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Inhaltsverzeichnis - Spectron Spectrotec BT2000-2L Betriebsanleitung

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1 Einführung ...................................................................................................................................................
2 Beschreibung ..............................................................................................................................................
2.1 Bestimmungsgemäße Verwendung ......................................................................................................
2.2 Fehlanwendung.....................................................................................................................................
2.3 Kennzeichnung / Typenschild ...............................................................................................................
2.4 Umgebung.............................................................................................................................................
2.4.1 Temperaturen ............................................................................................................................
2.4.2 Grad an Sauberkeit....................................................................................................................
2.4.3 Emissionen ................................................................................................................................
2.5 Normen und Gesetze ............................................................................................................................
3 Sicherheit .....................................................................................................................................................
3.1 Grundlegendes zur den Sicherheitshinweisen......................................................................................
3.2 Sicherheitshinweise ..............................................................................................................................
3.3 Notfall und Sicherheitseinrichtungen..................................................................................................... 11
3.4 Qualifikation des Bedien- und Wartungspersonals ............................................................................... 12
4 Aufbau und Funktion .................................................................................................................................. 13
4.1 Aufbau................................................................................................................................................... 13
4.2 Funktionsbeschreibung ......................................................................................................................... 14
4.3 Technische Daten ................................................................................................................................. 15
4.4 Grenzen und Schnittstellen ................................................................................................................... 15
5 Montage........................................................................................................................................................ 16
5.1 Allgemeine Informationen ..................................................................................................................... 16
5.2 Installationsarbeiten .............................................................................................................................. 16
5.2.1 Montage ..................................................................................................................................... 16
5.2.2 Anschließen der zu- und abführenden Leitungen ...................................................................... 16
5.3 Prüfung der Anlage ............................................................................................................................... 16
5.3.1 Drucktest mit Spülgas ................................................................................................................ 16
6 Inbetriebnahme............................................................................................................................................ 18
6.1 Vorbereitung der Inbetriebnahme ......................................................................................................... 18
6.2 Ablauf der Inbetriebnahme.................................................................................................................... 18
6.2.1 Anschließen der Prozessgasquelle............................................................................................ 18
6.2.2 Einspülen des Prozessgases bis zum Verbraucher................................................................... 18
7 Betrieb .......................................................................................................................................................... 20
7.1 Allgemeines zum Betrieb ...................................................................................................................... 20
7.2 Unterbrechung der Gasversorgung....................................................................................................... 20
7.2.1 Unterbrechungen des Betriebes für unter 48 Stunden .............................................................. 20
7.2.2 Unterbrechungen des Betriebes für mehr als 48 Stunden......................................................... 20
7.2.3 Versetzen der Station in den sicheren Zustand ......................................................................... 20
7.3 Wechsel der Prozessgasquelle............................................................................................................. 20
8 Wartung, Reinigung und Reparatur........................................................................................................... 23
8.1 Allgemeines zur Wartung ...................................................................................................................... 23
8.2 Regelmäßige Wartungsarbeiten und Reinigung ................................................................................... 24
9 Instandsetzung ............................................................................................................................................ 26
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Spectron Gas Control Systems GmbH
GDS_BT2000-2L_0222
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