Zeiss AURIGA Serie Handbücher

Anleitungen und Benutzerhandbücher für Zeiss AURIGA Serie. Wir haben 1 Zeiss AURIGA Serie Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Betriebsanleitung

Zeiss AURIGA Serie Betriebsanleitung (156 Seiten)

Marke: Zeiss | Kategorie: PCs | Dateigröße: 2.98 MB

Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis
3
Zu dieser Anleitung
9
Sicherheitshinweise in dieser Anleitung
10
Darstellungskonventionen
11
Terminologie
12
Sicherheit
13
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
13
Verhütung von Unfällen und Unsachgemäßem Gebrauch
14
Sicherheitsübersicht
15
Verletzungsgefahr
15
Nicht zu Verletzungen Führende Gefahren
18
Sicherheitsausrüstung
19
Sicherheitsvorrichtungen
19
Verkleidungen
19
Verriegelungssystem
19
EIN/AUS-Schalter
20
NOT-AUS-Box mit Hauptschalter (Optional)
21
NOT-AUS-Taster
21
Hauptabsperrventile
21
Sicherheitsaufkleber und Aufkleber
22
An der Vorderseite der Workstation
22
An der Rückseite der Workstation
24
An der Rückseite der Elektronenoptischen Säule
25
IM Inneren der Workstation
25
Materialsicherheitsdatenblätter
25
Sicherheitshinweise zum Umgang mit Prekursoren
26
Beschreibung
27
Überblick
27
Basis-Workstation
28
Ansicht
28
Nachgerüstete Workstation
29
Ansicht
29
FIB-Nachrüstung
30
Gasinjektionssystem-(GIS-)Nachrüstung
30
Fünfkanal-GIS
30
Einkanal-GIS
30
Ladungsausgleichs-Nachrüstung
30
Ladungskompensator
30
Fünfkanal-GIS mit Integriertem Ladungsausgleich
31
Bedienelemente
31
Smartsem ® -Benutzeroberfläche
31
Dualjoystick
32
Optionale Bedienkonsole
33
Funktionsprinzip
34
Vakuumsystem
34
Probentisch
36
Elektronenoptik (GEMINI ® -Säule)
36
Ionenoptik (FIB-Säule)
39
Abbildungsmodi
40
Signaldetektion
41
In-Lens-Detektor
41
SE2-Detektor
42
Esb
43
SESI-Detektor (Optional, nur bei FIB-Nachrüstung)
44
Spezifikation
46
Basis-Workstation
46
Workstation mit FIB-Nachrüstung
47
Technische Daten
49
Grundriss und Anschlüsse
49
Aufstellplan
50
Aufstellbedingungen
51
Zusatzoptionen
53
Schleuse
53
Kundenservice
53
Transport und Lagerung
55
Transport
55
Lagerung
56
Installation
57
Bedienung
59
Workstation Einschalten
59
Benutzeroberfläche
59
Inbetriebnahme der Smartsem
59
Sich in der Smartsem ® -Benutzeroberfläche Zurechtfinden
61
Werkzeugleisten Ein-/Ausblenden
61
Datenzone Ein-/Ausblenden
62
Vollbild Anzeigen
63
Dockingfenster
63
Konfigurationsleiste Aufrufen
65
SEM-Betrieb (Basis-Workstation)
66
Erstes Bild Erstellen
66
Probenhalter Vorbereiten
67
Probenkammer durch Schleuse Laden
68
Probenkammer durch Kammertür Laden
68
Probe Platzieren
73
Elektronenkathode Einschalten
74
EHT Einschalten
74
Bild Erzeugen
76
Bild Optimieren
78
Bild Speichern
82
Arbeitssitzung Beenden
84
Detektionsparameter Einstellen
85
Detektor Auswählen
85
Mit dem SE2-Detektor Arbeiten
86
Mit dem Esb -Detektor Arbeiten (Optional)
86
Elektronenstrahlabscheiden oder Elektronenstrahlätzen
87
Reservoire Heizen
87
Abscheiden oder Ätzen mit dem Elektronenstrahl
88
Crossbeam -Betrieb (nur bei FIB-Nachrüstung)
89
Workstation Vorbereiten
89
Einstieg
89
Kippeuzentrizität Einstellen
90
Ionenstrahl (FIB) Einschalten
91
Koinzidenzpunkt Einstellen
96
Millen
97
Millbedingungen Auswählen
97
Millvorgang Beginnen
100
Bilder während des Millens Aufzeichnen
102
Gasunterstütztes Abscheiden: Platin (nur bei GIS-Nachrüstung)
102
Platin-Reservoir Heizen
103
Das Platin-Reservoir Ausgasen
104
Abscheidungsbedingungen Auswählen
107
Abscheidungsvorgang Beginnen
109
Detektionsparameter Einstellen
112
Mit dem SESI-Detektor Arbeiten (Optional)
112
Hilfefunktionen Aufrufen
113
Smartsem ® -Hilfe Aufrufen
114
Hilfetexte Ausdrucken
114
Hilfetexte in den Vordergrund Bringen
114
Kontextsensitive Hilfe Aufrufen
115
Thema Suchen
115
Schritt-Für-Schritt Anleitungen Aufrufen
116
Einstieg
116
Häufig Verwendete Bedienschritte
116
Übersicht der Tastenkombinationen
117
Informationen zu Smartsem ® Anzeigen
117
Versionshistorie
117
Über Smartsem
118
Smartsem ® -Benutzeroberfläche Schließen
118
Abmelden
118
Beenden
119
Workstation Ordnungsgemäß Ausschalten
119
In den STANDBY-Modus Umschalten
119
In den OFF-Modus Umschalten
120
Not-Aus
121
Mit Optionaler NOT-AUS-Box
121
Ausschalten bei Auftreten eines Notfalls
121
Wiedereinschalten nach NOT-AUS
121
Ohne NOT-AUS-Box
123
Ausschalten Beim Auftreten eines Notfalls
123
Wiedereinschalten nach NOT-AUS
123
Workstation Komplett Ausschalten
124
Wartung und Reparatur
127
Wartungsarbeiten
127
Wartungsintervalle
127
Wechsel von Verbrauchsmaterialien und Chemikalien
128
Störungsbeseitigung
129
Übersicht
129
Kammer
131
Probentisch Initialisieren
131
Kammertürdichtung Ersetzen
131
Säule
133
Kathodenkopf Ausheizen
133
Ionenquelle (Workstation mit FIB)
136
Betriebsdauer Überprüfen
136
Ionenquelle Regenerieren
136
Stromversorgung
139
Sicherungen Ersetzen
139
Außerbetriebnahme und Entsorgung
143
Workstation Außer Betrieb Setzen
143
Entsorgung
143
Feste Abfälle (Verbrauchsmaterialien) Entsorgen
143
Workstation Entsorgen
143
Teile und Werkzeuge
145
Wichtige Verbrauchsmaterialien
145
Wichtige Ersatzteile
145
Werkzeuge und Zubehör
146
Abkürzungen
147
Konformitätserklärung
151

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