Seite 1 Carl Zeiss Microscopy - Electron and Ion Beam Microscopy ® Serie AURIGA Modulare CrossBeam ® -Workstation Enabling the Nano-Age...
Seite 2 Dokumentation oder ein nachfolgendes Upgrade davon dürfen weder Dritten ohne vorherige schriftliche Zustimmung der Firma Carl Zeiss Microscopy mitgeteilt werden, auch wenn diese lediglich für den internen Gebrauch des Kunden bestimmt sind, noch kopiert oder anderweitig vervielfältigt werden, mit Ausnahme einer einzelnen Sicherungskopie zur Sicherheit.
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
fåÜ~äí Inhaltsverzeichnis 1. Zu dieser Anleitung ..................9 1.1 Sicherheitshinweise in dieser Anleitung ............10 1.2 Darstellungskonventionen ................11 1.3 Terminologie ....................12 2. Sicherheit ....................13 2.1 Bestimmungsgemäßer Gebrauch ..............13 2.2 Verhütung von Unfällen und unsachgemäßem Gebrauch ......14 2.3 Sicherheitsübersicht ..................
Seite 4 fåÜ~äí 3.4.2 Dualjoystick ......................32 3.4.3 Optionale Bedienkonsole ..................33 3.5 Funktionsprinzip ....................34 3.5.1 Vakuumsystem ....................... 34 3.5.2 Probentisch ......................36 3.5.3 Elektronenoptik (GEMINI ® -Säule) ................36 3.5.4 Ionenoptik (FIB-Säule) .................... 39 3.5.4.1 Abbildungsmodi......................40 3.5.5 Signaldetektion ....................... 41 3.5.5.1 In-Lens-Detektor ......................
Seite 5 fåÜ~äí 6.4.1.4 Probe platzieren ......................73 6.4.1.5 Elektronenkathode einschalten ..................74 6.4.1.6 EHT einschalten ......................74 6.4.1.7 Bild erzeugen ......................... 76 6.4.1.8 Bild optimieren........................ 78 6.4.1.9 Bild speichern......................... 82 6.4.1.10 Arbeitssitzung beenden....................84 6.4.2 Detektionsparameter einstellen ................85 6.4.2.1 Detektor auswählen......................85 6.4.2.2 Mit dem SE2-Detektor arbeiten ..................
Seite 6 fåÜ~äí 6.8.2 Beenden ....................... 119 6.9 Workstation ordnungsgemäß ausschalten ..........119 6.9.1 In den STANDBY-Modus umschalten ..............119 6.9.2 In den OFF-Modus umschalten ................120 6.10 NOT-AUS .....................121 6.10.1 Mit optionaler NOT-AUS-Box ................121 6.10.1.1 Ausschalten bei Auftreten eines Notfalls..............121 6.10.1.2 Wiedereinschalten nach NOT-AUS................
Seite 7 fåÜ~äí 12. Glossar ....................149 13. Konformitätserklärung ................151 14 Index ......................153 =sff _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMR ®...
Seite 8 fåÜ~äí sfff _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMR ®...
Seite 9: Zu Dieser Anleitung
Lesen Sie diese Anleitung sorgfältig durch. Diese Betriebsanleitung ist nahe der Workstation aufzubewahren und an zukünftige Besitzer dieses Geräts weiterzugeben. Diese Betriebsanleitung ist für Benutzer vorgesehen, die durch autorisiertes Carl Zeiss- Fachpersonal für den Betrieb der Workstation ausgebildet wurden. Bediener der Workstation dürfen von den in der Anleitung stehenden Anweisungen nicht abweichen.
Seite 10: Sicherheitshinweise In Dieser Anleitung
NK=wì=ÇáÉëÉê=^åäÉáíìåÖ páÅÜÉêÜÉáíëÜáåïÉáëÉ=áå=ÇáÉëÉê=^åäÉáíìåÖ 1.1 Sicherheitshinweise in dieser Anleitung Die Sicherheitshinweise in dieser Anleitung sind nach dem Risikoniveau angeordnet, das wie folgt definiert ist: GEFAHR Mit diesem Sicherheitssymbol und Signalwort wird eine unmittelbar gefährliche Situation angezeigt. Die Nichtbeachtung dieser Warnung FÜHRT zum Tod oder zu schweren Verletzungen. WARNUNG Mit diesem Sicherheitssymbol und Signalwort wird eine potenziell gefährliche Situation angezeigt.
Seite 11: Darstellungskonventionen
NK=wì=ÇáÉëÉê=^åäÉáíìåÖ a~êëíÉääìåÖëâçåîÉåíáçåÉå 1.2 Darstellungskonventionen Zur Beschreibung der Software werden folgende Darstellungskonventionen verwendet: Darstellung Bedeutung <ENTER> drücken. Die Taste ENTER auf der Tastatur drücken. <Taste1, Taste2> drücken. Zuerst Taste 1 und dann Taste 2 auf der Tastatur drücken. <Strg + Alt + Entf>. drücken. Auf der Tastatur gleichzeitig die Tasten STRG, ALT und ENTF drücken.
Seite 12: Terminologie
Speziell geschulter Bediener: Elektrofachkraft, die geschult worden ist, grundlegende Wartungsaufgaben durchzuführen. Benutzer Eine Person oder Firma, die Produkte der Firma Carl Zeiss verwendet. NOT-AUS-Box NOT-AUS-Box, eine Sicherheitsvorrichtung, welche die Sicherheitselektronik zum kompletten Ausschalten der Workstation (und angeschlossener Zusatzgeräte) in einem Notfall enthält.
Seite 13: Sicherheit
OK=páÅÜÉêÜÉáí _ÉëíáããìåÖëÖÉã®≈Éê=dÉÄê~ìÅÜ 2. Sicherheit 2.1 Bestimmungsgemäßer Gebrauch AURIGA ® ist eine CrossBeam ® -Workstation, mit der mikroskopische Untersuchungen und Bearbeitungen geeigneter Proben durchgeführt werden können. Durch das modulare Konzept der Workstation sind verschiedene Nachrüststufen möglich. Auf höchster Nachrüststufe ermöglicht AURIGA ® die Ausführung der gesamten Palette von FEREM- und CrossBeam ®...
Seite 14: Verhütung Von Unfällen Und Unsachgemäßem Gebrauch
OK=páÅÜÉêÜÉáí sÉêÜΩíìåÖ=îçå=råÑ®ääÉå=ìåÇ=ìåë~ÅÜÖÉã®≈Éã=dÉÄê~ìÅÜ Wenn das AURIGA ® mit einem Gasinjektionssystem (GIS) ausgestattet ist, können von den Gasinjektions- system folgenden Prekursoren bis zu fünf verschiedene zur Verfügung stehen: Reaktionsprodukt Prekursor Verwendungszweck Wolfram W(CO) Abscheidung Wolframhexacarbonyl Platin Abscheidung Methylcyclopentadienyl(trimethyl)platin (IV) Siliziumdioxid Abscheidung (Nichtleiter) DTBS Diacetoxydi-t-butoxysilan Kohlenstoff...
Seite 15: Sicherheitsübersicht
OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíëΩÄÉêëáÅÜí verstanden haben. Die Kundendokumentation ist im Dokumentenordner zu finden. Im Rahmen der Erstinbetriebnahme wird vom Servicepersonal der Firma Carl Zeiss eine Bediener- schulung Grundlagenschulung durchgeführt. Die Grundlagenschulung besteht aus den grundlegenden Bedienschritten einschließlich der Sicherheitshinweise. Daneben wird für speziell geschulte Bediener, die Elektrofachkräfte sein müssen, eine Einführung in grundlegende Wartungs-...
Seite 16 OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíëΩÄÉêëáÅÜí Firma Carl Zeiss durchgeführt werden. Keine Teile entfernen. Es ist unzulässig, Teile des Verriegelungssystems zu deaktivieren. Ausschließlich Carl Zeiss-Originalteile verwenden. Alle Sicherheitsbestimmungen und die Röntgenschutzverordnung einhalten. Solange folgende Bedingungen erfüllt sind, ist für den Betrieb der Workstation in Deutschland keine Zulassung erforderlich: •...
Seite 17 Gefahr durch reizende Gase, die von den Prekursoren freigesetzt werden können. Gase können Reizungen der Augen, Haut und Atemwege verursachen. Kein Reservoir von der Workstation entfernen. Ein leeres Reservoir vom Carl Zeiss-Service auswechseln lassen. Niemals versuchen, ein Reservoir zu öffnen. ®...
Seite 18: Nicht Zu Verletzungen Führende Gefahren
Beim Berühren von Innenteilen der Probenkammer oder von Proben persönliche Schutzausrüstung tragen. Kein Reservoir von der Workstation entfernen. Ein leeres Reservoir vom Carl Zeiss-Service auswechseln lassen. Niemals versuchen, ein Reservoir zu öffnen. Das Ausheizen des Kathodenkopfs muss als regelmäßige Wartungsarbeit durchgeführt werden.
Seite 19: Sicherheitsausrüstung
OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíë~ìëêΩëíìåÖ Stellen Sie sicher, dass die an die Workstation angeschlossene Gesamtlast 10 A nicht überschreitet. WICHTIG Fingerabdrücke können zu virtuellen Vakuumlecks führen. Beim Berühren der Proben oder von Innenteilen der Probenkammer stets fusselfreie Handschuhe tragen. 2.4 Sicherheitsausrüstung 2.4.1 Sicherheitsvorrichtungen Zur Vermeidung jeglicher Gesundheitsgefahr oder Gefahr von Sachschäden ist die Workstation mit verschiedenen Sicherheits- und Schutzvorrichtungen ausgestattet.
Seite 20: Ein/Aus-Schalter
OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíë~ìëêΩëíìåÖ Kathodenkopfverriegelung Die Kathodenkopfverriegelung ist oben auf der elektronenoptischen Säule angeordnet. Hiermit wird sichergestellt, dass beim Öffnen des Kathodenkopfs die Hochspannungsverriegelungsschaltung getrennt wird. Bei Aktivierung dieser Verriegelung (d.h. keinem elektrischen Kontakt) können die Kathode und die Beschleunigungsspannung nicht eingeschaltet werden.
Seite 21: Not-Aus-Box Mit Hauptschalter (Optional)
OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíë~ìëêΩëíìåÖ 2.4.1.4 NOT-AUS-Box mit Hauptschalter (optional) WICHTIG Die NOT-AUS-Box mit Hauptschalter ist die Nachrüstung bei FIB- und/oder GIS-Geräten obligatorisch. Der Hauptschalter (1) befindet sich an der Vorderseite der NOT-AUS-Box. Hiermit werden alle an die NOT-AUS-Box angeschlossenen Geräte von der Hauptstrom- versorgung getrennt.
Seite 22: Sicherheitsaufkleber Und Aufkleber
OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíë~ìëêΩëíìåÖ • Kühlwasserversorgung • Wasserrücklauf • Stickstoffversorgung • Druckluftversorgung Die Hauptabsperrventile müssen leicht zugänglich sein. Sie müssen geeignet sein, bei Bedarf die Verbindung zu den entsprechenden Medien zu trennen. Die Hauptabsperrventile müssen in der Stellung AUS verriegelbar sein, damit ein unabsichtliches Wiedereinschalten verhindert wird. Da der Benutzer für den Einbau der Hauptabsperrventile verantwortlich ist, muss er auch Anleitungen zu deren sachgemäßen Bedienung bereitstellen.
Seite 23 OK=páÅÜÉêÜÉáí páÅÜÉêÜÉáíë~ìëêΩëíìåÖ Lage Betreff Aufkleber Sicherheits- VORSICHT hinweis Beschädigungsgefahr FEREM oder Probentisch können beschädigt werden, wenn sich der Probentisch in einem geringen Arbeitsabstand befindet. Vor dem Öffnen der Kammertür den Probentisch in einen größeren Arbeitsabstand fahren. Sicherheits- VORSICHT hinweis Verletzungen vermeiden Bedienen Sie dieses Produkt erst, wenn Sie die Betriebsanleitung gelesen und verstanden haben.
Seite 24: An Der Rückseite Der Workstation
Betreff Aufkleber Typenschild Sicherheitshinweis VORSICHT Strahlenrisiko Im Inneren des Elektronenmikroskops entsteht während des Betriebs Röntgenstrahlung. Keine Teile entfernen. Ausschließlich Carl Zeiss-Originalteile verwenden. Örtliche Sicherheitsbestimmungen und Röntgenschutzverordnung einhalten. Rechtlicher Hinweis Sicherheitshinweis VORSICHT Hoher Leckstrom Für sachgemäße Erdung sorgen. Das Elektronenmikroskop nicht ohne zusätzlichen Schutzleiter betreiben.
Seite 25: An Der Rückseite Der Elektronenoptischen Säule
Unter den Verkleidungen der Workstation befinden sich weitere Sicherheitsaufkleber, die an autorisierte Serviceingenieure der Firma Carl Zeiss gerichtet sind. Diese Sicherheitsaufkleber sind in den Dokumenten für das Servicepersonal der Firma Carl Zeiss beschrieben. 2.4.3 Materialsicherheitsdatenblätter Materialsicherheitsdatenblätter (MSDS) der in Verbindung mit der Workstation verwendeten Chemikalien sind im mit der Workstation mitgelieferten Dokumentenordner enthalten.
Seite 26: Sicherheitshinweise Zum Umgang Mit Prekursoren
Gase können Reizungen der Augen, Haut und Atemwege verursachen. Hohe Konzentrationen können Störungen des Zentralnervensystems verursachen. Kein Reservoir von der Workstation entfernen. Ein leeres Reservoir vom Carl Zeiss-Service auswechseln lassen. Niemals versuchen, ein Reservoir zu öffnen. Näheres ist aus der Betriebsanleitung des GIS und den Materialsicherheitsdatenblättern (MSDS) ersichtlich.
Seite 27: Beschreibung
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ §ÄÉêÄäáÅâ 3. Beschreibung 3.1 Überblick Die AURIGA ® -Workstation beruht auf einem modularen Gerätekonzept. Die Basis-Workstation besteht aus einem Feldemissionsrasterelektronenmikroskop mit einer GEMINI ® -Säule. Folgende Nachrüstungen sind möglich: Nachrüstungen Mögliche Anwendungen: Ladungsausgleich FIB-Säule (CC) SEM-Betrieb SEM-Betrieb Abbildung nicht leitender Proben SEM-Betrieb Elektronenstrahlätzen Elektronenstrahlabscheiden...
Seite 28: Basis-Workstation
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ _~ëáëJtçêâëí~íáçå 3.2 Basis-Workstation 3.2.1 Ansicht Probenkammer Elektronenoptische Säule, GEMINI ® -Säule ON/STANDBY/OFF-Taster Monitore Untergestell Bedienkonsole (optional) Abb. 3.1: AURIGA ® -Basis-Workstation ® OU=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 29: Nachgerüstete Workstation
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ k~ÅÜÖÉêΩëíÉíÉ=tçêâëí~íáçå 3.3 Nachgerüstete Workstation 3.3.1 Ansicht Probenkammer Monitore FIB-Säule Bedienkonsole (optional) Elektronenoptische Säule, GEMINI ® -Säule Detektor ON/OFF/STANDBY-Taster Schleuse 10 Untergestell Abb. 3.2: Nachgerüstete AURIGA ® -Workstation ® OV=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 30: Fib-Nachrüstung
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ k~ÅÜÖÉêΩëíÉíÉ=tçêâëí~íáçå 3.3.2 FIB-Nachrüstung Zwei FIB-Säulen-Typen stehen zur Verfügung: • Canion-Säule • Cobra-Säule 3.3.3 Gasinjektionssystem-(GIS-)Nachrüstung Mit einem Gasinjektionssystem können ein oder mehrere Prozessgase auf die Probenoberfläche geleitet werden. 3.3.3.1 Fünfkanal-GIS Mit dem Fünfkanal-GIS können bis zu fünf verschiedene Prekursorgase injiziert werden. Näheres ist aus der entsprechenden Betriebsanleitung ersichtlich.
Seite 31: Fünfkanal-Gis Mit Integriertem Ladungsausgleich
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ _ÉÇáÉåÉäÉãÉåíÉ 3.3.4.2 Fünfkanal-GIS mit integriertem Ladungsausgleich Als Alternative steht ein Fünfkanal-GIS mit integrierter Ladungsausgleichsfunktion zur Verfügung. Näheres ist aus der entsprechenden Betriebsanleitung ersichtlich. 3.4 Bedienelemente ® 3.4.1 SmartSEM -Benutzeroberfläche Die Steuerung der Workstation erfolgt mit Hilfe der SmartSEM ® -Software. Die Bedienung der Software erfolgt über eine grafische Benutzeroberfläche.
Seite 32: Dualjoystick
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ _ÉÇáÉåÉäÉãÉåíÉ FIB-Werkzeugleiste Auswahl des FIB- (nur bei FIB-Nachrüstung) Abbildungsmodus Titelleiste (nur bei FIB-Nachrüstung) Symbol Menüleiste Werkzeugleiste Konfigurationsleiste Datenzone Mauszuweisung Anmerkungsleiste Statusleiste Bildbereich 3.4.2 Dualjoystick Mit dem Dualjoystick erfolgen die Tischsteuerung und die Probennavigation. ® PO=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 33: Optionale Bedienkonsole
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ _ÉÇáÉåÉäÉãÉåíÉ Mit dem großen Joystick rechts werden die X- und Y-Achse verfahren. Zur Steuerung der Tischrotation wird der obere Knopf nach links oder rechts gedreht. Mit dem kleinen Joystick links werden die Z-Achse und die Probenkippung (T) gesteuert. Der Break-Taster ist ein Nothalt-Taster für den Probentisch.
Seite 34: Funktionsprinzip
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé • • Shift X Scan Speed + • • Shift Y Scan Speed - • Brightness • Contrast • Focus 3.5 Funktionsprinzip 3.5.1 Vakuumsystem Zum Betrieb der Workstation müssen der Kathodenkopf (10), die Säule und die Probenkammer evakuiert sein. Zum Betrieb der Kathode und zur Vermeidung von Zusammenstößen der Elektronen und/oder Ionen mit Gasmolekülen ist das Vakuum unerlässlich.
Seite 35 PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé Kathode mit Filament Turbopumpe Ionengetterpumpen (IGP) Belüftungsventil Probenkammer Säulentrennventil Penning Messröhre Mehrlochblende Vorvakuumpumpe 10 Kathodenkopf Abb. 3.3: Schematische Darstellung des Vakuumsystems Mit der Vorvakuumpumpe (5) und der Turbopumpe (6) wird die Probenkammer evakuiert. Das Kammer- vakuum Vakuum in der Probenkammer wird mit einer Penning Messröhre (4) gemessen. Die ermittelten Vakuumwerte werden als ’System vacuum’...
Seite 36: Probentisch
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé Bei Erhalt des Befehls Vent schließt sich das Säulentrennventil und gasförmiger Stickstoff strömt Belüften über das Belüftungsventil (7) in die Probenkammer. Nach Erreichen des Druckgleichgewichts kann die Kammertür zum Wechseln der Probe geöffnet werden. Zur Weiterführung des Betriebs muss mit dem Befehl Pump die Probenkammer über die Evakuieren Vorvakuumpumpe und Turbopumpe evakuiert werden.
Seite 37 PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé Als Kathode dient ein Schottky Feldemitter (1). Durch das Anlegen des Heizstroms wird das Kathode Filament geheizt. Während ein als Extraktorspannung (U ) bezeichnetes elektrisches Feld angelegt wird, werden von dem geheizten Filament Elektronen abgegeben. Zur Unterdrückung unerwünschter thermoionischer Emission aus dem Schaft des Schottky Feldemitters wird außerdem eine Suppressorspannung (U ) angelegt.
Seite 38 PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé Der Elektronenstrahl läuft zunächst durch die Anodenblende (3) und anschließend durch eine Blenden Mehrlochblende (4). Die Standardblende ist das 30 µm große Blendenloch, wobei es sich um die Blende handelt, die sich in der Mitte befindet. Die Blendengröße ist entscheidend für den Strahlstrom.
Seite 39: Ionenoptik (Fib-Säule)
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé 3.5.4 Ionenoptik (FIB-Säule) Ionenquelle (Ga Objektivlinse Variable Blenden Probe Ionenstrahl Abb. 3.5: Schematische Darstellung der Ionenoptik Die FIB-Säule ist der Teil der CrossBeam ® -Workstation, in dem Ionen emittiert, beschleunigt, fokussiert und abgelenkt werden. Die FIB-Säule ist um 54° gekippt. Zwei FIB-Säulen-Typen stehen zur Verfügung: •...
Seite 40: Abbildungsmodi
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé Der elektrostatische Kondensor kollimiert und fokussiert den Ionenstrahl je nach Betriebsmodus. Kondensor Nach dem Durchgang durch den Kondensor wird der Strahlstrom durch einen Satz Strahlströme softwaregesteuerter mechanischer Blenden bestimmt. Durch Einsatz der verschiedenen Blenden in Verbindung mit den verschiedenen Kondensoreinstellungen lässt sich der Strahlstrom im Bereich zwischen 1 pA und 50 nA stufenlos einstellen.
Seite 41: Signaldetektion
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé SEM-Abbildungsmodus CrossBeam-Betrieb FIB-Abbildungsmodus Abb. 3.6: Abbildungsmodi 3.5.5 Signaldetektion Bei den bei der Rasterelektronenmikroskopie zur Bilderzeugung am häufigsten verwendeten Wechselwirkungsprodukten handelt es sich um Sekundärelektronen (SEs) und Rückstreuelektronen (REs). Zur Trennung und Detektion von SEs und REs sind zwei Parameter zu beachten: Die Energie- und die Winkelverteilung.
Seite 42: Se2-Detektor
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé In-Lens-Detektor Objektivlinse Strahlengang Probe Abb. 3.7: Schematische Darstellung des In-Lens-Detektors Bei einer Beschleunigungsspannung von maximal 20 kV werden die Elektronen des Primärelek- tronenstrahls zusätzlich mit 8 kV, der so genannten Strahlverstärkerspannung, beschleunigt. Damit sichergestellt ist, dass die Elektronen mit der als Beschleunigungsspannung eingestellten Energie auf die Probenoberfläche auftreffen, wird am Ende der Objektivlinse durch eine Spannung von 8 kV ein elektrostatisches Feld erzeugt.
Seite 43: Esb
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé werden. Durch diese Kollektorspannung wird vor dem Detektor ein elektrisches Feld erzeugt, das die SEs niedriger Energie in Richtung des Szintillators leitet. Bei allen Standardanwendungen sollte die Kollektorspannung auf +300 V eingestellt werden. Probe SE-Detektor Kollektorgitter Objektivlinse Abb. 3.8: Schematische Darstellung des SE2-Detektors Durch die Auswahl einer negativen Kollektorspannung wird ein Feld erzeugt, durch das die SEs Negative Kollektor-...
Seite 44: Sesi-Detektor (Optional, Nur Bei Fib-Nachrüstung)
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé Unter einer Landungsenergie von 1,5 kV hat das Filtergitter die zusätzliche Aufgabe, die gewünschte Energie der REs auszuwählen. Zur Erhöhung des Kontrasts und der Auflösung hat der Bediener die Möglichkeit, die Schwellenenergie der unelastisch gestreuten REs auszuwählen. Die Kombination aus In-Lens-Detektor und EsB ® -Detektor ermöglicht es, Topografiekontrast (SEs) und Materialkontrast (REs) gleichzeitig abzubilden und zu überlagern.
Seite 45 PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ cìåâíáçåëéêáåòáé FIB-Säule Kollektorgitter GEMINI ® -Säule Probe SESI-Detektor Abb. 3.10: Schematische Darstellung des SESI-Detektors Von der Probe (5) gestreute Elektronen und Ionen werden von einem Kollektor (4) angezogen und zum Konverter hin beschleunigt. Im Konverter werden Elektronen und Ionen in Sekundärelektronen gewandelt, die zur Erzeugung eines Bildes verwendet werden.
Seite 46: Spezifikation
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ péÉòáÑáâ~íáçå 3.6 Spezifikation 3.6.1 Basis-Workstation Nennleistung Auflösung 1,0 nm bei 15 kV bei optimalem Arbeitsabstand 1,9 nm bei 1 kV bei optimalem Arbeitsabstand Beschleunigungs- 0,1 V - 30 kV spannung Strahlstrom 4 pA - 20 nA bei integriertem Hochstrom - Tiefenschärfemodul Vergrößerung 12 - 1.000.000 x Elektronenoptik (GEMINI ®...
Seite 47: Workstation Mit Fib-Nachrüstung
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ péÉòáÑáâ~íáçå Probenkammer und -tisch Probentisch 6-Achsen motorisiert supereuzentrisch, gesteuert ® über SmartSEM -Software Probengewicht Bis 0,5 kg Verfahrbewegung X = 100 mm Y = 100 mm Z = 55 mm M = 10 mm T = -10° bis 60° R = 360°...
Seite 48 PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ péÉòáÑáâ~íáçå Ionenoptik Linsen Zwei elektrostatische Linsen Stigmator Achtpolig elektrostatisch Blenden Canion-Säule 7 Blenden, motorisiert Cobra-Säule 13 Blenden, motorisiert Strahlverschiebung +/- 7 µm Optionaler Detektor SESI-Detektor Auf einem Szintillator/Photomultiplier basierendes System, einfacher Wechsel zwischen Sekundärionen- und Sekundärelektronenmodus, Alternative zum SE2-Detektor Andere optional erhältliche Detektoren auf Anfrage.
Seite 49: Technische Daten
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ qÉÅÜåáëÅÜÉ=a~íÉå 3.7 Technische Daten 3.7.1 Grundriss und Anschlüsse Potenzialausgleichsschiene Wassermagnetventil (optional) Hauptstromversorgung 208 - 230 V / 22 A, 1/N 10 Druckminderer für Wasser, Stickstoff (L2) / Schutzleiter und Druckluft NOT-AUS-Box (optional) 11 Hauptabsperrventile für Wasser, Stickstoff und Druckluft Dynamischer Schwingungsdämpfer 12 Kühlwasserversorgung Statischer Schwingungsdämpfer oder Quiet-...
Seite 50: Aufstellplan
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ qÉÅÜåáëÅÜÉ=a~íÉå 3.7.2 Aufstellplan Abmessungen Gewicht Lastvertei- Pos. Beschreibung Raumbedarf (mm) (kg) lung (kg) Untergestell + Säule 822 x 980 x 1851 4 x 215 4 x Ø 80 mm PC-Arbeitsplatz 1153 x 980 x 1350 4 x 24,3 4 x Ø 50 mm Dynamischer Dämpfungsblock 200 x 200 x 290 1 x 26...
Seite 51: Aufstellbedingungen
PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ qÉÅÜåáëÅÜÉ=a~íÉå 3.7.3 Aufstellbedingungen Örtliche Voraussetzungen Aufstellungsort Ausschließlich im Inneren von Gebäuden Raumgröße Mind. 3,5 m x 5,0 m x 2,3 m (Höhe) Servicebereich Mind. 0,75 m auf jeder Seite Installationskategorie Abgasleitung Eine Abgasleitung ist erforderlich, um das Abgas der Vorvakuumpumpe abzuführen und nach draußen zu leiten.
Seite 52 PK=_ÉëÅÜêÉáÄìåÖ qÉÅÜåáëÅÜÉ=a~íÉå Kühlwasserversorgung Wasserdurchflussrate Mind. 1,5 l/min Druck 2 bis 3 bar Wassertemperatur 18 - 22 °C Stabilität 0,5 °C/10 min Gasversorgung Stickstoff Qualität 4,6 bei einem Stickstoffgehalt von <99,996 % Standard Durchflussrate Ca. 3 l/min zur Belüftung der Probenkammer bei geöffneter Kammertür Druck 0,02 - 0,3 MPa (0,2 - 0,3 bar)
Seite 53: Zusatzoptionen
100-mm-Schleuse Näheres zur Bedienung ist aus der entsprechenden Betriebsanleitung ersichtlich. 3.9 Kundenservice Bei technischen Problemen oder Fragen wenden Sie sich bitte an den zuständigen Carl Zeiss- Serviceingenieur. Eine Liste der Carl Zeiss-Standorte und autorisierten Servicepartner ist unter folgender Adresse zu finden: ®...
Seite 54 Um die optimale Leistungsfähigkeit der Workstation sicherzustellen, ist unbedingt eine vorbeugende Wartung in regelmäßigen Abständen durchzuführen. Außerdem sollten Sie mit der zuständigen Carl Zeiss-Servicefirma oder dem zuständigen Servicevertreter einen Wartungsvertrag abschließen. Hierdurch wird ein durchgehend störungsfreier Betrieb der Workstation sichergestellt.
Seite 55: Transport Und Lagerung
QK=qê~åëéçêí=ìåÇ=i~ÖÉêìåÖ qê~åëéçêí 4. Transport und Lagerung 4.1 Transport VORSICHT Beim Herablassen der Last besteht Quetschgefahr. Sicheren Abstand einhalten. Beim Herablassen der Last nicht unter der Last aufhalten und Hände oder Füße nicht unter die Last bringen. Sicherheitsschuhe und Handschuhe tragen. VORSICHT Beschädigungsgefahr der Workstation.
Seite 56: Lagerung
QK=qê~åëéçêí=ìåÇ=i~ÖÉêìåÖ i~ÖÉêìåÖ 4.2 Lagerung Die verpackte Workstation muss an einem trockenen Ort gelagert werden. Bei der Lagerung muss die Temperatur zwischen +10 °C und +70 °C liegen. ® RS=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 57: Installation
RK=fåëí~ää~íáçå 5. Installation Auspacken, Installation und erste Inbetriebnahme werden durch autorisiertes Servicepersonal der Firma Carl Zeiss durchgeführt. RT=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 58 RK=fåëí~ää~íáçå RU=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 59: Bedienung
SK=_ÉÇáÉåìåÖ tçêâëí~íáçå=ÉáåëÅÜ~äíÉå 6. Bedienung Dieses Kapitel enthält Angaben zu: Auf einen Blick • Workstation einschalten Inbetriebnahme der SmartSEM ® -Benutzeroberfläche • Sich in der SmartSEM ® -Benutzeroberfläche zurechtfinden • • SEM-Betrieb (Basis-Workstation) • Elektronenstrahlabscheiden oder -ätzen (nur bei GIS-Nachrüstung) CrossBeam ® -Betrieb (nur bei FIB-Nachrüstung) •...
Seite 60 SK=_ÉÇáÉåìåÖ fåÄÉíêáÉÄå~ÜãÉ=ÇÉê=pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ ® Auf das Symbol Carl Zeiss SmartSEM doppelklicken. Oder Start/Programs/SmartSEM/ SmartSEM User Interface auswählen. Es werden der EM Server aufgerufen und verschiedene Treiber geladen. Die Funktion des EM Servers besteht darin, die interne Verbindung zwischen der SmartSEM ® -Software und der Hardware der Workstation herzustellen.
Seite 61: Sich In Der Smartsem ® -Benutzeroberfläche Zurechtfinden
SK=_ÉÇáÉåìåÖ páÅÜ=áå=ÇÉê=pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ=òìêÉÅÜíÑáåÇÉå ® ® Der EM Server wird zu einem kleinen Element (Symbol) rechts auf der Windows -Taskleiste minimiert. Die SmartSEM ® -Software ist zum Betrieb der Workstation bereit. ® 6.3 Sich in der SmartSEM -Benutzeroberfläche zurechtfinden 6.3.1 Werkzeugleisten ein-/ausblenden Zum leichten Zugriff auf die Funktionen von SmartSEM ®...
Seite 62: Datenzone Ein-/Ausblenden
SK=_ÉÇáÉåìåÖ páÅÜ=áå=ÇÉê=pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ=òìêÉÅÜíÑáåÇÉå ® Zur Anzeige einer Werkzeugleiste das entsprechende Kontrollkästchen aktivieren. Um die Kurzinfo-Eigenschaften der Benutzerwerkzeugleiste zu ändern, das entsprechende Optionsfeld auf der rechten Seite des Fensters wählen. Mit OK bestätigen. 6.3.2 Datenzone ein-/ausblenden Bei der Datenzone handelt es sich um eine Sondergruppe von Anmerkungsobjekten, mit denen Parameter-Istwerte angezeigt werden.
Seite 63: Vollbild Anzeigen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ páÅÜ=áå=ÇÉê=pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ=òìêÉÅÜíÑáåÇÉå ® 6.3.3 Vollbild anzeigen Zur Anzeige des Mikroskopbildes kann die volle Bildschirmgröße genutzt und ein Vollbild angezeigt werden. Im Menü View/Toggle Full Screen Image auswählen. Oder <Umschalttaste + F3> drücken. Mit <Umschalttaste + F3> wird der Vorgang rückgängig gemacht. 6.3.4 Dockingfenster An das Hauptfenster können verschiedene Fenster angedockt werden.
Seite 64 SK=_ÉÇáÉåìåÖ páÅÜ=áå=ÇÉê=pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ=òìêÉÅÜíÑáåÇÉå ® Soll das Dockingfenster nach links verschoben werden, wird das Fenster durch Klicken auf die Titelleiste gefasst und auf die andere Seite des Bildbereichs gezogen. Zur Befestigung eines Fensters am Dockingfenster auf die Titelleiste des Fensters klicken und zum Dockingfenster ziehen.
Seite 65: Konfigurationsleiste Aufrufen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ páÅÜ=áå=ÇÉê=pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ=òìêÉÅÜíÑáåÇÉå ® Am Dockingfenster können mehrere Fenster befestigt werden. Zur Minimierung eines Fensters auf den Pfeil- button (1) in der Titelleiste klicken. Zum Ausblenden des Dockingfensters das Kontrollkästchen Docking Panel deaktivieren. Hierdurch wird das Dockingfenster ausgeblendet. 6.3.5 Konfigurationsleiste aufrufen Im Menü...
Seite 66: Sem-Betrieb (Basis-Workstation)
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Hierdurch wird die Konfigurationsleiste geöffnet, in der eine alphabetische Liste von Funktionen angezeigt wird. Zur Auswahl einer Funktion darauf doppelklicken. 6.4 SEM-Betrieb (Basis-Workstation) 6.4.1 Erstes Bild erstellen Im folgenden Abschnitt sind die grundlegenden Abläufe zur schnellen Bilderstellung mit dem SE2-Detektor zusammengefasst.
Seite 67: Probenhalter Vorbereiten
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Erforderliche Teile geeignete Probe (mit leitenden Eigenschaften, z.B. Gold auf Kohlenstoff) fusselfreie Handschuhe Der komplette Ablauf umfasst: Auf einen Blick • Probenhalter vorbereiten • Probenkammer laden • Probe platzieren • Kathode einschalten • Beschleunigungsspannung einschalten • Bild erzeugen •...
Seite 68: Probenkammer Durch Schleuse Laden
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Probenteller mit Pinzette in Probenhalter einsetzen. Probenteller am Probenhalter gut befestigen. Madenschraube mit Innensechskantschlüssel anziehen. 6.4.1.2 Probenkammer durch Schleuse laden Näheres zur Bedienung der Schleuse ist aus der entsprechenden Betriebsanleitung ersichtlich. 6.4.1.3 Probenkammer durch Kammertür laden Alternativ zur Verwendung der Schleuse kann die Probenkammer durch die Kammertür geladen werden.
Seite 69 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Hierdurch erscheint eine Kameraansicht des Inneren der Probenkammer. VORSICHT Gefahr der Beschädigung der Objektivlinse und/oder der Probe. Darauf achten, dass beim Verfahren des Probentisches dieser nicht an die Objektivlinse stößt. Zur Beobachtung des beweglichen Probentisches auf Kameramodus umschalten. Im Menü...
Seite 70 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Die Registerkarte Vacuum aufrufen. Zur Belüftung der Probenkammer auf die Schaltfläche Vent klicken. Es erscheint folgende Abfrage: ’Wollen Sie wirklich belüften?’ (Are you sure you want to vent?) Mit Yes bestätigen. Die Probenkammer wird mit gasförmigem Stickstoff gefüllt. VORSICHT Erstickungsgefahr durch Sauerstoffmangel, da die Probenkammer mit Stickstoff belüftet wird.
Seite 71 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Die Kammertür langsam öffnen. WICHTIG Verschmutzung durch Fingerabdrücke kann zu einer Verschlechterung des Vakuums oder längeren Pumpzeiten führen. Bei Berührung der Probe, des Probenhalters oder Probentisches stets fusselfreie Handschuhe tragen. Kammertür möglichst kurz geöffnet lassen. Alle Probenhalter sind mit einem Schwalben- schwanz ausgestattet, durch den die Lage des Probenhalters genau definiert ist.
Seite 72 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Kammertür vorsichtig schließen. 10 Auf die Schaltfläche Pump im Fenster SEM Control klicken. Die Vakuumstatusmeldungen zeigen das aktuell erreichte Vakuum an. ® TO=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 73: Probe Platzieren
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF 6.4.1.4 Probe platzieren Im Kameramodus (ChamberScope) in die Probenkammer schauen. VORSICHT Gefahr der Beschädigung der Objektivlinse und/oder der Probe. Achten Sie darauf, dass beim Verfahren des Probentisches dieser nicht an die Objektivlinse stößt. Zur Beobachtung des beweglichen Probentisches auf Kameramodus umschalten.
Seite 74: Elektronenkathode Einschalten
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF 6.4.1.5 Elektronenkathode einschalten In der Registerkarte Vacuum: Überprüfen Sie, dass EHT Vac ready=Yes angezeigt wird. In der Statusleiste auf die Schaltfläche Gun klicken. Im Popupmenü Gun On auswählen. Die Kathode wird hochgefahren. 6.4.1.6 EHT einschalten ’EHT’ steht für Beschleunigungsspannung. Diese Spannung muss an die Kathode angelegt werden, damit von ihr Elektronen emittiert werden.
Seite 75 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Vakuumstatusmeldungen auf der Registerkarte Vacuum im Fenster SEM Control beobachten. Bei Erreichen des erforderlichen Vakuums erscheint die Meldung 'Vac Status = Ready'. Die Registerkarte Gun aufrufen. Beschleunigungsspannung einstellen: Auf das Feld EHT= doppelklicken. Gewünschte Beschleunigungsspannung in das Feld EHT Target eintragen, z.B.
Seite 76: Bild Erzeugen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF EHT einschalten: In der Statusleiste auf die Schaltfläche EHT klicken. Im Popupmenü EHT On auswählen. Die EHT fährt auf 10 kV. Die Schaltflächen der Statusleiste werden miteinander verbunden und die Schaltfläche All: erscheint. Der Elektronenstrahl ist jetzt eingeschaltet. 6.4.1.7 Bild erzeugen Die Registerkarte Detectors aufrufen.
Seite 77 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Die Registerkarte Scanning aufrufen. Aus der Auswahlliste eine hohe Scangeschwindigkeit auswählen, z.B. Scan Speed = 1. Je niedriger die Scangeschwindigkeit ist, umso schneller wird die Probe durch den Elektronenstrahl abgerastert. Mit Scan Speed = 1 erhalten Sie schnell ein Bild. Geringe Vergrößerung einstellen, z.B.
Seite 78: Bild Optimieren
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Kontrast und Helligkeit einstellen. Die Registerkarte Detectors aufrufen. Die Einstellung erfolgt mit den Schiebereglern Brightness und Contrast. Auf der Probenoberfläche einen Ausschnitt auswählen. Ausschnitt fokussieren. Kontrast und Helligkeit erneut einstellen. 6.4.1.8 Bild optimieren In der Statusleiste durch Hin- und Herschalten zwischen Coarse/Fine Coarse einstellen.
Seite 79 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Auf das Symbol Reduced Raster klicken. Ein kleines Scanfenster wird angezeigt. Das Bild außerhalb des Scanfensters ist eingefroren. Durch Ziehen und Loslassen können Größe und Position des Scanfensters geändert werden. Das Bild im reduzierten Raster fokussieren. ® TV=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 80 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Blende ausrichten: In der Registerkarte Apertures das Kon- trollkästchen Focus Wobble aktivieren. Mit der Funktion Focus Wobble wird der Fokus der Objektivlinse rückwärts und vorwärts durch den Fokus auf der Probenebene bewegt. Bei geringer Falschausrichtung der Blende erkennt man eine seitliche Verschiebung.
Seite 81 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF In der Registerkarte Apertures: Auf die Schaltfläche Stigmation klicken. Im Feld Stigmation mit den Pfeilbuttons oder dem linken und rechten Schieberegler das Bild möglichst scharf einstellen. ® UN=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 82: Bild Speichern
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF 11 Reduziertes Raster deaktivieren. 12 Zur Verringerung des Bildrauschens eine langsamere Scangeschwindigkeit einstellen, z.B. eine Scangeschwindigkeit zwischen 6 und 8. 6.4.1.9 Bild speichern Scan anhalten: Die Registerkarte Scanning aufrufen. Im Abschnitt Noise Reduction im Dropdownmenü Freeze on = End Frame auswählen.
Seite 83 SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Im Menü File/Save Image auswählen. Pfad und Dateinamen eingeben. Mit der Schaltfläche Save..tif bestätigen. Sollen weiterhin Bilder aufgenommen werden, so können Sie das Bild auftauen, indem Sie im Menü Image/Unfreeze auswählen. ® UP=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 84: Arbeitssitzung Beenden
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF Alternativ können Sie auf die Schaltfläche Unfreeze in der Registerkarte Scanning klicken. 6.4.1.10 Arbeitssitzung beenden Zur Beendigung der Arbeitssitzung die Beschleunigungsspannung ausschalten: In der Statusleiste auf die Schaltfläche All: klicken. Im Popupmenü EHT Off auswählen. Es wird empfohlen, die Kathode während der Arbeitswoche eingeschaltet zu lassen.
Seite 85: Detektionsparameter Einstellen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF 6.4.2 Detektionsparameter einstellen 6.4.2.1 Detektor auswählen Die Registerkarte Detectors im Fenster SEM Control aufrufen. Den Detektor im Dropdownmenü Detectors auswählen. Die folgende Tabelle soll es Ihnen erleichtern, die erforderlichen Einstellungen für Ihre Anwendung zu finden. Beschleu- Typischer Detek- nigungs- Arbeits- Detektoreinstellungen...
Seite 86: Mit Dem Se2-Detektor Arbeiten
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pbjJ_ÉíêáÉÄ=E_~ëáëJtçêâëí~íáçåF 6.4.2.2 Mit dem SE2-Detektor arbeiten Den SE2-Detektor auswählen. Die Kollektorvorspannung (Spannung) auf der Registerkarte Detectors im Fenster SEM Control einstellen. EsB ® 6.4.2.3 Mit dem -Detektor arbeiten (optional) Den EsB ® -Detektor auswählen. Die EsB Grid Spannung auf der Registerkarte Detectors im Fenster SEM Control einstellen.
Seite 87: Elektronenstrahlabscheiden Oder Elektronenstrahlätzen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ bäÉâíêçåÉåëíê~Üä~ÄëÅÜÉáÇÉå=çÇÉê=bäÉâíêçåÉåëíê~Üä®íòÉå 6.5 Elektronenstrahlabscheiden oder Elektronenstrahlätzen Hierfür ist ein Gasinjektionssystem (GIS) erforderlich. Abscheiden und Ätzen mit dem Elektronenstrahl ist ein geeignetes Verfahren für Materialien, die sich nicht mit dem fokussierten Ionenstrahl bearbeiten lassen, wie z.B. Quarzmasken. Ein anderer Vorteil besteht darin, dass keine Oberflächen beeinträchtigt werden (d.h. keine Entstehung amorpher Schichten).
Seite 88: Abscheiden Oder Ätzen Mit Dem Elektronenstrahl
SK=_ÉÇáÉåìåÖ bäÉâíêçåÉåëíê~Üä~ÄëÅÜÉáÇÉå=çÇÉê=bäÉâíêçåÉåëíê~Üä®íòÉå Das Fenster Gas Injection System öffnet sich. Auf das Kontrollkästchen Reservoir des Prekursors klicken, mit dem gearbeitet werden soll. Das Kontrollkästchen Capillary wird automatisch aktiviert. Zur Sicherstellung stabiler Bedingungen sollte die Heizung die ganze Zeit eingeschaltet bleiben, da es eine gewisse Zeit dauern kann, bis die optimale Arbeitstemperatur erreicht ist. Die Temperatur sollte so eingestellt werden, dass beim Öffnen des betreffenden Reservoirventils das Kammervakuum ca.
Seite 89: Crossbeam -Betrieb (Nur Bei Fib-Nachrüstung)
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Das Fenster E-Beam Deposition and Etch öffnet sich. In den Bildbereich ist ein Abscheidungsobjekt eingeblendet. Die Größe des Abscheidungsobjekts auf die gewünschte Größe ändern. Den erforderlichen Prekursor auswählen. Gas Wait Time einstellen. Total Duration Time einstellen. Scan Rate einstellen.
Seite 90: Kippeuzentrizität Einstellen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Probenkammer evakuieren. SEM einschalten: Kathode einschalten. Beschleunigungsspannung einschalten. Sicherstellen, dass der Specimen Current Monitor (Probenstromüberwacher) ausgeschaltet ist: Im Menü Tools/Goto Panel auswählen. Auf Specimen Current Monitor doppelklicken. Kontrollkästchen SCM On deaktivieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Berührungsalarmfunktion aktiv ist.
Seite 91: Ionenstrahl (Fib) Einschalten
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Das Fenster FIB Daily Adjust öffnet sich. Das Kontrollkästchen Crosshairs aktivieren, um das Fadenkreuz einzublenden. Ein charakteristisches Merkmal in der Mitte des Bildschirms (d.h. in der Mitte des Fadenkreuzes) zentrieren. Auf Eucentric Axis klicken. Auf Start klicken. Den Anweisungen im Wizard folgen.
Seite 92 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® VORSICHT Überschlag-Gefahr. Gefahr der Beschädigung der Ionenquelle. Vor dem Einschalten des Ionenstrahls sicherstellen, dass der Druck im Säulenkopf der FIB (FIB gun pressure) höher ist als 5x10 mbar. Den aktuellen Status des Kammer- vakuums überprüfen. Der Ionenstrahl kann nur eingeschaltet werden, wenn das Kammervakuum 5 x 10 mbar oder höher ist.
Seite 93 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Die Registerkarte FIB im Fenster FIB Control öffnet sich. WICHTIG Den Wert FIB Extr. Target nicht ändern. Eine Änderung dieses Werts würde eine komplette Einstellung der FIB-Strahlströme erforderlich machen. Stellen Sie sicher, dass das Kontrollkästchen Regulate aktiviert ist. Dadurch wird ein stabiler Emissionsstrom gewährleistet.
Seite 94 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® WICHTIG Von Zeit zu Zeit muss die Ionenquelle durch das Heizen regeneriert werden. Wenn das Kontrollkästchen "FIB Auto Heating" (FIB, automatisches Heizen) deaktiviert ist, muss die Ionenquelle manuell geheizt werden. Dabei besteht die Gefahr, dass die Ionenquelle durch Überhitzung beschädigt wird.
Seite 95 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Zum Einschalten des Ionenstrahls auf On klicken. Die FIB-Säule wird hochgefahren. Das Säulentrennventil wird automatisch geöffnet. Unter der Schaltfläche Off wird der Emissionsstrom angezeigt. Der Emissionsstrom sollte ca. 2 µA betragen. Der Hintergrund der Schaltfläche kann verschiedene Farben annehmen.
Seite 96: Koinzidenzpunkt Einstellen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® 6.6.1.4 Koinzidenzpunkt einstellen Bevor mit der Bilderzeugung oder dem Millen begonnen werden kann, muss die Probe nach dem Koinzidenzpunkt ausgerichtet werden. Der Koinzidenzpunkt ist der Kreuzungspunkt des Elektronenstrahls und des Ionenstrahls. Nur wenn sich ein Merkmal der Probe im Koinzidenzpunkt befindet, kann es gleichzeitig im SEM- Abbildungsmodus und im FIB-Abbildungsmodus abgebildet werden.
Seite 97: Millen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® 6.6.2 Millen Beim Millen wird mit dem fokussierten Ionenstrahl Oberflächenmaterial örtlich begrenzt entfernt. Millen ist ein Millmodus, der die Abtragung bis zu einer vorgegebenen Tiefe ermöglicht. Der komplette Ablauf umfasst: Auf einen Blick • Millbedingungen auswählen •...
Seite 98 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Auf den Bildbereich klicken, in den das Millobjekt platziert werden soll. Die linke Maustaste gedrückt halten und ziehen. Auf dem Bildschirm wird das Millobjekt angezeigt. Die grüne Seite des Millobjekts ist die Seite, auf welcher der Vorgang beginnt. Die rote Seite ist die Seite, auf welcher der Vorgang endet.
Seite 99 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Die zu millende geometrische Neigung einstellen: Bei Slope (Degrees) 0 eingeben. Depth in µm einstellen. Hierdurch wird festgelegt, wie tief an den Lamellenkanten gemillt werden soll. Number of Layers einstellen. Hierdurch wird festgelegt, wie oft ein Millelement gemillt wird.
Seite 100: Millvorgang Beginnen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® 6.6.2.2 Millvorgang beginnen Auf Clear List klicken. Alle früheren Millobjekte werden von der Mill-Liste gelöscht. Auf Add klicken. Das aktuelle Millobjekt wird zusammen mit den ausgewählten Millbedingungen zur Mill-Liste hinzugefügt. Die zur Bearbeitung des Objekts erforderliche Zeit wird unter der Schaltfläche Add angezeigt.
Seite 101 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Um mit dem Millen zu beginnen, die Registerkarte Shape aufrufen und auf Mill klicken. Der Millvorgang beginnt. Die Fortschrittsmarkierung wird eingeblendet. Die Registerkarte Mill öffnet sich, wodurch Sie den Mill-Fortschritt direkt kontrollieren können. Der Millvorgang endet automatisch. ®...
Seite 102: Bilder Während Des Millens Aufzeichnen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® 6.6.3 Bilder während des Millens aufzeichnen Wenn der Abbildungsmodus Mill+SEM gewählt wird, können während des Millens jederzeit Bilder gespeichert werden. Die Bilder können jedoch durch den Ionenstrahl beeinträchtigt werden. Um etwaige Beeinträchtigungen zu vermeiden, kann das Millen unterbrochen werden, während ein Bild aufgenommen wird.
Seite 103: Platin-Reservoir Heizen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® • Platin-Prekursor heizen • Platin-Prekursor ausgasen • Abscheidungsbedingungen auswählen • Abscheidungsvorgang beginnen Voraussetzungen: • Workstation ist vorbereitet worden. • Der Probentisch ist auf 54° gekippt. 6.6.4.1 Platin-Reservoir heizen Den Prekursor heizen: Die Registerkarte GIS im Fenster FIB Control aufrufen.
Seite 104: Das Platin-Reservoir Ausgasen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Auf Stage Initialise klicken. Mit dem Ausgasen des Platin-Prekursors fortfahren. Weitere Schritte 6.6.4.2 Das Platin-Reservoir ausgasen Ausgasen ist erforderlich, um überschüssiges Gas aus dem Reservoir zu entfernen. Wird ein Kanal nicht täglich benutzt, kommt es zu einem Gasdruckanstieg im Reservoir. Ausgasen ist deshalb erforderlich, um zu vermeiden, dass der FIB-Vakuumpegel übermäßig ansteigt und abrupt abnimmt, wenn das Reservoirventil geöffnet wird.
Seite 105 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Das Fenster Gas Injection System öffnet sich. Sicherstellen, dass die Kontrollkästchen Temperature Control für Reservoir und Capillary von Platinum aktiviert sind. In der Zeile Platinum auf Outgas klicken. ® NMR=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 106 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Das Fenster Outgassing öffnet sich. Im Feld SEM Column Valve: Auf Close klicken. Das Säulentrennventil im SEM wird geschlossen. Das Säulentrennventil an der FIB wird gleichzeitig geschlossen. Auf das Feld Open Time klicken und 2 Sekunden eingeben. Auf das Feld Close Time klicken und einen Wert von ca.
Seite 107: Abscheidungsbedingungen Auswählen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® 12 Das Kammervakuum durch Beobachtung des Wertes System Vacuum im Fenster Outgassing überwachen. Hat das Vakuum nach der 5. Schleife noch nicht den zur Abscheidung erforderlichen Druck von mindestens 2 x 10 mbar erreicht, das Verfahren wiederholen. In diesem Fall sollten Sie die Anzahl der Schleifen bei zukünftigen Ausgasungsvorgängen erhöhen.
Seite 108 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® VORSICHT Überschlag-Gefahr. Gefahr der Beschädigung der Ionenquelle. Vor dem Einschalten des Ionenstrahls sicherstellen, dass der Druck im Säulenkopf der FIB höher ist als 5 x 10 mbar. Den Ionenstrahl einschalten: Die Registerkarte FIB im Fenster FIB Control aufrufen. Auf On klicken.
Seite 109: Abscheidungsvorgang Beginnen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Die erforderlichen Parameter eingeben: Milling Mode: Deposition Mode Width: 10 µm Height: 2 µm Time: 300 Sek. FrequencyX: 20.000 FrequencyY: 1 Milling Current: 30 kV; 200 pA Gas ID: Platinum Gas Wait Time (s): 5 Sek. 6.6.4.4 Abscheidungsvorgang beginnen Auf Clear List klicken.
Seite 110 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Die Registerkarte Options aufrufen. Auf das Kontrollkästchen When milling switch to Mill+SEM mode... klicken. Kontrollkästchen GIS Auto Park aktivieren. Um mit dem Abscheiden zu beginnen, die Registerkarte Shape aufrufen und auf Mill klicken. Der GIS-Mikrotisch wird automatisch in die vordefinierte Position gefahren, die Platinum zugewiesen worden ist.
Seite 111 SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® Die Registerkarte Mill öffnet sich, wodurch Sie den Abscheidungsvorgang direkt kontrollieren können. Der Abscheidungsvorgang endet automatisch. Der GIS-Mikrotisch wird automatisch in die sichere Parkposition gefahren. ® NNN=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 112: Detektionsparameter Einstellen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ `êçëë_É~ã J_ÉíêáÉÄ=Eåìê=ÄÉá=cf_Jk~ÅÜêΩëíìåÖF ® 6.6.5 Detektionsparameter einstellen 6.6.5.1 Mit dem SESI-Detektor arbeiten (optional) Der SESI-Detektor ermöglicht die Erfassung von FIB-Sekundärionenbildern und Elektronenbildern. Die folgende Tabelle soll es Ihnen erleichtern, die erforderlichen Einstellungen für Ihre Anwendung zu finden. FIB-Abbil- Beschleu- Typischer Betriebs- Detektierte dungs-...
Seite 113: Hilfefunktionen Aufrufen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ eáäÑÉÑìåâíáçåÉå=~ìÑêìÑÉå Die Registerkarte Detectors im Fenster SEM Control aufrufen. Aus dem Dropdownmenü SESI auswählen. Der SESI-Detektor wird im SE-Modus betrieben. Zum Umschalten zwischen SE-Modus und Ionenmodus das Kontrollkästchen ION Mode aktivieren/deaktivieren. Die Kollektorspannung einstellen. Fenster SESI Control Oder: Die Konfigurationsleiste aufrufen. Auf SESI Control doppelklicken.
Seite 114: Smartsem ® -Hilfe Aufrufen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ eáäÑÉÑìåâíáçåÉå=~ìÑêìÑÉå ® 6.7.1 SmartSEM -Hilfe aufrufen <F1> drücken. Oder im Menü Help/SmartSEM Help auswählen. Das SmartSEM ® -Hilfe-Startfenster öffnet sich. Wenn Menüs in der SmartSEM ® -Benutzeroberfläche geöffnet sind, wird mit <F1> der Hilfetext für das jeweilige Menü aufgerufen. Hiermit können während des Betriebs der Workstation Erklärungen des Menüs eingeblendet werden.
Seite 115: Kontextsensitive Hilfe Aufrufen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ eáäÑÉÑìåâíáçåÉå=~ìÑêìÑÉå 6.7.2 Kontextsensitive Hilfe aufrufen <UMSCHALTTASTE+F1> drücken. Oder im Menü Help/What’s This auswählen. Der Mauszeiger erscheint mit einem Fragezeichen. Cursor in den gewünschten Bereich auf dem Bildschirm bewegen. Linke Maustaste drücken. Der Hilfetext wird angezeigt. Zur Deaktivierung der kontextsensitiven Hilfe <ESC>...
Seite 116: Schritt-Für-Schritt Anleitungen Aufrufen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ eáäÑÉÑìåâíáçåÉå=~ìÑêìÑÉå 6.7.4 Schritt-für-Schritt Anleitungen aufrufen Die Schritt-für-Schritt Anleitungen enthalten Schnellinfos zu wichtigen Bedienschritten. 6.7.4.1 Einstieg Im Menü Help/Getting started auswählen. Auf das gewünschte Thema klicken. 6.7.4.2 Häufig verwendete Bedienschritte Im Menü Help/How To auswählen. Auf das gewünschte Thema klicken. ®...
Seite 117: Übersicht Der Tastenkombinationen
SK=_ÉÇáÉåìåÖ eáäÑÉÑìåâíáçåÉå=~ìÑêìÑÉå 6.7.5 Übersicht der Tastenkombinationen Viele der in der SmartSEM ® -Benutzeroberfläche häufig verwendeten Funktionen und Menüs können auch über die Tastatur aufgerufen werden. Eine Übersicht der Tastenkombinationen kann in der SmartSEM ® -Hilfe angezeigt werden. <F9> drücken. Oder im Menü Help/Keys Help auswählen. ®...
Seite 118: Über Smartsem
SK=_ÉÇáÉåìåÖ pã~êípbj J_ÉåìíòÉêçÄÉêÑä®ÅÜÉ=ëÅÜäáÉ≈Éå ® SmartSEM ® 6.7.6.2 Über Im Menü Help/About SmartSEM auswählen. ® 6.8 SmartSEM Benutzeroberfläche schließen 6.8.1 Abmelden Im Menü File/Log Off auswählen. Es erscheint ein Fenster mit der Abfrage, ob die Arbeit beendet werden soll. Mit der Schaltfläche Yes bestätigen. Die elektronenoptischen Parameter werden in einem Makro im Einzelbenutzerverzeichnis abgelegt.
Seite 119: Beenden
SK=_ÉÇáÉåìåÖ tçêâëí~íáçå=çêÇåìåÖëÖÉã®≈=~ìëëÅÜ~äíÉå 6.8.2 Beenden Im Menü File/Exit auswählen. Es erscheint ein Fenster mit der Abfrage, ob die Arbeit beendet werden soll. Mit der Schaltfläche Yes bestätigen. Die elektronenoptischen Parameter werden in einem Makro im Einzelbenutzerverzeichnis abgelegt. 6.9 Workstation ordnungsgemäß ausschalten 6.9.1 In den STANDBY-Modus umschalten Wird mit der Workstation auch über längere Zeiträume nicht gearbeitet, so muss in den STANDBY-Modus umgeschaltet werden.
Seite 120: In Den Off-Modus Umschalten
SK=_ÉÇáÉåìåÖ tçêâëí~íáçå=çêÇåìåÖëÖÉã®≈=~ìëëÅÜ~äíÉå SmartSEM ® schließen: Im Menü File/Exit auswählen. Es erscheint ein Fenster der SmartSEM ® - Benutzeroberfläche mit der Abfrage, ob die Arbeit beendet werden soll. Mit der Schaltfläche Yes bestätigen. Die elektronenoptischen Parameter werden in einem Makro im Einzelbenutzerverzeichnis abgelegt.
Seite 121: Not-Aus
SK=_ÉÇáÉåìåÖ klqJ^rp Roten OFF-Taster drücken. Der rote OFF-Taster leuchtet. Computer, Elektronikbauteile und Vakuumsystem werden ausgeschaltet. Die elektronenoptische Säule wird teilbelüftet. Zum Neustart der Workstation ist noch eine Hilfsspannung von 24 V vorhanden. 6.10 NOT-AUS Das NOT-AUS-Verfahren hängt von der Art der Installation ab (mit oder ohne der optionalen NOT-AUS-Box).
Seite 122 SK=_ÉÇáÉåìåÖ klqJ^rp NOT-AUS-Taster durch Ziehen wieder freigeben. Wenn mehrere NOT-AUS-Taster eingebaut sind, sicherstellen, dass alle NOT-AUS- Taster freigegeben worden sind. Den an der NOT-AUS-Box angeordneten Hauptschalter (1) in die Stellung RESET drehen. Den Hauptschalter (1) in die Stellung ON drehen. Den vorn an der NOT-AUS-Box angeordneten START-Taster (2) drücken.
Seite 123: Ohne Not-Aus-Box
SK=_ÉÇáÉåìåÖ klqJ^rp 12 Probentisch initialisieren. 6.10.2 Ohne NOT-AUS-Box 6.10.2.1 Ausschalten beim Auftreten eines Notfalls Den an der Rückseite des Untergestells angeordneten ON/OFF-Schalter in die Stellung OFF drehen. 6.10.2.2 Wiedereinschalten nach NOT-AUS WICHTIG Vor dem Einschalten der Workstation sicherstellen, dass der Grund für das NOT-AUS nicht mehr besteht und die Workstation gefahrlos eingeschaltet werden kann.
Seite 124: Workstation Komplett Ausschalten
SK=_ÉÇáÉåìåÖ tçêâëí~íáçå=âçãéäÉíí=~ìëëÅÜ~äíÉå (außer wenn es bereits geöffnet ist). Hauptabsperrventil für gasförmigen Stickstoff öffnen (außer wenn es bereits geöffnet ist). Gelben STANDBY-Taster an der Vorderseite des Untergestells drücken. Grünen ON-Taster an der Vorderseite des Untergestells drücken. SmartSEM ® -Software starten. Probentisch initialisieren. 6.11 Workstation komplett ausschalten Hierdurch wird die Workstation komplett von der elektrischen Netzversorgung getrennt.
Seite 125 SK=_ÉÇáÉåìåÖ tçêâëí~íáçå=âçãéäÉíí=~ìëëÅÜ~äíÉå Im Menü File/Exit auswählen. Es erscheint ein Fenster der SmartSEM ® - Benutzeroberfläche mit der Abfrage, ob die Arbeit beendet werden soll. Mit der Schaltfläche Yes bestätigen. Die elektronenoptischen Parameter werden in einem Makro im Einzelbenutzerverzeichnis abgelegt. PC herunterfahren. Roten OFF-Taster drücken.
Seite 126 SK=_ÉÇáÉåìåÖ tçêâëí~íáçå=âçãéäÉíí=~ìëëÅÜ~äíÉå ® NOS=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 127: Wartung Und Reparatur
Die Wartungsintervalle sind von der Einsatzdauer des Gerätes abhängig: • 24/7: jähliche Wartung • 8/5: halbjährliche Wartung WICHTIG Wartungsarbeiten einplanen und den ZEISS Servicevertreter frühzeitig anfordern. Eine Liste der ZEISS-Standorte und autorisierten Servicepartner ist unter folgender Adresse zu finden: http://www.zeiss.com/microscopy ® NOT=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 128: Wechsel Von Verbrauchsmaterialien Und Chemikalien
TK=t~êíìåÖ=ìåÇ=oÉé~ê~íìê tÉÅÜëÉä=îçå=sÉêÄê~ìÅÜëã~íÉêá~äáÉå=ìåÇ=`ÜÉãáâ~äáÉå 7.3 Wechsel von Verbrauchsmaterialien und Chemikalien Beim Wechseln von Verbrauchsmaterialien und Chemikalien handelt es sich um eine planmäßige Betriebsunterbrechung zum Auffüllen von Verbrauchsmaterialien und Chemikalien. Die eingeplanten Zeiten wurden so festgelegt, dass die maximale Leistungsfähigkeit des Geräts erzielt werden kann (d.h. bei Dauerbetrieb rund um die Uhr). Intervall Bauteil/Teil Basis-Workstation...
Seite 129: Störungsbeseitigung
Carl Zeiss-Serviceingenieur. GEFAHR Lebensgefahr: Gefährliche Spannung im Inneren der Workstation. Servicearbeiten an der Workstation sowie Arbeiten an der Elektrik der Workstation dürfen nur von Serviceingenieuren durchgeführt werden, die von der Firma Carl Zeiss ausgebildet und autorisiert wurden. Stichwort Symptom Möglicher Grund...
Seite 130 Bildqualität wird schlechter, Kathode wurde durch Die Kathode vom zuständigen jedoch keine Änderung im Überschlag beschädigt. Serviceingenieur der Firma Carl Gesamtemissionsstrom. Zeiss auswechseln lassen. Bildqualität Bildrauschen. Kathode ist verbraucht. Die Kathode vom zuständigen Durch Rauschunterdrückung Serviceingenieur der Firma Carl wird das Problem nicht behoben.
Seite 131: Kammer
Vorgehensweise Im Menü Stage/Stage initialise auswählen. Mit Yes bestätigen. WICHTIG Wird das Problem durch Initialisierung des Probentisches nicht gelöst, so wenden Sie sich an Ihren Carl Zeiss-Serviceingenieur. 8.2.2 Kammertürdichtung ersetzen Mögliche Gründe • Kammertür schließt nicht dicht, schlechtes Kammervakuum VORSICHT Erstickungsgefahr durch Sauerstoffmangel, da die Probenkammer mit Stickstoff belüftet...
Seite 132 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ h~ããÉê O-Ring der Kammertür (1) abnehmen. O-Ring der Kammertür einsetzen. Kammertür schließen. Probenkammer evakuieren. NPO=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 133: Säule
UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ p®ìäÉ 8.3. Säule 8.3.1. Kathodenkopf ausheizen Die Pumpleistung der Ionengetterpumpe nimmt im Laufe der Zeit ab, wodurch sich das Vakuum im Kathodenkopf verschlechtert. Dies kann durch Ausheizen der Ionengetterpumpe als regelmäßige Wartungstätigkeit behoben werden. Voraussetzung • Der Ausheizvorgang darf nur von erfahrenen Bedienern durchgeführt werden. •...
Seite 134 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ p®ìäÉ Den Hochspannungsstecker herausziehen: Hochspannungsleitung und Hochspannungsstecker festhalten. Nach oben ziehen. VORSICHT Verschmutzungsgefahr Darauf achten, dass der Kathodenkopfbereich und Hochspannungsstecker gut abgedeckt sind. Kathodenkopfbereich mit Aluminiumfolie abdecken. Zur Vermeidung von Verschmutzung den Hochspannungsstecker mit Aluminiumfolie oder einem Antistatikbeutel umwickeln. ®...
Seite 135 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ p®ìäÉ VORSICHT Verletzungsgefahr durch heiße Oberflächen beim Ausheizvorgang Während des Ausheizvorgangs erhitzen sich Teile der Verkleidung im oberen Bereich der Säule, insbesondere nach einem langen Ausheizzyklus. Keine Teile der Verkleidung berühren und keine brennbaren Gegenstände auf das Gitter der elektronenoptischen Säule legen. WICHTIG Bei laufendem Ausheizvorgang kann in den STANDBY-Modus geschaltet werden.
Seite 136: Ionenquelle (Workstation Mit Fib)
öffnet sich. Die Betriebsdauer der Ionenquelle wird in µAh angegeben. WICHTIG Wenn sich die Betriebsdauer der Ionenquelle 1500 µAh nähert, sollten Sie den Carl Zeiss- Service benachrichtigen, um die Ionenquelle austauschen zu lassen. 8.3.2.2 Ionenquelle regenerieren Der Heizvorgang wird empfohlen, •...
Seite 137 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ p®ìäÉ Vorgehensweise: In der Registerkarte FIB im Fenster FIB Control FIB Gun Pressure aktivieren. FIB Gun Presssure muss weniger als 5 x 10 mbar betragen. VORSICHT Überschlag-Gefahr. Gefahr der Beschädigung der Ionenquelle. Vor dem Einschalten des Ionenstrahls sicherstellen, dass der Druck im Säulenkopf der FIB niedriger ist als 5 x 10 mbar.
Seite 138 • fahren Sie mit der Initialisierung der FIB Blende fort (Siehe “Ionenstrahl (FIB) einschalten” auf Seite 91, Schritt 7) Die Ionenquelle emittiert nicht: • Setzen Sie sich mit den lokalen Service von Carl Zeiss in Verbindung. NPU=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 139: Stromversorgung
UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ píêçãîÉêëçêÖìåÖ 8.4. Stromversorgung 8.4.1 Sicherungen ersetzen GEFAHR Lebensgefahr: Gefährliche Spannung im Inneren der Workstation. Die Überprüfung und das Wechseln von Sicherungen dürfen nur von einer Elektrofach- kraft unter Beachtung der nationalen Sicherheitsbestimmungen durchgeführt werden. Vor dem Öffnen der Verkleidung die Workstation ausschalten und gegen Wiedereinschalten sichern.
Seite 140 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ píêçãîÉêëçêÖìåÖ Verkleidung abnehmen. Sicherungen überprüfen. Gegebenenfalls austauschen. Wert Schaltkreis Wert Schaltkreis Wassermagnetventil Spannungsversorgung IGP Res 1 (Ersatz) Ausheizen Heizgerät 1 Res 2 (Ersatz) Ausheizen Heizgerät 2 Hauptstromversorgung: Vakuumversorgungsspannung Ersatz Stromversorgung für Turbopumpe VP-Mikroskop: RBV und Eckventil Beschleunigungsspannung T0.2A Haupteingangsspannung 230/24 V T10A Rotationspumpe und Sicherung...
Seite 141 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ píêçãîÉêëçêÖìåÖ Netzkabel anschließen. ON/OFF-Schalter in die Stellung ON drehen. 10 Workstation neu starten. NQN=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 142 UK=pí∏êìåÖëÄÉëÉáíáÖìåÖ píêçãîÉêëçêÖìåÖ NQO=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 143: Außerbetriebnahme Und Entsorgung
Wird die Workstation längere Zeit, z.B. mehrere Monate, nicht benutzt, sollte sie außer Betrieb gesetzt werden. Lassen Sie die Außerbetriebsetzung der Workstation vom zuständigen Serviceingenieur der Firma Carl Zeiss durchführen. Der Serviceingenieur sorgt dafür, dass das Kühlwasser vollständig aus dem Inneren des FEREMs entfernt wird.
Seite 144 VK=^ì≈ÉêÄÉíêáÉÄå~ÜãÉ=ìåÇ=båíëçêÖìåÖ båíëçêÖìåÖ ® NQQ=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS...
Seite 145: Teile Und Werkzeuge
NMK=qÉáäÉ=ìåÇ=tÉêâòÉìÖÉ táÅÜíáÖÉ=sÉêÄê~ìÅÜëã~íÉêá~äáÉå 10. Teile und Werkzeuge VORSICHT Gefahr von Verletzungen oder Sachschäden Nur Carl Zeiss-Originalteile verwenden. Bestellen Sie Teile und Werkzeuge bei der zuständigen Carl Zeiss-Servicefirma. 10.1 Wichtige Verbrauchsmaterialien Position Teile-Nr. Schottky Feldemitter Von DENKA 0302-460 Von FEI 0302-102 Dünnschichtblende (Standardmehrlochblende) 348520-0586-000 Anodenblende, 40 µm...
Seite 146: Werkzeuge Und Zubehör
NMK=qÉáäÉ=ìåÇ=tÉêâòÉìÖÉ tÉêâòÉìÖÉ=ìåÇ=wìÄÉÜ∏ê 10.3 Werkzeuge und Zubehör Position Teile-Nr. Innensechskantschlüssel, 3 mm 0015-247 Innensechskantschlüssel, 1,5 mm 151-883 Kleine Zange Probenhalter Siehe Probenhalterkatalog. Probenteller Pinzette TEM Öl 300 0484-955 Isopropanol Tuch, fusselfrei Handschuhe, fusselfrei Aluminiumfolie oder Antistatikbeutel NQS=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 147: Abkürzungen
NNK=^ÄâΩêòìåÖÉå 11 Abkürzungen Wechselstrom (Alternating current) Abschaltvermögen (Ampere interrupting capacity) Winkelselektiv zurückgestreut (Angle selective backscattered) ® Breite Ladungskompensator (Charge Compensator) Charge coupled device Europäische Gemeinschaft Beschleunigungsspannung (Extra high tension) EIGA European Industrial Gases Association NOT-AUS (Emergency off) Elektromagnetische Verträglichkeit Energieselektiv zurückgestreut (Energy selective backscattered) ®...
Seite 148 NNK=^ÄâΩêòìåÖÉå Y-Achse Z-Achse NQU=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 149 NOK=däçëë~ê 12. Glossar Astigmatismus Linsenfehler, durch den die Form des Elektronenstrahls verzerrt wird und der vom Stigmator kompensiert wird. Aufladung Durch den Elektronenstrahl verursachter Aufbau einer elektrischen Ladung innerhalb einer nichtleitenden Probe. Wirkungen: schlechte Bilderzeugung, physische Bewegung der Probe. Ausheizen Entgasen von Oberflächen eines Vakuumsystems durch Erhitzen beim Abpumpen.
Seite 150 NOK=däçëë~ê Strahlverstärker Durch mechanische und elektrische Verbindung der Anode und des ® Putzrohrs der GEMINI -Säule entsteht der Strahlverstärker. An den Strahlverstärker wird eine Boosterspannung (U ) von +8 kV ange- legt, wodurch eine hohe Strahlenergie über die gesamte Säule auf- rechterhalten wird.
Seite 151: Konformitätserklärung
13. Konformitätserklärung ® Bezeichnung: CrossBeam -Workstation ® Modell: AURIGA Carl Zeiss Microscopy GmbH Carl-Zeiss-Str. 56 Hersteller 73447 Oberkochen Deutschland Hiermit wird erklärt: Die oben erwähnte Maschine erfüllt die einschlägigen Bestimmungen der • Richtlinie 2006/42/EG. Ferner erfüllt die Maschine folgende Richtlinien und Normen: •...
Seite 152 NPK=hçåÑçêãáí®íëÉêâä®êìåÖ NRO=îçå=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 153 NQK=fåÇÉñ 14 Index Abbildungsmodi 40 EIN/AUS-Schalter 20 Abkürzungen 147 Einstieg 89 Abscheiden 87 Elektronenstrahlabscheiden 87 Abscheidung 102 Elektronenstrahlätzen 87 Aluminiumfolie 134 Entsorgung 143 Anode 37 Erklärung 151 Arbeitsabstand 42 Ersatzteile 145 Ätzen 87 EsB®-Detektor 41 Aufkleber 22 Evakuieren 36 Aufladung 130 Auflösung 46 Ausheizen 130 Feines Rechteck 97...
Seite 154 NQK=fåÇÉñ Kammertürverriegelung 19 Kammervakuum 35 Röntgenstrahlung 15 Kathode 35 Kathodenkopfverriegelung 20 Koinzidenzpunkt 96 Schottky Feldemitter 37 Kollektorspannung (Vorspannung) 43 SE2-Detektor 41 Kondensor 40 SEM-Abbildungsmodus 40 Konformität 151 Service 15 Konventionen, Darstellung 11 SESI-Detektor 41 Kundenservice 53 Sicherheit 10 Sicherheitsaufkleber 22 Sicherheitshinweise 10 Ladungskompensator 149 Sicherheitsvorrichtungen 19...
Seite 155 NQK=fåÇÉñ Vakuumsystem 34 Vakuumverriegelung 20 Verbrauchsmaterialien 145 Vergrößerung 96 Verkleidungen 19 Verriegelungen 19 Vorvakuumpumpe 35 Wasser 87 WD 42 WEEE 143 Werkzeuge 146 Wobble 80 Wolfram 87 =NRR=çÑ=NRS _ÉíêáÉÄë~åäÉáíìåÖ=^rofd^ =ÇÉMS ®...
Seite 156 Carl Zeiss Microscopy, LLC One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 microscopy@zeiss.com Plus a worldwide network of distributors www.zeiss.com/microscopy Due to a policy of continuous development, we reserve the right to change specifications without notice. © Carl Zeiss Microscopy GmbH, Oberkochen...

Diese Anleitung auch für:

Auriga crossbeam