksuchgeräts Erkennungsmodus Anzeige COR: Korrekturfaktor angewendet Anzeige ZERO: Funktion „Zero“ aktiviert Aufzeichnung eines Verlaufs Verlauf des Einlassdrucks (in blau) Skala des Einlassdrucks (in blau) Verlauf der Leckrate des Prüfgases (in rot) Zeitskala Skala der Leckrate des Prüfgases (in rot) 1) Die Skala sind durch Berühren des Diagramms einstellbar...
Seite 38: Bildschirm „Grafik": Aufzeichnen Eines Diagramms
Betrieb Löschen des aktuellen Fensters 1. Drücken Sie [Löschen]. 2. Bestätigen Sie die Meldung. Durch das Löschen des aktuellen Fensters wird weder die aktuelle Aufzeichnung noch werden die bereits getätigten Aufzeichnungen gelöscht. Löschen der aktuellen Aufzeichnung 1. Drücken Sie [Aufz. zeigen]. 2.
Seite 39: Bildschirm „Grafik": Skalen
Betrieb 1 1. Aufzeichnung 3. Aufzeichnung 2 2. Aufzeichnung Wenn der Speicher voll ist und eine Aufzeichnung im Gang ist, dann wird die Aufzeichnung automatisch gestoppt. Die Taste [Aufzeichnen] wird durch die Taste [Speicher voll] ersetzt. 7.8.7 Bildschirm „Grafik“: Skalen ► Drücken Sie den Grafik und [Bereich], um die Parameter des Grafik zu ändern. Zeitbereich auf dem Bildschirm Einstellen der automatischen Skala Einstellen der Skala der gemessenen Leckrate...
Seite 40: Bildschirm „Grafik": Speichern Einer Aufzeichnung
Betrieb Zugang: Drücken Sie die Grafik und [Skala], um die Parameter der Grafik zu ändern. Auswahl – Einstellgrenze Zeitanzeige Muss eingerichtet werden Schnell/1 Min/ 2 Min/3 Min/ Zeitbereich auf dem Bildschirm 6 Min/12 Min/ 30 Min/1 S/2 S Auto-Bereich Muss aktiviert werden Aktiviert Die automatische Skala zeigt die gemessene Leckrate zentriert auf 2 oder 4 Dekaden Deaktiviert...
Seite 41 Betrieb 1 Gesamtaufnahmezeit ► Drücken Sie das Diagramm und [Aufz. zeigen], um die seit dem letzten Löschen durchgeführte Aufzeichnung anzuzeigen. – Wenn keine Verläufe erstellt wurden, erscheint eine Meldung „Speicher leer“. Heranzoomen Heranzoomen ist nur für eine Aufzeichnung verfügbar. Mehrere aufeinanderfolgende Zoom-Vorgänge sind möglich (mit Ausnahme in derselben Dekade). 1.
Seite 42: 10Bildschirm „Einstellungen
Betrieb 1 Navigation zwischen nächstem/vorherigem Aufzeich- Moment, an dem die Messung in Bezug nungspunkt auf den Anfang der Aufzeichnung statt- fand 2 Anzeige der Leckrate des Prüfgases (in rot) oder des Auswahl der Anzeige der Leckrate oder Einlassdrucks (in blau) des Einlassdrucks 3 Markierung, die den ausgewählten Punkt anzeigt 1.
Seite 43: 12Fenster „Messung
Betrieb Beispiel Vakuumkreis Komponente Beschreibung Rotes Ventil Ventil geschlossen Grünes Ventil Ventil geöffnet Pumpen Zum Anzeigen des Funktionsprinzips auf die entsprechende Komponente drü- cken. Spektrometerzelle ► Zugang zum Bildschirm „Vakuumkreis“ durch wiederholtes Drücken der Taste 7.8.12 Fenster „Messung“ 1. Drücken Sie die Taste [Messen], um das Fenster anzuzeigen. 2.
Seite 44: Einstellungen
Einstellungen 8 Einstellungen Mit dem Bildschirm „Einstellungen“ kann der Bediener auf die 6 Menüs zugreifen, um das Produkt ent- sprechend seiner Spezifikationen zu konfigurieren. Siehe Kapitel „Bildschirm „Einstellungen““. Funktionen nach Menü Menü SCHALTPUNKTE ● Signalton ● Syn. Stimme ● Funktion „Verseuchung“ ●...
Seite 45: Menü „Schaltpunkte
Einstellungen Funktionen nach Menü Menü Optionen ● Einheit/Datum/Sprache ● Funktionstasten ● Anwendungsfenster ● Bildschirmeinstellungen ● Zugang - Passwort Menü EXTRAS Die erweiterten Funktionen sind für spezifische Verwendungen des Lecksuchgeräts vorbehalten. ● Lecksuche: Startverzögerung ● Lecksuche: Nullpunktunterdrückung ● Lecksuche: Druckschaltschwellen ● Lecksuche: Kalibrierung ●...
Seite 46: Funktion „Verseuchung
Einstellungen Konfigurieren Sie für den Schnellzugang vom Hauptbildschirm eine Funktionstaste auf [SYN. STIMME] (siehe Kapitel „Funktionstasten“). Verwenden Sie vom Hauptbildschirm die Taste [STUMM], um den Audioalarm und die syn. Stimme gleichzeitig zu unterbrechen. Das rote Kreuz auf dem Piktogramm zeigt auf der Steuereinheit, dass die Funktion „Stumm“...
Seite 47: Schaltpunkt „Schnüffeln
Einstellungen Konfigurieren Sie für den Schnellzugang vom Hauptbildschirm eine Funktionstaste auf [Schaltpkt] (siehe Kapitel „Funktionstasten“). 8.1.4 Schaltpunkt „Schnüffeln“ Dieses Menü wird zum Definieren des Schaltpunkts „Schnüffeln“ verwendet. Der Schaltpunkt ist die Akzeptanzschwelle für die Prüflinge. Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Schaltpunkte] [Schaltpunkte Schnüffeltest] Auswahl –...
Seite 48: Menü „Lecktest
Einstellungen 8.2 Menü „Lecktest“ 1 Menü „Lecktest“ mit Testart „Vakuumtest“ Menü „Lecktest“ mit Testart „Schnüffeln“ 8.2.1 Testmethode Mit diesem Menü wird eine Testmethode ausgewählt. Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Lecktest] Auswahl – Einstellgrenze Methode Muss ausgewählt werden Vakuumtest Die Testmethode wird abhängig vom Prüfling gewählt. Weitere Informationen Schnüffeln zu den Testmethoden für die Lecksuche erhalten Sie in dem Dokument Leak detector compendium, das auf der Website...
Seite 49: Testmodus
Einstellungen ● das Lecksuchgerät mit parallelem Ansaugen kombiniert ist, ● die Konzentration des Prüfgases unter 100% liegt. Anzeige Die COR-Kontrollleuchte wird auf der Steuereinheit angezeigt, wenn der Wert des Korrekturfaktors un- gleich 1 ist. Die angezeigte Leckrate berücksichtig den angewendeten Korrekturfaktor. Die Verwendung des Korrekturfaktors ersetzt nicht Kalibrierung.
Seite 50: Sondentyp
Einstellungen Konfigurieren Sie für den Schnellzugang vom Hauptbildschirm eine Funktionstaste auf [Modus] (siehe Kapitel „Funktionstasten“). Das Lecksuchgerät ist standardmäßig auf den Betrieb in einem Hochvakuumtest, dem empfindlichsten Testmodus, eingestellt: Diese Einstellung deckt die Anforderungen der meisten Bediener ab. 8.2.4 Sondentyp Mit diesem Menü wird der beim Schnüffeln verwendete Schnüffelsondentyp ausgewählt (siehe Kapitel „Zubehör“).
Seite 51: Funktion „Memo
Einstellungen HINWEIS Verseuchungsgefahr der Prüfkammer oder des Prozesses Programmieren Sie niemals eine „automatische“ Belüftung, wenn das Lecksuchgerät an einen Hoch- vakuumtest oder Prozesskammer angeschlossen ist. ► Wählen Sie „Manuell“ und löschen Sie die der automatischen Belüftung zugewiesene Taste. Die Belüftung muss mit einem Menü durchgeführt werden, dass mit einem Passwort gesperrt werden kann.
Seite 52: Zero-Funktion Einschalten
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Lecktest] [Memo-Funktion] Auswahl – Einstellgrenze Aktiv Muss aktiviert werden Nein Aktivierung der Funktion „Memo“ Zeitanzeige Muss aktiviert werden Aktiviert ● Aktiviert = Der Wert der gemessenen Leckrate blinkt für die eingerichtete Deaktiviert Dauer. ● Deaktiviert = Der Wert der gemessenen Leckrate blinkt bis ein neuer Test beginnt.
Seite 53: Regenerierung
Einstellungen Die Verwendung dieser Funktion wird empfohlen, wenn der Untergrund des Prüfgases sta- bil ist. Die Funktion wird zum Messen einer Leckrate verwendet, die niedriger: ● als 2 Dekaden im Testmodus „Vakuumtest“ ist: 1 · 10 mbar l/s (1 · 10 Pa m /s) Mi- nimum...
Seite 54: Menü „Spektro
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Lecktest] [Massiv-Modus] Auswahl – Ein- stellgrenze Aktiv Muss ausgewählt werden Nein Voraussetzungen für den automatischen Wechsel des Lecksuchgeräts in den Modus „Mas- siv“: ● Funktion aktiviert ● Druck < 100 hPa ● Druck für mindestens 30 s stabilisiert Eine Meldung informiert den Bediener, dass das Lecksuchgerät automatisch in den Modus „Massiv“...
Seite 55: Parameter „Heizfaden
Einstellungen Wasserstofftest WARNUNG Verletzungsgefahr durch Verwendung von Wasserstoff als Prüfgas Wasserstoff kann bei der Lecksuche als Prüfgas eingesetzt werden. Je nach seiner Konzentration kann es im schlimmsten Fall zu einem Explosionsrisiko kommen. ► Verwenden Sie niemals Prüfgas mit einem Wasserstoffgehalt von mehr als 5 %. ►...
Seite 56: Menü „Wartung
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Spektro] [Testleck] Auswahl – Einstell- grenze Einheit Muss ausgewählt werden mbar · l/s Einheit des für die Kalibrierung verwendeten Testlecks Pa · m Torr · l/s atm · cc/s Leckrate Muss eingerichtet werden 1 · 10 –1 ·...
Seite 57: Betriebsstunden
Einstellungen 8.4.2 Betriebsstunden Konfigurieren Sie für den Schnellzugang vom Hauptbildschirm eine Funktionstaste auf [Wartung] (siehe Kapitel „Funktionstasten“). Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Wartung] [Zähler] Auswahl - Einstell- grenze Lecksucher Schreibgeschützt Betriebszeit des Lecksuchgeräts Heizfaden 1 Schreibgeschützt Betriebszeit für Heizfaden 1 Zu startende Funktion 1.
Seite 58: Information Messeinheit
Einstellungen Zusätzliche Informationen über Zyklen Zugang: [xxxx Zy/xxxx Zy] für Parameter „Zyklus“ Auswahl - Ein- stellgrenze Testzyklen Schreibgeschützt Prozentuelle Anzahl der seit dem letzten Zurücksetzen durchgeführten Zyklen im Vergleich zum konfigurierten Zyklusintervall. Zähler Schreibgeschützt Anzahl der seit dem letzten Zurücksetzen des Zählers durchgeführten Zyklen.
Seite 59: Information Pumpen
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Wartung] [Information Messeinheit] Software-Version .CELL Angaben zur Firmware der Spektrometerzelle P Einlass Einlassdruck Schwelle Der für die laufende Testmethode eingerichtete Schaltpunkt Kalibrieren Art der konfigurierten Kalibrierung Prüfgas Das gewählte Prüfgas Heizfaden Der verwendete Heizfaden (Status des verwendeten Heizfadens, Lecksuchgerät ein) Zustand Der verwendete Heizfaden (100 % = neues Heizfaden) Letzte Kalib.
Seite 60: Kalibrierverlauf
Einstellungen 1 Exportieren des Verlaufs im csv-Format auf SD-Karte Datum und Uhrzeit des Ereignisses 2 Ereigniscode Beschreibung des Ereignisses Ein Ereignis kann ein Fehler (Exxx), eine Warnung (Wxxx) oder eine Information (lxxx) sein. ● Liste der Fehler und Warnungen: Siehe Betriebsanleitung der Schnittstelle RS-232 (siehe Kapitel „Mitgeltende Dokumente“).
Seite 61: Einlaufzyklus
Einstellungen 8.4.7 Einlaufzyklus Diese Funktion wird zum Vorbereiten des Lecksuchgeräts verwendet, indem eine Reihe von kurzen Tests und Belüftungen zwischen den Tests durchgeführt werden, damit das Lecksuchgerät in einem op- timalen betriebsbereiten Zustand verbleibt. Voraussetzung(en) ● Lecksuchgerät im Modus „Stand-By“ ● „Automatische“ Belüftung Zugang: Bildschirm „Einstellungen“...
Seite 62: Menü „Optionen
Einstellungen 8.5 Menü „Optionen“ 8.5.1 Uhrzeit – Datum – Einheit – Sprache Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Optionen] [Einheit/ Auswahl – Einstellgrenze Datum/Sprache] Einheit mbar · l/s Muss ausgewählt werden Die eingestellten Schaltpunkte/Werte werden nicht automatisch Pa · m auf die neue Einheit umgerechnet, wenn diese geändert wird: Torr ·...
Seite 63: Anwendungsfenster
Einstellungen START STAND-BY Dem Bediener können unter Verwendung der Funktionstasten der Zugang zu einer be- grenzten Anzahl an Funktionen gewährt und die Nutzung eines Passworts eingerichtet werden, um nicht genehmigte Funktionen auf dem Bildschirm „Einstellungen“ zu sperren. Diese sind für die Handhabung des Lecksuchgeräts ausreichend. Damit der Bediener nur die Taste START/STAND-BY verwenden kann, weisen Sie den Funktionstasten keine Funktionen zu und sperren Sie das Menü...
Seite 64 Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Optionen] [Anwendungsfenster] 1 Reihenfolge der angezeigten Bildschirme mit der Taste Verfügbare Bildschirme 2 Anzeigen (✔)/Ausblenden (✘) für Anwendungsfenster Hauptbildschirm (Standard) wird immer angezeigt Zugang: Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Optionen] [Anwendungs- Auswahl – Einstellgrenze fenster] Standard Schreibgeschützt...
Seite 65 Einstellungen Beispiel 1 ● Der Bildschirm „Fließbild“ verschiebt sich von Posi- tion 3 in der Schleife auf Position 4. Beispiel 2 ● Der Bildschirm „Grafik“ ist ausgeblendet und die ge- samte Reihenfolge wird aktualisiert. Beispiel 3 ● Der Bildschirm „Grafik“ ist in Position 4 der Anzei- genschleife wieder verfügbar.
Seite 66: Bildschirmeinstellungen
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Optionen] [Anwendungsfenster] [Parameter Stan- Auswahl – dardfenster] Einstellgren- Anzeigegrenze Muss eingerichtet werden Dieser Grenzwert definiert die Anzeige des kleinsten Grenzwerts der gemessenen Leckrate. Die gemessene Leckrate wird nicht angezeigt, wenn sie kleiner als der kleinste Anzei- genwert ist.
Seite 67 Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Optionen] [Zugang/Passwort] und Auswahl – Einstellgren- Passwort Passwort Muss eingerichtet werden 0–9999 Zugang zum Menü „Schaltpunkte“ Muss ausgewählt werden Verriegeln Zugang zum Menü „Test“ Der Zugang zu einigen Menüs kann autorisiert oder ver- Entriegeln boten sein.
Seite 68 Einstellungen ● Eingeschränkt, ● Mittel, ● Voll. Die nachfolgend definierten Rechte sind diejenigen, die standardmäßig für jede Autorisierung gewährt werden. Autorisierung Eingeschränkt Mittel Voll Deaktiviert Deaktiviert Aktiviert Taste Es können keine Einstel- Es können keine Einstellungen ohne ein lungen ohne ein Pass- Passwort vorgenommen werden wort vorgenommen wer- Taste START/...
Seite 69 Einstellungen Anzeige „Einge- schränkt“ Anzeige „Mittel“ 2 Funktionstasten verfügbar Anzeige „Voll“ Ändern der Zugangsebene Bei einem Bediener mit eingeschränktem oder mittle- Bei einem Bediener mit vollständi- rem Zugang. gem Zugang. 1. Halten Sie die Taste 1. Zugang: Bildschirm „Einstellun- gedrückt, bis der Bildschirm gen“...
Seite 70: Menü „Extras
Einstellungen 4. Geben Sie das neue Passwort ein. 5. Bestätigen Sie. 8.6 Menü „Extras“ Das Menü „Extras“ ist Fachkräften mit Kenntnissen zur Lecksuche oder einer besondere Produktkonfi- guration vorbehalten. 8.6.1 Lecksuche: Startverzögerung Die Startverzögerung verhindert die Verwendung des Lecksuchgeräts für eine festgelegte Dauer nach dem Einschalten.
Seite 71: Lecksuche: Druckschalterschwellen
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Extras] [Lecksuche] [Nullpunktunterdrü- Auswahl – Einstell- ckung] grenze Nullpunktunterdrückung Muss aktiviert werden Wenn diese Funktion aktiviert (Ein) ist, liegt der Untergrund des Lecksuchgeräts nach der Kalibrierung unter 1 · 10 mbar l/s (1 · 10 Pa m /s).
Seite 72 Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Extras] [Lecksuche] [Kalibrierung] Auswahl – Ein- stell- grenze Kalibrie- Muss ausgewählt werden Bediener rung ● Bediener Einschal- Die Kalibrierung wird durch den Bediener durch Drücken der Funktionstaste [AUTOKALIB] eingeleitet. Manuell Wenn die Kalibrierung nicht innerhalb von 20 Minuten nach dem Einschalten des Lecksuch- geräts beginnt, erscheint die Meldung „Lecksucher bereit für Kalibrieren“, um den Bediener zum Starten der Kalibrierung aufzufordern.
Seite 73: Lecksuche: Spektrometerzelle
Einstellungen 8.6.5 Lecksuche: Spektrometerzelle Mit dieser Funktion können die Informationen auf dem Lecksuchgerät angezeigt werden. Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Extras] [Lecksuche] [Spektrome- Auswahl – terzelle] Einstellgren- Heizfaden Muss ausgewählt werden Der für die Messung verwendete Heizfaden (Die Spektrome- terzelle verfügt über 2 Heizfäden). Status Muss ausgewählt werden Aktivierung (EIN) oder Deaktivierung (AUS) des für die Mes-...
Seite 74: Eingang/Ausgang: Serielle Schnittstelle 1 Und
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Extras] [Lecksuche] [Kalib. Druckmessung] Start/Stop Funktionsstart Teststart Belüften Funktionsstart Voraussetzungen 1. Bringen Sie einen Stopfen am Einlass des Lecksuchers an, so dass der Lecksucher eigenständig pumpen kann. 2. Prüfen Sie, dass der Belüftungseinlass-Anschluss nicht blockiert ist. 3.
Seite 75: Eingang/Ausgang: Dig. Ein-/Ausgänge
Einstellungen Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Extras] [Eingang/Ausgang] Auswahl - Einstellgrenze dann [Seriell Schnittstelle #1] oder [Seriell Schnittstelle #2] Muss ausgewählt werden Serial Art der Schnittstelle hängt von der Verwendung ab: Siehe Be- Not used triebsanleitung des/der verwendeten Zubehörs/Option. Konfiguration Modus Muss ausgewählt werden Vollständige Liste: Verfügbarkeit ab-...
Seite 76: 10Service
Einstellungen 8.6.10 Service Der Zugriff auf das Menü Service ist passwortgeschützt. Nur für die Service-Center. 76/176...
Seite 77: Leitfaden Für Die Störungsbehebung
Siehe nachstehende Fehlerliste (exxx). Kritische Anzeige der Meldung „Kritische Störung - E244“. Störung Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren HLD Error [Stop detector] Historie Der Ereignisspeicher zeichnet die aufgetretenen Ereignisse auf. Ein Ereignis kann ein Fehler (exxx), eine Warnung (wxxx) oder eine Information (ixxx) sein.
Seite 78 Wechseln Sie sie bei Bedarf aus. Überprüfen Sie die den internen Testleck-Temperatursen- sor auf ordnungsgemäßen Betrieb. Wechseln Sie sie bei Bedarf aus. Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren w098 Temperatur zu niedrig Stellen Sie sicher, dass der Lecksucher innerhalb der vor- geschriebenen Temperaturtoleranz verwendet wird.
Seite 79 Autokalibrierung abgeschal- Kalibrierung in Modus „Manuell“. Kalibrierung auf Automa- tik einstellen, um die Kalibrierung zu starten. Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren w215 Untergrund zu hoch Führen Sie den Test nicht durch, wenn der Hintergrund im Verhältnis zur aktivierten max. Restfunktion zu hoch ist.
Seite 80 Vergewissern Sie sich, dass das Kabel der Turbopumpe Turbopumpe) ordnungsgemäß verbunden ist. Vergewissern Sie sich, dass das Ventil ordnungsgemäß an- geschlossen ist (Auslassventil). Öffnen Sie das Auslassventil der Kundenanlage. Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e050 Verstärker instabil Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e056 Untergrund Ausfall Entgasen Sie die Spektrometerzelle einige Minuten lang.
Seite 81 Leitfaden für die Störungsbehebung Code Error (Fehler) Beschreibung - Lösung (exxx) e089 Keine Emission Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e093 Fehler Dynamische Kalib- Berechnen Sie den dynamischen Koeffizienten neu. rierung Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e095 Nullpunkt unzulässig Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren...
Seite 82 Vergewissern Sie sich, dass das Ventil ordnungsgemäß an- geschlossen ist (Auslassventil). Öffnen Sie das Auslassventil der Kundenanlage. Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e192 Strom Heizfaden zu hoch Überprüfen Sie die Filamentposition und deren Status. Wechseln Sie sie bei Bedarf aus.
Seite 83 Vergewissern Sie sich, dass das Kabel der Turbopumpe lenturbopumpe) ordnungsgemäß verbunden ist. Vergewissern Sie sich, dass das Ventil ordnungsgemäß an- geschlossen ist (Auslassventil). Öffnen Sie das Auslassventil der Kundenanlage. Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e243 Störung EEPROM Kundendienst von Pfeiffer Vacuum kontaktieren e244 Störung Turbopumpe 2 Siehe Wartungshandbuch für die entsprechende Turbo-...
Seite 84 Leitfaden für die Störungsbehebung Code Information Beschreibung - Lösung (ixxx) i319 Heizfadenwechsel Der verwendete Heizfaden wurde geändert (Heizfaden 1 zu Heizfaden 2 oder Heizfaden 2 zu Heizfaden 1). i320 Kalibrierung Druckmes- Die interne Pirani-Messröhre wurde kalibriert. sung i321 Standzeit-Verz. Der Lecksucher startet seit 15 Tage (mindestens) nicht. i322 Spülgasventil FEHLER Das Spülgasventil ist blockiert oder der Spülkreis verstopft.
Seite 85: Wartung/Austausch
Wartung/Austausch 10 Wartung/Austausch Wartungsintervalle und- zuständigkeiten Die am Lecksuchgerät durchzuführenden Wartungsarbeiten werden in den Wartungsanweisungen für das Lecksuchgerät beschrieben. Hier finden Sie Informationen zu: ● Wartungsintervallen, ● Wartungsanweisungen, ● Stilllegung des Produkts, ● Werkzeugen und Ersatzteilen. 85/176...
Seite 86: Zubehöre
Zubehöre 11 Zubehöre Zubehör Beschreibung Bestell-Nr. RC 10 Fernbedienung (kabellos) 124193 Standard-Schnüffelsonde Rohr 5 m - Starre Düse 9 cm SNC1E1T1 Rohr 5 m - Starre Düse 30 cm SNC1E2T1 Rohr 10 m - Starre Düse 9 cm SNC2E1T1 Rohr 10 m - Starre Düse 30 cm SNC2E2T1 Testlecks Kontaktieren Sie uns...
Seite 87: Technische Daten Und Abmessungen
Technische Daten und Abmessungen 12 Technische Daten und Abmessungen 12.1 Allgemeines Datenbanken der technischen Eigenschaften der Lecksuchgeräte von Pfeiffer Vacuum: ● Technische Eigenschaften laut: ─ AVS 2.3: Verfahren zum Kalibrieren von Gasanalysegeräten des Typs Massenspektrometer. ─ EN 1518: Zerstörungsfreie Prüfung. Dichtheitsprüfung. Charakterisierung von massenspekt- rometrischen Leckdetektoren.
Seite 88: Druckeinheiten
Technische Daten und Abmessungen Umgebungsbedingungen Einheit ASM HVM Verschmutzungsgrad Schutzart IP20-konform 1) Die Schutzart (IP) wird in Nordamerika durch den Nema-Typ ersetzt. Tab. 1: Umgebungsbedingungen 12.3 Druckeinheiten Einheit mbar Torr / mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10...
Seite 89 Technische Daten und Abmessungen 1054 89/176...
Seite 90: Anhang
Anhang 13 Anhang 13.1 Baumdiagramm des Menüs „Einstellungen“ Die nächsten Tabellen zeigen die Standardeinstellungen des Lecksuchers an. Wenn der Lecksucher ausgeschaltet wird,werden die Werte und Parameter für das nächste Einschalten gespeichert. Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Schaltpunkte] Auswahl - Einstellgrenze Signalton Zustand Aktiviert Deaktiviert Einstellung (Falls aktiviert)
Seite 91 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Lecktest] Auswahl - Einstell- grenze Automatischer Zyk- Automatischer Zyklus Manuell Automatisch Einstellung Warten Evak. Zustand Aktiviert (Wenn „Automa- Deaktiviert tisch“) Einstellung 0 – 1 h 10 s Messungzeit 0 – 1 h 10 s Belüften Belüften Manuell...
Seite 92 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ + Menü [Spektro] Auswahl - Einstellgrenze Prüfgas Helium 4 Helium 3 Wasserstoff Heizfaden Status Zustand Heizf. 0 – 100 % 100 % Testleck Prüfgas Helium 4 Helium 3 Wasserstoff Intern Extern Konzentration Einheit mbar l/s Pa · m Torr ·...
Seite 93 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Wartung] Auswahl - Ein- stellgrenze Lecksucher 1) 2) Betriebsstunden Lecksucher 1) 2) Heizfaden 1 Zähler (h) 1) 2) Zähler zurückset- Funktionsstart Heizfaden 2 Zähler (h) 1) 2) Zähler zurückset- Funktionsstart Testleck Testzyklen Zähler (h) 1) 2) Intervall 1 ·...
Seite 94 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Wartung] Auswahl - Ein- stellgrenze Letzte Wartung Wartungsarbeit 1 Datum Betriebsstunden Durchgeführt von Wartungsarbeit 2 Datum Betriebsstunden Durchgeführt von Wartungsarbeit 3 Datum Betriebsstunden Durchgeführt von 1) Standardeinstellung 2) Allgemeine Informationen: Schreibgeschützt 4) Erforderliche Informationen sind auf dem für die Kalibrierung verwendeten Testleck oder in dessen Eichzertifikat angegeben Tab.
Seite 95 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Optionen] Auswahl - Einstell- grenze Anwendungs- Parameter Stan- Leckrate-An- Zoom Grenz- Nein fenster dardfenster zeige wert (Hauptbildschirm) Skalenanfang 1 · 10 – 1 · 10 +12 1) 1 · 10 Skalenende 1 · 10 –...
Seite 96 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Optionen] Auswahl - Einstell- grenze Bildschirmein- Helligkeit Hoch stellungen Niedrig Kontrast 0 – 100 50 % Schlafmodus None 15 Min 30 Min Suche Fernbed. Ohne Fernbedienung erkannt Mit Fernbedienung erkannt Nein Anzeigeeinstellun- Funktionsstart gen zurücksetzen Zugang/Pass- Passwort 0 –...
Seite 97 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Extras] Auswahl - Ein- stellgrenze Lecksuche Startverzögerung 0 – 1 h 10 s Nullpunktunter- Aktivierung drückung Druckschalt- Grobleck schwellen Normal Feinleck-Empfindlichkeit Kalibrierung Kalibrierung Manuell Einschalten Manuell Kalibrierung Prüfung Manuell überprüfen Automatisch Häufigkeit Testzyklen 0 – 9999 (Bei „Automa- 50 Zy.
Seite 98 Anhang Zugang: Bildschirm „Einstellungen“ und Menü [Extras] Auswahl - Ein- stellgrenze Eingang/ Serielle Schnitt- Seriell Ausgang (15- stelle #1 Konfiguration Modus Basis poliger E/A) Tabelle Erweitert Datenausgabe RC 500 WL RC 500 HLT 5xx Ext. Modul HLT 2xx Handshake None XOFF Versor.
Seite 99: 15-Polige E/A-Schnittstelle
Anhang Zugang: Drücken Sie die Grafik, dann [Bereich] Auswahl - Einstellgrenze Druck Anzeigestatus Aktiviert Deaktiviert Einstellung (Falls aktiviert) Skalenende – 10 1 · 10 -3 1) 1) Standardeinstellung Tab. 10: Grundeinstellungen: Bildschirm „Grafik“ - Anzeigeeinstellungen Zugang: Drücken Sie die Grafik, dann [Aufzeichnen] Auswahl - Einstellgrenze Dauer 0,2 s/0,5 s/1 s...
Seite 100 Anhang Kontaktstift Funktion Ausgang Digital Grenzwert des Tests überschritten ASM xxx: Ausgewählten Testmodus erreicht ASI xx: Lecksucher bereit Analog Mantisse (0–10 V) Leckrate (logarithmisch) 5 VDC - 750 mA max Exponent (0–10 V) Erdung 1 - 2 - 3 - 4 - 13 Headset (8 Ω) Headset+ Headset-...
Seite 101: 315-Polige E/A-Anschlussschnittstelle
Anhang Anschluss Kontaktstifte Digitalausgang Für externe Stromversorgung: 30 VDC max - 40 mA max 7: Interner Transistor - Ausge- wählter Testmodus erreicht 7: Interner Transistor - Lecksu- cher bereit (nur ASI 35) 11: Intern 5 VDC - 750 mA ● Ausgewählter Testmodus für Anzeige erreicht Für externe Stromversorgung: 30 VDC max - 40 mA max 6: Interner Transistor - Test- Grenzwert überschritten...
Seite 102: 4Einstellung
Anhang 1 Anschlussbuchse 15-polige D-Sub E/A-Kommunikationsschnittstelle 15-polige D-Sub-Buchse des Lecksuchers 1-2-3-4-13 Lautsprecher - Headset 8 Ω (+) 0–10 V - Mantisse Lautsprecher - Headset 8 Ω (-) 0–10 V - Logarithmisch Interner Transistor - Ausgewählter Testmodus erreicht Intern 5 VDC - 750 mA Interner Transistor - Lecksucher bereit (nur ASI 35) Interner Transistor - Test-Grenzwert überschritten 0–10 V - Exponent...
Seite 103: 5Formeln
Anhang Wert Funktion Mantisse 1/10 V Exponent 1/10 V Logarithmisch 1/10 V He-Verbindung 0/10 V (Exponent der Verbindung, Mantisse) 1) Siehe Kapitel „Formeln“ 13.2.5 Formeln Mantisse (1/10 V) Der Ausgang „Mantisse“ entspricht der Mantisse der Leckrate. Formel U = Am analogen Ausgang gemessene Spannung (V) Mantisse = U Beispiele ●...
Seite 104: Serielle Schnittstelle: Rs
Anhang Logarithmisch (0/10 V) Beispiele Beispiel 1 Untere Dekade bei 10 (0 V = 1 · 10 ) -> D = -12 ● V = 3,91 V -> Leckrate = 10 (3,91 - 3) x 10 (3 - 12) = 8,13 · 10 ●...
Seite 105: 1Anschluss
Anhang 13.3.1 Anschluss HINWEIS Gefahr von elektromagnetischen Störungen Spannungen und Strom können zu einer Vielzahl von elektromagnetischen Feldern und Störsignalen führen. Anlagen, die nicht die EMV-Vorschriften erfüllen, können andere Geräte und die Umgebung im Allgemeinen stören. ► In störanfälligen Umgebungen abgeschirmte Leitungen und Anschlüsse für die Schnittstellen ver- wenden.
Seite 106: 4Rs
Anhang 13.3.4 RS-232 Drücken Sie auf dem Bildschirm „Einstellungen“ [Extras] [Eingang/Ausgang] dann [Seriell Schnittstelle #1] oder [Seriell Schnittstelle #2]. Richten Sie den Typ der Schnittstelle „Serial“ ein. Parameters Richten Sie den Modus der seriellen Schnittstelle ein. 1) Siehe nachfolgende Einzelheiten ► Richten Sie die serielle Schnittstelle entsprechend ihrer Verwendung ein. Verwendung Mögliche Zuweisung Auszuwählender...
Seite 107: 5Modus „Basis
Anhang Mode Beschreibung HLT 5xx Protokoll für Kompatibilität mit dem Protokoll HLT 5xx des Lecksuchers. Stromversorgung von 5 V verfügbar. Liste der Befehle für das mit ASM 340/ASI 35 kompatible Protokoll. HLT 2xx Protokoll für Kompatibilität mit dem Protokoll HLT 2xx des Lecksuchers. Stromversorgung von 5 V verfügbar.
Seite 108 Anhang Positi- Name Meldung Beschreibung Emissionsstatus ON (EIN) Der Heizfaden ist eingeschaltet. OFF (AUS) Der Heizfaden ist ausgeschaltet. Leckrate S = 9,00E-07 Leckrate in mbar l/s Eingangsdruck P = 4,40E+02 Eingangsdruck in mbar Zeit 15:38:51 Zeitpunkt, zu dem der Test durchge- führt wurde Testergebnis (Be- PASS (BESTANDEN)
Seite 109: Modus „Tabelle Basis
Anhang Funktion Meldung Start Unit warming up (Starten der Einheit) Language (Sprache) Schnüffeln Snif. probe ON (Schnüffelsonde aktiviert) Snif. probe OFF (Schnüffelsonde deaktiviert) Modus „Tabelle Basis“ Der Modus „Tabelle Basis“ ist eine Variante des Modus „Standard Basis“. Er bietet die Möglichkeit der Datenerfassung und Formatierung der Daten in einer Tabelle wie Excel oder einer vergleichbaren Software (siehe nachfolgend).
Seite 110: 8Lange Befehle
Anhang Befehl Beschreibung des Befehls „Aktivie- Befehl Beschreibung des Befehls „Ab- „Aktivie- rung“ „Abbre- brechen“ rung“ chen“ Auswahl der Sprache auf der Steuer- einheit Aktivierung der Speicherung Deaktivierung der Speicherung Anpassung des Schalldruckpegels Ende der Anpassung des Schall- druckpegels Kalibrierung deaktiviert (AUS) Kalibrierung aktiviert (EIN) Aktivierung des Testmodus „Normal“...
Seite 111: Aufstellung Der Befehle
Anhang ● A für 0x06 ─ A = korrekter Befehl/Empfangsbestätigung ● N für 0x15 ─ N = Befehl nicht erkannt/keine Bestätigung (Nachrichtenkopf, Nachrichtenlänge) Alle langen Befehle enden mit dem Zeichen (Zeilenumbruch). Wenn es eine Antwort auf diesen Befehl gibt, so endet diese Antwort ebenfalls mit dem Zeichen (Zei- lenumbruch).
Seite 112 Anhang Menü Beschreibung Befehl Konfiguration Aktivierung des Tons !UMU Wartung Auswahl des Heizfadens (Wechsel zum anderen Heizfaden) Wartung Zurücksetzen der gespeicherten Fehler Extras Zurücksetzen der Standardparameter Extras Zurücksetzen der Warnungen 1) Korrekturfaktor 2) Funktion „Nullpunkt“ einschalten 3) Kalibrierungsprüfung 4) Kalibrierung 5) Lautstärke 6) Wartung Turbo und Zelle 7) Service...
Seite 113 Anhang Beschreibung Befehl [C] Fragt die Informationen des Master 1 Testlecks an 3)5) [C] ?FES1 Fragt die Informationen des Master 2 Testlecks an 3)5) [C] ?FES2 3)5) Fragt die Informationen des Master 3 Testlecks an [C] ?FES3 3)5) Fragt die Informationen des Master 4 Testlecks an [C] ?FES4 Fragt die Informationen des Master 5 Testlecks an 3)5)
Seite 114 Anhang Menü „Lecktest“ Beschreibung Befehl [C] Fragt die Parameter des Modus „Massiv“ an [C] ?MAS Fragt den Status der Funktion „Nullpunkt“ an [C] ?AUZ Fragt den Status der Funktion „Nullpunkt“ an [C] ?AZ Fragt den Status der Nullpunktreferenz an [C] ?SZ Fragt die Parameter der Funktion „Nullpunkt“...
Seite 115 Anhang Menü „Konfiguration“ Beschreibung Befehl [C] Fragt das Datum an [C] ?DA Fragt die aktuelle Zeit an [C] ?TI Fragt die Sprache an [C] ?SP Fragt die aktuelle Maßeinheit an [C] ?UN Fragt die untere Anzeigegrenze für die Leckrate an [C] ?LDL Fragt den Druck innerhalb der Spektrometerzelle an [C] ?PS...
Seite 116 Anhang Beschreibung Befehl [C] Fragt die Zieldrehzahl der Turbomolekularpumpe im Test- [C] ?VITH modus „Vakuumtest“ an Fragt die Zieldrehzahl der Turbomolekularpumpe im Test- [C] ?VITS modus „Schnüffeln“ an Fragt die Nenndrehzahl der Turbomolekularpumpe (Spekt- [C] ?VITN rometerzelle) an Fragt die Informationen der externen Messröhre an [C] ?GAUM Fragt den vollständigen Bereich der externen Messröhre [C] ?GAUMS...
Seite 117 Anhang Menü „Messung“ Beschreibung Befehl [C] Einrichten der Werte des externen Testlecks zur Berech- [C] =AExCF nung des Korrekturfaktors (Testmethode „Vakuumtest“ oder „Schnüffeln“) Konfigurieren des Korrekturkoeffizient „Vakuumtest“ [C] =HVCFx Externe Koeffizient in „Schnüffeln“ [C] =SNCFx Auswahl des verwendeten Prüfgases [C] =GZx 3)5) Auswahl des Master-Testlecks [C] =FECx...
Seite 118 Anhang Beschreibung Befehl [C] Einrichten des aktuellen Schaltpunkts mit der aktuellen [C] =S1CF Testmethode und der aktuellen Maßeinheit Einrichten des Schaltpunkts auf die aktuelle Maßeinheit [C] =S1CFx Einrichten des Grenzwerts „Sonde verstopft“ [C] =S6CF Einrichten des Grenzwerts „Sonde verstopft“ der Smart- [C] =SSSxxxx Sonde 1) Korrekturfaktor...
Seite 119 Anhang Beschreibung Befehl [C] Auswahl des Status des Spülgasventils [C] =VPUx Einrichten der Funktion „Bypass“ [C] =PADxyz 1) Modus „Massiv“ 9) Sonden-Typ 2) Funktion „Nullpunkt“ einschalten 10) Spülgasventil 3) Einlass belüften 11) Bypass 4) Testzyklus Ende 12) Druckschaltschwellen 5) Funktion „Memo“ 13) Kalibrierungsprüfung 6) Methode 14) Dynamische Kalibrierung...
Seite 120: Liste Der Direkten Befehle
Anhang Menü „Extras“ Beschreibung Befehl [C] Weist den Analogausgang 1 zu [C] =AO1y Weist den Analogausgang 2 zu [C] =AO2y Zuweisen des Analogausgangs 1 und Einrichten des Start- [C] =AO1yCF werts des Bereichs Zuweisen des Analogausgangs 2 und Einrichten des Start- [C] =AO2yCF werts des Bereichs Einrichten des Anfangswerts des Zählers der Vorpumpe...
Seite 121: Liste Der Befehle Auf Anfrage
Anhang Menü Beschreibung Befehl Wartung Auswahl des Heizfa- dens (Wechsel zum anderen Heizfaden) (HV/S) Wartung Zurücksetzen der ge- speicherten Fehler (HV/S) Extras Zurücksetzen der Standardparameter (HV/S) Extras Zurücksetzen der Warnungen (HV/S) 1) Korrekturfaktor 5) Lautstärke 2) Funktion „Nullpunkt“ einschalten 6) Wartung Turbo und Zelle 3) Kalibrierungsprüfung 7) Service 4) Kalibrierung...
Seite 122 Anhang Verwendung Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den aktuellen Status aa = ST: Startphase [C] ?CY des Lecksuchers an aa = HV: Testzyklus mit Testmethode „Vakuumtest“ [R] aa (HV/S) aa = SN: Zyklus mit Testmethode „Schnüffeln“ aa = ST: Startphase aa = CZ: Kalibrierung des elektronischen Nullpunkts aa = CM: Andere Kalibrierung mit der Testmethode „Vaku- umtest“...
Seite 123 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt, ob der Lecksucher für x = E: Lecksucher für Test bereit [C] ?RDY den Test bereit ist x = D: Lecksucher für Test nicht bereit [R] x (HV/S) Beispiel [R]: E Der Lecksucher ist für Test bereit. Fragt den Status des Gra- x = E: Aufzeichnung des Graphen im Gange [C] ?REC...
Seite 124 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den Korrekturkoeffizi- CF: Korrekturkoeffizient in „Schnüffeln“ [C] ?SN ent „Schnüffeln“ an x = E: Koeffizient aktiviert [R] CFx x = D: Koeffizient deaktiviert Beispiel [R]: 240-01E Das Signal mit der Testmethode „Schnüffeln“ wird mit 24 multipliziert.
Seite 125 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die Parameters des x = 2: Wasserstoff [C] ?FEMT zur internen Kalibrierung x = 3: Helium 3/3-Masse [R] xCFyzaabbccddd- verwendeten Testlecks (in- deeff x = 4: Helium 4/Helium ternes oder externes Testl- CF: Kalibrierte Leckrate eck) an (HV/S)
Seite 126 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die Informationen des x = 2: Wasserstoff [C] ?FES1 Master 1 Testlecks an x = 3: Helium 3/3-Masse [R] xCFyzaabbccddd- 3)5) deeffgggggggggg x = 4: Helium 4/Helium CF: Kalibrierte Leckrate Fragt die Informationen des [C] ?FES2 Master 2 Testlecks an y: Einheit (idem ?UN...
Seite 127 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die für das Master 1 x = 0: Einrichten des Master Testlecks mit dem Code für [C] ?FEST1 Testleck verwendete Ein- das PV-Leck [R] x stellungsart an x = 1: Einrichten des Master Testlecks ohne den Code für 3)5) das PV-Leck Beispiel [C]: ?FEST1...
Seite 128 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den Schaltpunkt mit CF: Grenzwert in der aktuellen Maßeinheit [C] ?S1 der aktuellen Testmethode Beispiel [R]: 200-09 [R] CF Der Schaltpunkt mit der aktuellen Testmethode liegt bei (HV/S) 2 · 10 Fragt den Schaltpunkt mit CF: Grenzwert in der aktuellen Maßeinheit [C] ?S1H der Testmethode „Vakuum-...
Seite 129 Anhang Menü „Lecktest“ Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die Parameter des x = E: Modus „Massiv“ aktiviert [C] ?MAS Modus „Massiv“ an x = D: Modus „Massiv“ deaktiviert [R] xyz (HV) y = E: Modus „Massiv“ im Gange y = D: Modus „Massiv“...
Seite 130 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die Parameter der dy- CF1: Leckrate in mbar·l/s [C] ?CV namischen Kalibrierung an CF2: Koeffizient [R] CF1CF2xy (HV/S) x = E: Koeffizient „Dynamische Kalibrierung“ aktiviert x = D: Koeffizient „Dynamische Kalibrierung“ deaktiviert y = C: Berechnung im Gange y = S: Berechnung gestoppt Beispiel [R]: 100-07100-02EC...
Seite 131 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt, ob das Belüften des a = E: Automatisches „Einlass belüften“ am Zyklusende [C] ?VT Einlasses am Zyklusende x = D: Manuelles „Einlass belüften“ am Zyklusende [R] x automatisch oder manuell ist Beispiel [R]: E (HV) Es findet ein manuelles „Einlass belüften“...
Seite 132 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die verwendete Test- x = 0: Methode „Vakuumtest“ [C] ?TST methode an x = 2: Testmethode „Schnüffeln“ [R] x (HV/S) Beispiel [R]: 0 Die Testmethode „Vakuumtest“ ist ausgewählt. Fragt den ausgewählten x = 2: Modus „Grobleck“ [C] ?CYT Testmodus an x = 3: Modus „Normal“...
Seite 133 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den Status der Funkti- x = 0: Keine Informationen zum Status der Funktion „Rege- [C] ?REG on „Regenerierung“ oder nerierung“ oder „Einlaufzyklus“ [R] xyzzzz „Einlaufzyklus“ an x = 1: Status der Funktion „Regenerierung“ (HV/S) x = 2: Status der Funktion „Einlaufzyklus“...
Seite 134 Anhang Menü „Sonde“ Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den Anfangsfluss der CF: Anfangsfluss der Sonde in sccm [C] ?FLQ Sonde in sccm an Beispiel [R]: 279+00 [R] CF 1)2) Der Durchfluss der Sonde liegt bei 279 sccm. Fragt den Durchfluss der xxxxxx: Aktueller Durchfluss der Sonde (1/10 sccm) [C] ?FLU Sonde in sccm an...
Seite 135 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die untere Anzeige- CF: Untere Anzeigegrenze in aktueller Einheit [C] ?LDL grenze für die Leckrate an Beispiel [R]: 100-11 [R] CF (HV/S) Der angezeigte Wert für die Leckrate darf nicht unter 1 · 10 mbar·l/s liegen (wenn die aktuelle Maßeinheit „mbar·l/s“...
Seite 136 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die Informationen der I: Messröhre als interne Messröhre verwendet [C] ?GAU internen Messröhre an yyy: Name der Messröhre [R] Iyyy (HV) ● AP-: Pirani 0–10 V Messröhre ● Pi3: Pi3C Messröhre ● P-C: Piezo-kapazitive Messröhre Beispiel [R]: IAP- Die interne Messröhre ist eine Pirani 0–10 V Messröhre.
Seite 137 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt Datum, Uhrzeit und dd: Tag [C] ?DTC Ergebnis der letzten inter- mm: Monat [R] jjmmaahhmmssx nen Kalibrierung an yy: Jahr (HV) hh: Stunde mm: Minute ss: Sekunde x = E: Kalibrierung erfolgreich x = D: Kalibrierungsfehler Beispiel [R]: 060123141936E Die letzte Kalibrierung wurde am 6.
Seite 138 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den Status der Vor- x = D: Vorpumpe nicht verwendet [C] ?T01 pumpe Nr. 1 an x = 2: Pumpe synchronisiert [R] xyyy (HV/S) x = 1: Vorpumpe in Betrieb Fragt den Status der Vor- [C] ?T02 x = S: Vorpumpe gestoppt oder fehlerhaft pumpe Nr.
Seite 139 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die Zieldrehzahl der xxxx: Zieldrehzahl (Hz) [C] ?VITH Turbomolekularpumpe im yyyy: Aktuelle Drehzahl (Hz) [R] xxxxyyyy Testmodus „Vakuumtest“ an Beispiel [R]: 15001422 (HV/S) Die Zieldrehzahl liegt bei 1500 Hz. Die aktuelle Drehzahl liegt bei 1422 Hz.
Seite 140 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt die CPU-Softwarever- aaaaaa: Modell des Lecksuchers [C] ?MD sion an Lxxxx: Softwarecode des Lecksuchers [R] aaaaaa Lxxxx y.yRyy (HV/S) y.yRyy: Softwareversion des Lecksuchers Beispiel [R]: ASM310 L0226 1.0R00 Modell des Lecksuchers: ASM 310 Softwarecode des Lecksuchers: L0226 Softwareversion des Lecksuchers: 1.0R00 Fragt zusätzliche Informatio-...
Seite 141: Liste Der Befehle Mit Parametern
Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Antwort [R] Fragt den Status der Digita- xxxx: 5-stellige Ganzzahl des Status des Ausgangs [C] ?OU lausgänge an y = D: 15-polige E/A-Schnittstelle [R] xxxxxy (HV/S) y = R: Ausgang nicht verfügbar y = N: 37-polige E/A-Schnittstelle Siehe Kapitel „Zusätzliche Informationen“...
Seite 142 Anhang Menü „Messung“ Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten der Werte des ex- [C] =AExCF x = H: Kalibrierte Leckrate zur Berechnung des Korrektur- ternen Testlecks zur Be- faktors mit der Testmethode „Vakuumtest“ rechnung des Korrekturfak- x = S: Kalibrierte Leckrate zur Berechnung des Korrektur- tors (Testmethode „Vakuum- faktors mit der Testmethode „Schnüffeln test“...
Seite 143 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten des zur internen [C] =FEMxyCFzaabbccddd- x = 2: Wasserstoff Kalibrierung verwendeten deeff x = 3: Helium 3/3-Masse Testlecks (internes oder ex- x = 4: Helium 4/Helium ternes Testleck) y = D: Externes Testleck (HV/S) y = E: „Interne“...
Seite 144 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten des Codes für xxxxxxxxxxx: Codes für das PV-Leck des Master Test- [C] =FESC1xxxxxxxxxxx das PV-Leck des Master 1 lecks Testlecks Beispiel [C]: =FESC1145222ZIUM80 3)5) Der Codes für das PV-Leck des Master 1 Testlecks lautet 145222ZIUM80.
Seite 145 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten der Funktion CF: Grenzwert „Schadstoffentfrachtung“ [C] =AACFx „Schadstoffentfrachtung“ x = E: Funktion „Schadstoffentfrachtung“ aktiviert (HV) x = D: Funktion „Schadstoffentfrachtung“ deaktiviert Beispiel [C]: =AA500-07E Die Funktion „Schadstoffentfrachtung“ ist aktiviert, wenn der Grenzwert „Schadstoffentfrachtung“ von 5 · 10 überschrit- ten wird.
Seite 146 Anhang Menü „Lecktest“ Beschreibung Befehl [C] Detail Auswahl des Status des Mo- [C] =MASxy x = E: Modus „Massiv“ autorisiert dus „Massiv“ x = D: Modus „Massiv“ nicht autorisiert (HV) y = E: Modus „Massiv“ im Gange y = E: Modus „Massiv“ nicht ausgelöst Beispiel [C]: =MASED Modus „Massiv“...
Seite 147 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten des Zielwerts der CF: Zielwert [C] =CVCF Funktion „Dynamische Ka- Beispiel [C]: =CV150-09 librierung“ Der Zielwert liegt bei 1,5 · 10 (HV) Einrichten der Warnung „Au- a = E: Warnung aktiviert [C] =ACAabbbbbccccc tokalibrierung erforderlich“ a = D: Warnung deaktiviert (HV/S) bbbbb Anzahl der für die automatische Warnung eingestell-...
Seite 148 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten der Funktion „Me- x = M: Funktion „Memo“ aktiviert [C] =MExbmmss mo“ x = A: Funktion „Memo“ deaktiviert (HV/S) b = E: Funktion „Memo“ stoppt, wenn der Zähler fertig ist b = D: Funktion „Memo“ stoppt nicht, wenn der Zähler fertig mmss: Speicherungszeit (mmss) Beispiel [C]: =MEME0130 Die Funktion „Memo“...
Seite 149 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten des Grenzwerts CF: Grenzwert „Druck“ [C] =P1UCF „Druck“ im Modus „Grob- Beispiel [C]: =P1U150-02 leck“ in der aktuellen Einheit Der Grenzwert für den Wechsel in den Testmodus „Grob- (HV) leck“ liegt bei 1,5 mbar (wenn die aktuelle Einheit „mbar l/s“ ist).
Seite 150 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Auswahl der Sprache auf x = 0: Englisch [C] =SPx der Steuereinheit x = 1: Spanisch (HV/S) x = 2: Deutsch x = 3: Französisch x = 4: Japanisch x = 5: Italienisch x = 6: Chinesisch x = 7: Koreanisch x = 8: Russisch x = 9: Portugiesisch...
Seite 151 Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Einrichten des Schalldruck- x: Lautstärke [C] =SOxy pegels y = E: Ton aktiviert (HV/S) y = D: Ton deaktiviert Beispiel [C]: =SO5E Der Ton ist aktiviert und die Lautstärke liegt bei 5. Einrichten des Grads der x: Lautstärke der Sprachsynthese [C] =SYxy Sprachsynthese...
Seite 152: Zusätzliche Informationen
Anhang Beschreibung Befehl [C] Detail Zurücksetzen des Anfangs- [C] =MCCZ werts des Zykluszählers (HV/S) Auswahl des Heizfadens (1 x = 1: Heizfaden 1 aktiviert [C] =SWx oder 2) x = 2: Heizfaden 2 aktiviert (HV/S) Beispiel [C]: =SW1 Heizfaden 1 ist aktiviert. 1) Zugang/Passwort 4) Externe Messröhre 2) Interne Kalibrierung Pirani...
Seite 153 Anhang Byte Nr. Beschreibung Wert Aktivierung auf Heizfaden 1 oder 2 Heizfaden 1 Heizfaden 2 Zustand des Heizfadens Ausgeschaltet (OFF) Eingeschaltet (ON) Status des Lecksuchers Außerhalb des Zyklus Im Zyklus Wenn der Lecksucher im Zyklus ist ● 00: Atmosphäre/Evakuieren ● 01: Grobleck ●...
Seite 154 Anhang Byte N Beschreibung Wert Status des Ventils „Einlass belüften“ Kein Einlass be- Inlet vent (Einlass lüften belüften) Verfügbarkeit eines Zyklusstarts Nicht verfügbar Verfügbar Gleichlauf Turbomolekularpumpe Kein Gleichlauf Gleichlauf Nicht verwendet Nicht verwendet Sonde verstopft Verstopft Nicht verstopft Zum Beispiel: Byte Nr.
Seite 155: 9Liste Der Meldungen
Anhang Ausgang Mit einer 15-poligen E/A-Schnittstelle Mit einer 37-poligen E/A- Schnittstelle Nicht verwendet 3-22 Nicht verwendet 2-21 Nicht verwendet 1-20 10 ... 16 Nicht verwendet Nicht verwendet 13.3.9 Liste der Meldungen Beachten Sie bei allen Meldungen auf deren Inhalt, um den Ursprung der Meldung zu ermitteln und bei Bedarf die entsprechenden Korrekturmaßnahmen durchzuführen.
Seite 156: Modus „Datenausgabe
Anhang RS-232 Befehl RS-232 Code Meldung e093 Fehler Dynamische Kalibrierung e095 Nullpkt unzulässig e096 Kalibrierungsfehler e097 Temperatur zu hoch e098 Temperatur zu niedrig e099 Störung 24 VDC e160 Schnüffelsonde verstopft e161 Durchfluss Schnüffelsonde zu hoch e180 Störung Emission e185 Störung Zellendruck e188 Drehzahl Turbopumpe e192...
Seite 157: Protokoll Hlt5Xx
Anhang Kommunikationseinstellungen Wert Datenbits Stoppbit Parität Nein Durchflusssteuerung Nein Beispiel: Generierte Datei „Save_File.txt“ 13.3.11 Protokoll HLT5xx Das Protokoll HLT5xx ist nicht für alle Lecksucher verfügbar. Lesen Sie die Betriebsanleitung des Lecksuchers, um herauszufinden, ob dieses Protokoll für Ihren Lecksucher verfügbar ist. Im Protokoll HLT5xx des Lecksuchers werden nur die im diesem Kapitel aufgeführten Be- fehle des Protokolls für den Lecksucher HLT5xx berücksichtigt.
Seite 158 Anhang Positi- Daten Beschreibung Adresse Standardmäßig „001“ Maßnahme 00 = Befehl auf Anfrage 10 = Befehl mit Parameter Einstellungs- Relevante Parameterzahl (n nummer Zum Beispiel: 303 (PV#) Datenlänge Datenlänge (d Zum Beispiel: 06 für 6 Zeichen Daten Daten im ASCII-Format Das Format und die Größe der Daten hängen von den folgenden Punkten ●...
Seite 159 Anhang Eine Bestätigung der erhaltenen Anpassungsanfrage bedeutet zunächst nur, dass der vom Host gesendete Befehl verstanden wurde. Wenn der Betriebsstatus der Einheit eine Anpassung er- laubt, wird dies ebenfalls ausgeführt. Es ist ratsam, dann den Parameter als eine Überprüfung an- zufordern.
Seite 160 Anhang Verfügbare Befehle Beschreibung der Parameter Diese können abhängig von dem durch einen Parameter dargestellten Dateninhalt unterschiedlich for- matiert werden. Format Beschreibung Größe Zum Beispiel Zei- chen 0 - boolean_old Wahr/Falsch als 6 Nullen (0) (ASCII 48) ● 000000 -> falsch oder 1 (ASCII 49) ●...
Seite 161 Anhang Name Beschreibung Befehl Befehl Datenformat Beschreibung der mit Para- auf An- Parameter meter frage Parameteroptionen (10) (00) Fw_versi- Softwareversion 4 - string Vx.xx MC68 Zum Beispiel: V3.60 Op_hours Nutzungsstun- 1 - u_integer 0000 9999 den (Lecksu- cher einge- schaltet) Pv_mbar Druck externe 10 - u_ex-...
Seite 162 Anhang Name Beschreibung Befehl Befehl Datenformat Beschreibung der mit Para- auf An- Parameter meter frage Parameteroptionen (10) (00) Filament Verwendeter 7 - u_short_int Schreiben und Lesen (Heizfa- Heizfaden 000 = Emission AUS den) 001 = Heizfaden 1, Emission EIN 002 = Heizfaden 2, Emission EIN Zero Untergrundun-...
Seite 163 Anhang Name Beschreibung Befehl Befehl Datenformat Beschreibung der mit Para- auf An- Parameter meter frage Parameteroptionen (10) (00) Curr_State Status des 7 - u_short_int 001: Einschalten Lecksuchers 002: Stand-by 003: Evakuieren 004: Aktualisieren 012: Test im Modus „Feinleck“ GetCalStat Kalibrierstatus 7 - u_short_int 000 = Inaktiv 001 = Ausstehend...
Seite 164 Anhang Name Beschreibung Befehl Befehl Datenformat Beschreibung der mit Para- auf An- Parameter meter frage Parameteroptionen (10) (00) CLext_snif Externe kalib- 10 - u_ex- Schreiben und Lesen rierte Leckrate po_new 1E-6 ...1E5-5...1E+0 (Schnüffeltest) (für mbar·l/s) in nachfolgen- den Einheiten mbar·l/s 1000 1000 Pa·m...
Seite 165 Anhang Name Beschreibung Befehl Befehl Datenformat Beschreibung der mit Para- auf An- Parameter meter frage Parameteroptionen (10) (00) StartCal Kalibrierung 6 - boolean_old 1 = Kalibrierung star- starten Gaugetype Modell der ex- 4 - string 6*0X2 6*0X7 nogauge = Keine ternen Mess- Messröhre röhre (gekenn-...
Seite 166 Anhang Binär ASCII Binär ASCII 0010 0101 1010 0101 0010 0110 & 1010 0110 0010 0111 1010 0111 0010 1000 1010 1000 0010 1001 1010 1001 0010 1010 1010 1010 0010 1011 1010 1011 0010 1100 1010 1100 0010 1101 1010 1101 0010 1110 1010 1110...
Seite 167: Protokoll Hlt2Xx
Anhang Binär ASCII Binär ASCII 0101 0111 1101 0111 0101 1000 1101 1000 0101 1001 1101 1001 0101 1010 1101 1010 0101 1011 1101 1011 0101 1100 1101 1100 0101 1101 1101 1101 0101 1110 1101 1110 0101 1111 1101 1111 0110 0000 1110 0000 0110 0001...
Seite 168 Anhang Abkürzungen und Symbole Symbol Beschreibung HOST Computer oder Terminal ASCII American Standard Code for Information Interchange ASCII 05 Senden Datenübertragung vom HOST zum Lecksucher Empfangen Datenübertragung vom Lecksucher zum HOST Protokoll Kommunikation HOST Lecksucher ENQ + Befehlscode + Parameter Befehlscode + Parameter Flussdiagramm (vorgeschlagen) Zeitüberschreitung...
Seite 169 Anhang Daten Datenformat INTEGER 2 Bytes, Ganzzahl vorzeichenbehaftet, L-Byte, H-Byte (-32768 … 32767) BYTE 1 Byte, Ganzzahl vorzeichenbehaftet (-128 … +127) UBYTE 1 Byte, Ganzzahl nicht vorzeichenbehaftet (0 … 255) BOOL 1 Byte, 0 = FALSCH, ansonsten WAHR Befehle Codes Name Beschreibung Datenformat...
Seite 170 Anhang Beispiele Bytes werden in einem hexadezimalen Format dargestellt. Konvertierung zwischen den verschieden Formaten: Siehe Kapitel „Protokoll HLT5xx“ StartMeasure (0x13) HOST Lecksucher 05 13 Eingabefehler HOST Lecksucher 05 4C C8 Gleitkommazahl-Konvertierung laut IEEE 754 AA BB CC DD DD h CC h BB h AA h...
Seite 171 Anhang 00 00 CA 42 42 h CA h 00 h 00 h 0 1 0 0 0 0 1 0 b 1 1 0 0 1 0 1 0 0000 0000 00000000 Sign 8-bit exponent 23-bit mantissa 1000 0101 100 1010 0000 0000 0000 0000 100 1010 0000 0000 0000 0000 -1 0...
Seite 173 EN 61000-6-4: 2007 EN 60204-1: 2006 ENV 50204: 1996 Autorisierter Repräsentant im Vereinigten Königreich und der bevollmächtigte Vertreter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell Unterschrift: Pfeiffer Vacuum SAS...
Seite 174: Eg-Konformitätserklärung
EN 61326-1: 2013 EN 60204-1: 2006 EN 50581: 2013 Die für die technische Beschreibung der technischen Beschreibung verantwortliche Person ist Herr Cyrille Nominé, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 An- necy cedex, Frankreich. Unterschrift: Pfeiffer Vacuum SAS...
Seite 175 175/176...

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