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Instandhaltung; Qma; Katodenwechsel - Pfeifer Vacuum D-35614 Betriebsanleitung

Qms 200
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5 Instandhaltung

5.1 QMA

5.1.1 Katodenwechsel

BG 805 201 BD
(9911)
BG 805 201 BD.bet
Fachpersonal
Die Katoden werden als vormontierte Einheit geliefert. Sie sollen nur von
Fachpersonal gewechselt werden.
Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME.
Demontieren Sie die QME vom Analysator indem Sie in umgekehrter
Reihenfolge, wie in Kapitel 3.2.4 beschrieben, vorgehen.
Demontieren Sie den Analysator vom Rezipienten.
Setzen Sie den Analysator in die mitgelieferte Montagehilfe.
Halten Sie die U-Profile mit einer Flachzange und lösen Sie die 3 Schrau-
ben, so dass die U-Profile gerade noch von den Schrauben gehalten
werden.
Entfernen Sie die 3 Muttern.
Ziehen Sie die Katodeneinheit vorsichtig nach oben ab.
Entsorgen Sie die alte Katodeneinheit.
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