Werbung
Quicklinks
MP125D
N-470 Linearaktor
Benutzerhandbuch
Version: 2.1.0
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 29.09.2023
Dieses Dokument beschreibt die folgenden
Produkte:
N-470.x10/.x10Y, N-470.x1V/.x1VY
PiezoMike Linearaktor, M10×1 Gewinde
N-470.x20/.x20Y, N-470.x2V
PiezoMike Linearaktor, 9,5 mm (0,375")
Klemmschaft
Modelle:
x steht für den Stellweg:
1 = 7 mm
2 = 13 mm
Y: gedrehter Kabelabgang
0: nicht geeignet für den Einsatz im Vakuum
V: vakuumkompatibel bis 10
hPa
-6
Werbung
Verwandte Anleitungen für Physik Instrumente MP125D
Inhaltszusammenfassung für Physik Instrumente MP125D
- Seite 1 Y: gedrehter Kabelabgang 0: nicht geeignet für den Einsatz im Vakuum V: vakuumkompatibel bis 10 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
- Seite 2 Die von PI gehaltenen Patente finden Sie in unserer Patentliste: https://www.physikinstrumente.de/de/ueber-pi/patente © 2023 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.
- Seite 3 Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 2.2.1 Organisatorische Maßnahmen ..............6 2.2.2 Maßnahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten ..
- Seite 4 Wartung Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................35 10.1.1 Datentabelle ....................35 10.1.2 Verwendete Materialien für vakuumkompatible Modelle ......38 10.1.3 Bemessungsdaten ..................38 10.1.4 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......... 39 10.2 Schrittweite und axiale Kraft ..................40 10.3 Lebensdauer ......................41 10.4 Betriebs- und Einschaltdauer ...................
- Seite 5 Bei Nichtbeachtung drohen Tod oder schwerste Verletzungen. Maßnahmen, um die Gefahr zu vermeiden. HINWEIS Gefährliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachschäden. Maßnahmen, um die Gefahr zu vermeiden. INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung, Tricks, Tipps, etc. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 6 Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Produkt Dokument E-872.401 Q-Motion® Piezomotor / PiezoMike PZ279 Benutzerhandbuch Treiberelektronik N-45x / N-47x / N-48x PiezoMike Linearaktoren MP171EK Kurzanleitung PIMikroMove® SM148E Software Manual Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 7 5. Klicken Sie für das gewünschte Handbuch auf den Button HINZUFÜGEN und dann auf ANFORDERN. 6. Füllen Sie das Anfrageformular aus und klicken Sie auf ANFRAGE SENDEN. Der Download-Link wird Ihnen an die eingegebene E-Mail-Adresse gesendet. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 9 Benutzen Sie den N-470 nur bestimmungsgemäß und in technisch einwandfreiem Zustand. Lesen Sie das Benutzerhandbuch. Beseitigen Sie Störungen, die die Sicherheit beeinträchtigen können, umgehend. Der Betreiber ist für den korrekten Einbau und Betrieb des N-470 verantwortlich. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 10 Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt. Während der Montage und während des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet. Danach wird der Linearaktor noch einmal per Wischreinigung gesäubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschweißt. Berühren Sie den Linearaktor nur mit puderfreien Handschuhen. Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 11 2 = Klemmschaft 9,5 mm Dritte Stelle Eignung für Einsatz 0 = nicht geeignet im Vakuum V = bis 10 Vierte Stelle Position des Stelle leer = Standardkabelabgang Kabelabgangs Y = gedrehter Kabelabgang (d.h. um 180° versetzt) N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 12 PiezoMike Linearaktor, 13 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, gedrehter Kabelabgang PiezoMike Linearaktoren mit Klemmschaft, vakuumkompatibel bis 10 Modell Beschreibung PiezoMike Linearaktor, 7 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, N-470.12V vakuumkompatibel bis 10 N-470.22V PiezoMike Linearaktor, 13 mm, 9,5 mm (0,375") Klemmschaft, vakuumkompatibel bis 10 Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 13 Modelle mit Gewinde und Standardkabelabgang (links: N-470.x10; rechts: N-470.x1V) Schraubenkopf Feingewindeschraube (drehend) Grundkörper Befestigungsmutter M10×1 Befestigungsgewinde M10×1 Kugelkopfstück zur Ankoppelung an den bewegten Teil der mechanischen Aufnahme Ausdrehsicherung (Halbmondring) für Feingewindeschraube Produktbeschriftung Kabel für Anschluss an Elektronik N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 14 Kugelkopfstück zur Ankoppelung an den bewegten Teil der mechanischen Aufnahme Ausdrehsicherung (Halbmondring) für Feingewindeschraube Produktbeschriftung Kabel für Anschluss an Elektronik Bewegungsrichtungen Abbildung 3: Bewegungsrichtungen des N-470 Beachten Sie die weiteren Angaben zu den Einsatzbedingungen im Abschnitt "Technische Daten" (S. 35). Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 15 3 Produktbeschreibung Produktbeschriftung Abbildung 4: N-470: Produktbeschriftung Abbildung 5: Typenschild (N-470.410 als Beispiel) Abbildung 6: Laserbeschriftung (bei vakuumkompatiblen Modellen, N-470.21V als Beispiel) N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 16 DataMatrix-Code (Beispiel; enthält die Seriennummer) Lieferumfang Produktnummer Beschreibung N-470 Linearaktor gemäß Bestellung (S. 7) 000049906 Hakenschlüssel MP171EK Kurzanleitung für PiezoMike Linearaktoren Nur für vakuumkompatible Modelle: K030B1279 Kabel LEMO 3-polig auf offenes Ende, 2 m, luftseitig Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 17 Adapter, LEMO 3-polig auf Mini-DIN (zum Anschluss des N-470 an ältere E-870 Treiberelektroniken) N-400.AML Adapter, Mini-DIN auf LEMO 3-polig (zum Anschluss älterer N-470 an die E-872.401 Treiberelektronik) Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst (S. 33). N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 19 3. Überprüfen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Schäden. Bei Schäden oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an unseren Kundendienst (S. 33). 4. Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf für den Fall, dass das Produkt zurückgeschickt werden muss. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 21 Bauen Sie den N-470 so ein, dass die Anwendung nicht durch die abgegebene Wärme beeinträchtigt wird. Sorgen Sie für ausreichende Belüftung am Einsatzort. Halten Sie die Einsatzbedingungen (Einschaltdauer, Umgebungstemperatur) gemäß den Angaben in "Technische Daten" (S. 35) ein. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 22 Ein beschädigtes Gewinde kann zum Ausfall des Linearaktors führen. Vermeiden Sie den Kontakt der Feingewindeschraube mit harten Gegenständen. HINWEIS Schäden durch zu festes Anziehen der Befestigungsmutter! Zu festes Anziehen der Befestigungsmutter kann den Linearaktor beschädigen. Ziehen Sie die Befestigungsmutter handfest an. Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 23 Sie die Schraubverbindung in regelmäßigen Abständen und ziehen Sie bei Bedarf die Schraube(n) nach. Abbildung 7: Modell mit Gewinde: Relevante Komponenten für den Einbau in die mechanische Aufnahme (hier: N-470.x10) Befestigungsmutter M10×1 Befestigungsgewinde Kugelkopfstück N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 24 Sie haben eine geeignete mechanische Aufnahme bereitgestellt (Abmessungen des Linearaktors siehe "Abmessungen" (S. 45)): − Die mechanische Aufnahme muss an den Schutzleiter angeschlossen sein. Die Kontaktfläche der mechanischen Aufnahme zu Befestigungsmutter oder − Gewinde bzw. Klemmschaft des N-470 muss elektrisch leitend sein. Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 25 2. Entfernen Sie die Befestigungsmutter vom Klemmschaft des N-470. 3. Positionieren Sie den N-470 in der mechanischen Aufnahme Ihrer Anwendung. 4. Drehen Sie die Befestigungsmutter des N-470 in das Gewinde des Klemmschafts einige Umdrehungen mit der Hand ein. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 26 LEMO-Stecker, 3-polig, siehe "Pinbelegung" (S. 47) Zuordnung der Litzen und des Kabelschirms Buchstabe Litzenfarbe Funktion Signal Vakuumseitiges Luftseitiges Aktorkabel Anschlusskabel Weiß Piezospannung 0 bis 80 V PIEZO+ Schwarz Braun Masse von Piezospannung PIEZO- Blanker Kabelschirm Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 27 Verbinden Sie den Kabelschirm entsprechend der obigen Abbildung. Wenn der Kabelschirm mit einem Pin nicht verbunden werden kann, verbinden Sie den Kabelschirm jeweils mit dem Gehäuse. 2. Prüfen Sie die Leitungen mit einem geeigneten Messgerät auf Kontakt und Kurzschluss. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 29 Zu hohe Betriebsfrequenz kann Schäden am N-470 verursachen. Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des N-470. Überschreiten Sie nicht den Betriebsfrequenzbereich (S. 38), für den der N-470 spezifiziert ist. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 30 Schäden an Feingewindeschraube durch Kontakt mit harten Gegenständen! Kontakt mit harten Gegenständen kann das Gewinde der Feingewindeschraube beschädigen. Ein beschädigtes Gewinde kann zum Ausfall des Linearaktors führen. Vermeiden Sie den Kontakt der Feingewindeschraube mit harten Gegenständen. Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 31 Im Schrittbetrieb entwickelt der Trägheitsantrieb Geräusche. Die Geräuschentwicklung hängt von der aktuellen Schrittfrequenz ab. Beachten Sie die weiteren Angaben zu den Einsatzbedingungen im Abschnitt "Technische Daten" (S. 35). Die Inbetriebnahme des N-470 erfolgt mit einer geeigneten Elektronik (S. 13) von PI. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 32 Die Elektronik und die benötigte PC-Software wurden installiert. Alle Anschlüsse an der Elektronik wurden eingerichtet (siehe Benutzerhandbuch der Elektronik). N-470 betreiben Folgen Sie für die Inbetriebnahme und den Betrieb des N-470 den Anweisungen im Handbuch der verwendeten Elektronik (S. 13). Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 33 7 Wartung Wartung Wenn der N-470 in einer sauberen Umgebung betrieben wird, sind keine Wartungsarbeiten notwendig. Wenn Sie eine Wartung Ihres Geräts wünschen, kontaktieren Sie unseren Kundendienst (S. 33). N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 35 Sie den Schraubenkopf per Hand hin- und ist blockiert herdrehen. Wenn die Störung Ihres Systems nicht in der Tabelle angeführt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann, kontaktieren Sie unseren Kundendienst (S. 33). N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 37 PC-Betriebssystem (sofern vorhanden) − Wenn möglich: Fertigen Sie Fotografien oder Videoaufnahmen Ihres Systems an, die Sie unserem Kundendienst auf Anfrage senden können. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 39 80 g 80 g 80 g Material Schraube: Schraube: Schraube: Schraube: Edelstahl. Edelstahl. Edelstahl. Edelstahl. Gehäuse: Gehäuse: Gehäuse: Gehäuse: Aluminium Aluminium Aluminium Aluminium (eloxiert). (eloxiert). (eloxiert). (eloxiert). Mutter: Bronze. Mutter: Bronze. Mutter: Bronze. Mutter: Bronze. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 40 LEMO LEMO LEMO FFA.0S.303.CLAC FFA.0S.303.CLAC FFA.0S.303.CLAC FFA.0S.303.CLAC Kabellänge Empfohlene Controller / Treiber E-872.401 E-872.401 E-872.401 E-872.401 Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet: Für den Dauerbetrieb nicht geeignet (siehe "Betriebs- und Einschaltdauer" (S. 42)). Sonderausführungen auf Anfrage. Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 41 Maximale Geschwindigkeit in X, unbelastet: Für den Dauerbetrieb nicht geeignet (siehe "Betriebs- und Einschaltdauer" (S. 42)). Kabellänge / Stecker: 1 m Anschlusskabel am Aktor, Kabelende mit offenen Litzen; 2 m separates Anschlusskabel, offene Litzen auf LEMO 3-polig. Sonderausführungen auf Anfrage. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 42 Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz im Leistungsaufnahme Dauerbetrieb* N-470.xx0 80 V (Spitze-Spitze) 400 Hz N-470.xx0Y N-470.xxV 80 V (Spitze-Spitze) 200 Hz N-470.xxVY * Kurzzeitig sind bis zu 2000 Hz zulässig. Siehe "Betriebs- und Einschaltdauer" (S. 42). Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 43 Lagertemperatur -20 °C bis 75 °C Transporttemperatur -20 °C bis 75 °C Maximale Ausheiztemperatur 120 °C, für 12 Stunden, nur im ausgeschalteten Zustand für Modelle N-470.xxV, .xxVY Überspannungskategorie Schutzklasse Verschmutzungsgrad Schutzart gemäß IEC 60529 IP30 N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 44 Das folgende Diagramm zeigt die Schrittweite des N-470 gegen verschiedene axiale Kräfte. Der Einfluss unterschiedlicher axialer Kräfte auf die Schrittweite ist relativ gering. Die aktive Vorschubkraft ist mit 22 N spezifiziert (siehe "Technische Daten"). Abbildung 11: Typische Schrittweite in nm vs. axiale Kraft in N Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 45 Die Lebensdauer des Linearaktors N-470 ist mit >1.000.000.000 Schritten unter atmosphärischen Bedingungen spezifiziert (>50.000.000 Schritte unter Vakuumbedingungen). Dabei nimmt die typische Schrittweite maximal um 30 % ab. Abbildung 12: Typische Schrittweite in nm vs. Anzahl Schritte N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 46 * Einzustellen über den Betriebsparameter Maximum Motor Output (0x9) bei E-872.401 bzw. PIShift Steps per Second bei E-870. Das folgende Diagramm zeigt die Betriebsdauer in Sekunden in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde. Abbildung 13: Betriebsdauer in s vs. Schritte/s Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 47 120 s (max.) 20 % / 8 min 1000 10 s 20 % / 40 s unbegrenzt unbegrenzt ≤200 * Einzustellen über den Betriebsparameter Maximum Motor Output (0x9) bei E-872.401 bzw. PIShift Steps per Second bei E-870. N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 48 Abbildung 15: Betriebsdauer in s vs. Schritte/s (Vakuumversionen des N-470) Das folgende Diagramm zeigt die Einschaltdauer in % in Abhängigkeit von der Anzahl der Schritte pro Sekunde. Abbildung 16: Einschaltdauer in % vs. Schritte/s (Vakuumversionen des N-470) Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 49 Beachten Sie: Bei den Modellen N-470.xxxY befindet sich der Kabelabgang genau gegenüber der in den Maßzeichnungen abgebildeten Position. 10.5.2 Modelle mit Gewinde M10×1 Abbildung 17: Abmessungen N-470.x1x N-470.11x N-470.21x Einheit N-470.11xY N-470.21xY 53,5 B (Stellweg) N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 50 10 Technische Daten 10.5.3 Modelle mit Klemmschaft Abbildung 18: Abmessungen N-470.x2x N-470.12x N-470.22x Einheit N-470.12xY N-470.22xY 53,5 B (Stellweg) Version: 2.1.0 MP125D N-470 Linearaktor...
- Seite 51 Abbildung 19: LEMO-Stecker, 3-polig Funktion Litzenfarben für vakuumkompatible Modelle Vakuumseitiges Luftseitiges Kabel Kabel Eingang: Piezo + (0 bis 80 V) Weiß Eingang: Piezo - (GND) Schwarz Braun Nicht verbunden Mit dem Steckergehäuse Kabelschirm Blank Blank verbunden N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...
- Seite 53 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstr. 1 D-76228 Karlsruhe...
- Seite 55 Für den N-470 wurden Konformitätserklärungen gemäß den folgenden europäischen gesetzlichen Anforderungen ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 EMV: EN 61326-1 RoHS: EN IEC 63000 N-470 Linearaktor MP125D Version: 2.1.0...