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Anhang
A:
Beziehung zwischen
Messsignal und Druck
Umrechnungsformeln
Umrechnungskurven
Umrechnungstabelle
BG 805 174 BD
(9910)
TPR265.bet
(U-c)
p = 10
U
p
c
[V]
[mbar]
5.5
[V]
[µbar]
2.5
wobei
p
Druck
U
Messsignal
c
Konstante (abhängig
von der Druckeinheit)
Druck p
1E+05
1E+04
1E+03
1E+02
1E+01
1E+00
1E–01
1E–02
1E–03
1E–04
1E–05
0.0 0.5 1.0 1.5
2.0
2.5
Messsignal U
[V]
[mbar]
< 0.5
0.5...2.2
2.2
5.0×10
2.5
1.0×10
3.5
1.0×10
4.5
0.1
5.5
1.0
6.5
10
7.5
100
8.5
1000
8.5 ... 10.3
⇔
U = c + log
U
p
c
[V]
[Torr]
5.625
[V]
[mTorr]
2.625
[V]
[micron]
2.625
gültig im Bereich
3.0
3.5
4.0
4.5
5.0
5.5
6.0
6.5
Messsignal U[V]
Druck p
[Torr]
Sensorfehler (sensor error)
Messbereichsunterschreitung (underrange)
-4
-4
3.8×10
-3
-4
7.5×10
-2
-3
7.5×10
-2
7.5×10
0.75
7.5
75
750
Messbereichsüberschreitung (overrange)
p
10
U
p
c
[V]
[Pa]
3.5
[V]
[kPa]
6.5
-4
5×10
mbar < p < 1000 mbar
-4
3.75×10
Torr < p < 750 Torr
-2
5
5×10
Pa < p < 1×10
Pa
Pa
mbar
torr
7.0
7.5
8.0
8.5
9.0
9.5
10.0
10.3
[Pa]
-2
5.0×10
0.1
1.0
10
100
1000
4
1.0×10
5
1.0×10
17
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