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10 Technische Daten
10.3
Lebensdauer
Das folgende Diagramm zeigt die Abnahme der Schrittweite über die Lebensdauer des N-470.
Die Lebensdauer des Linearaktors N-470 ist mit >1.000.000.000 Schritten unter
atmosphärischen Bedingungen spezifiziert (>50.000.000 Schritte unter Vakuumbedingungen).
Dabei nimmt die typische Schrittweite maximal um 30 % ab.
Abbildung 12: Typische Schrittweite in nm vs. Anzahl Schritte
N-470 Linearaktor
MP125D
Version: 2.1.0
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