Inhaltszusammenfassung für Pfeifer Vacuum D-35614
- Seite 1 Betriebsanleitung inkl. Konformitätserklärung QMS 200 Quadrupol-Massenspektrometer Prisma™ Installation Betrieb Wartung geprüfte Sicherheit Technische Daten BG 805 201 BD (9911)
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Seite 2: Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich. Produktidentifikation Übertragen Sie deshalb diese Angaben für alle Teile ihres Systems auf die Ebenbilder (→ Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikelnummer BK M25 250 QMA 200 Faraday/Iridium BK M25 251-1 QMA 200 Faraday/Wolfram BK M25 252... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemässer Gebrauch Kurse 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 2 Technische Daten 2.1 Systemübersicht 2.2 Normerfüllung 2.3 Umgebungsbedingungen 2.4 QMS 200 F 2.5 QMS 200 M 2.6 QME 200 2.7 SP 200 2.8 Steckerbelegung 3 Einbau... -
Seite 4: Sicherheit
1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Hinweis Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. GEFAHR Vorsicht: Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebens- gefährlich sein. -
Seite 5: Personalqualifikation
1.2 Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend geschult wurden. 1.3 Grundlegende • Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die ein- schlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein. -
Seite 6: Technische Daten
Hinweis Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich. Übertragen Sie daher diese Angaben für alle Teile Ihrer Konfiguration auf die Ebenbilder. QME 200 Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Typ: QME 200 No: BG D28 F-No: 24 V / 2 A QME 200 mit 90°-Anschluss... - Seite 7 SP 200 Netzkabel Software Balzers Quadstar™ Balzers Limited FL-9496 Balzers QUADSTAR 422 Version: 6.xx BN 882 236 -T Copyright (C) Zubehör → BG 805 201 BD (9911) BG 805 201 BD.bet...
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Seite 8: Normerfüllung
2.2 Normerfüllung Sicherheit QME/QMA EN 61010-1:1993 IEC1010-1:1990 +A1:1992 Schutzklasse I SP 200 DIN EN 60950 IEC 950, UL 1950 CSA 22.2 Nr.234 Immunität EN 50082-2 Emission EN 50081-1 2.3 Umgebungs- Verwendung in Innenräumen bedingungen Höhe max. 2000 m NN Schutzart IP 30 Verschmutzungsgrad Temperaturen... -
Seite 9: Qms 200 M
2.5 QMS 200 M QMS 200 M1 QMS 200 M2 QMS 200 M3 Massenbereich 1 ... 100 1 ... 200 1 ... 300 Detektortyp Channeltron / Faraday Nachweisgrenze mbar <10 / <5×10 <10 / <10 <2×1 / <2×10 Einheitsauflösung (Tal, <10 ganzer Massenbereich) bei 10 %... -
Seite 10: Sp 200
2.7 SP 200 Spannung 90 ... 260 V~ Frequenz 47 ... 63 Hz Stromaufnahme / Leistung 1.5 A @ 115 V / 60 W 0.8 A @ 230 V / 60 W Ausgangsspannung 24 V=, stabilisiert Isolation 10 MOhm min., Ausgang zu Erde Überspannungskategorie II (nach EN 61010) Gewicht... - Seite 11 VACUUM Assignment JIS F07 (TOSLINK) tune ready Transmit RS-232-C control Receive RS-232-C Assignment Assignment D-Sub. 9-pin male Received Data (RXD) optional signal Request To Send (RTS) Transmitted Data (TXD) optional signal Clear To Send (CTS) optional signal Data Terminal Ready (DTR) Signal Ground (SGND) Case...
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Seite 12: Einbau
3 Einbau 3.1 Auspacken Hinweis Transportsicherungen aufbewahren und vor jedem Transport wieder anbringen. 3.2 Montage GEFAHR Am Elektrodensystem des QMA 200 liegen bei Betrieb gefährliche Spannungen bis 330 V=. Andere Einbauteile im Vakuumraum (z.B. Messröhren) können bei ungünstigen Verhältnissen evtl. damit beaufschlagt werden. Falls solche Teile dadurch be- rührungsgefährlich würden (berücksichtigen Sie auch Leitungen und ange- schlossene Geräte!) müssen sie so angeordnet oder geschützt werden, dass kein Kontakt, kein Überschlag und kein Ladungsträgerfluss zustande kommen... -
Seite 13: Platzbedarf
3.2.1 Platzbedarf Hinweis Einbautiefe beachten. Kabel nicht abknicken. Hinweis Das QMA 200 F darf nur in Flansche bzw. Rohre mit Innendurchmesser ≥37 mm eingebaut werden, da sonst Kurzschlüsse zur Wand auftreten können. Der Durchmesser des Verlängerungsrohres beim QMA 200 M muss mindestens 40.5 mm entsprechen. -
Seite 14: Benötigte Werkzeuge
Prisma mit 90°-Anschluss 54.6 27 Channeltron + Faraday DN 40 CF-F KA 139 127.5 SP 200 3.2.2 Benötigte Werkzeuge 4 mm Innensechskantschlüssel 10 mm Gabelschlüssel (2 Stück) Schraubendreher (Schaufelbreite 3 .. 4 mm) BG 805 201 BD (9911) BG 805 201 BD.bet... -
Seite 15: Qma Montieren
3.2.3 QMA montieren GEFAHR Der Analysatorflansch muss vorschriftsmässig geerdet sein. • Mit allen 6 Schrauben elektrisch leitend mit der geerdeten Vakuumapparatur verschrauben • Bei nicht geerdeter Vakuumapparatur den Analysatorflansch (Erdanschluss- Schraube M4) mittels einer separaten Erdleitung mit der Schutzerde ver- binden. -
Seite 16: Qme Montieren
3.2.4 QME montieren GEFAHR Das QME darf nur an einem korrekt installierten QMA angebracht werden, da die Erdung ausschliesslich über den Flansch des QMA erfolgt. Die 24 V-Zuleitung vom SP 200 darf niemals angeschlossen sein, wenn die Ver- bindung QMA zu QME nicht fest verschraubt ist. Führungsnut Erdzunge Lösen Sie die beiden Schrauben am schwarzen Kunststoffteil des QME mit... -
Seite 17: Anschluss
Dieser Anschluss ermöglicht Vakuummessungen mittels einer TPR- oder PKR- 3.3.1.1 -Anschluss Kompaktmessröhre und den Schutz von Filament FIL und Channeltron SEM gegen ungenügende Vakuumbedingungen. Totaldruckmessung und • Pirani Compact Gauge Schutzfunktionen VACUUM 5×10 ... 1000 mbar oder tune ready • FullRange™... -
Seite 18: Digital-Input
Digital-Input Wenn die SEM+FIL-Steuerung nicht benutzt wird, kann der Eingang als Digital- Input für einem potentialfreien Kontakt zwischen den Signalleitungen EXT_PROT und COM benutzt werden. Dazu muss der Konfigurations-Parameter SEM+FIL auf INTERN gesetzt sein. Logikzuordnung: Kontakt offen: → DI 0 = true Kontakt geschlossen: →... -
Seite 19: Netzgerät Mit Prisma Verbinden
Digital-Input Wenn der "Externe Messzyklen-Start nicht verwendet wird, steht der Anschluss EXT_RUN als Digital-Input zur Abfrage eines Kontaktes zur Verfügung. Für diese Verwendungsart muss der Parameter cycle/TRIG auf INTERN gesetzt sein: Logikzuordnung: Kontakt offen: → DI 1 = true Kontakt geschlossen: →... -
Seite 20: Pc Anschliessen
3.3.3 PC anschliessen Öffnen Sie das mitgelie- ferte Softwarepaket Balzers Quadstar™. Entnehmen Sie die beigefügten Kabel. Stellen Sie die Verbindung her. VACUUM RS-232-C Schnittstelle: Verwenden Sie das beigelegte 9-polige Nullmodem-Kabel. (Falls erforderlich mit dem Verlängerungskabel oder/und ready tune dem DB9-Stecker zu DB25-Buchse Adapter). -
Seite 21: Bedienung
4 Bedienung 4.1 Inbetriebnahme GEFAHR Vorsicht: Beschädigtes Produkt Die Inbetriebnahme eines beschädigten Produkts kann lebensgefähr- lich sein. Bei sichtbaren Beschädigungen das Produkt gegen unabsichtlichen Betrieb sichern. WARNUNG Beachten Sie stets die in den Technischen Daten (→ 6) angegebenen Grenz- werte und Umgebungsbedingungen. GEFAHR Der Netzstecker darf nur in eine Steckdose mit Schutzkontakt eingeführt wer- den. -
Seite 22: Konfiguration
WARNUNG QME nur durch ein- und ausstecken des Netzsteckers ein- oder ausschalten. Lampenstatus Funktion Massnahmen 24 V-Speisung vorhanden 24 V= 24 V-Speisung nicht Netzspannung + vorhanden Anschluss prüfen 24 V= betriebsbereit ready nicht betriebsbereit Pfeiffer Vacuum Service kontaktieren ready Balzers Quadstar™ starten →... -
Seite 23: Instandhaltung
5 Instandhaltung 5.1 QMA 5.1.1 Katodenwechsel Fachpersonal Die Katoden werden als vormontierte Einheit geliefert. Sie sollen nur von Fachpersonal gewechselt werden. Lösen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME. Demontieren Sie die QME vom Analysator indem Sie in umgekehrter Reihenfolge, wie in Kapitel 3.2.4 beschrieben, vorgehen. Demontieren Sie den Analysator vom Rezipienten. -
Seite 24: Qme
Haltebügel Ersatzkatode Ersatzkatodeneinheit komplett Öffnen Sie die Verpackungsdose der Ersatzkatodeneinheit. Haltebügel vorsichtig nach oben entfernen, dabei die Katode am Boden der Schutz- verpackung festhalten. WARNUNG Filament auch mit Handschuhen nicht berühren. Ersatzkatode auf die Ionenquelle aufsetzen. Dabei die Katode bis zu den Auflagen an den Gewindestiften nach unten schieben, so dass die Platte der Katode parallel zu den Platten der Ionenquelle liegt. -
Seite 25: Filtermatte Wechseln
Hinweis Für die Reinigung des Gehäuses benutzen Sie ein nur leicht feuchtes Tuch mit wenig Wasser, evtl. mit ein wenig Geschirrspülmittel. Es darf keine Flüssigkeit in das Produkt gelangen. Vor Wiederinbetriebnahme gut trocknen lassen. GEFAHR Das 24V - Netzteil ist vor jeder feuchten Reinigung des QME vom Netz zu trennen. -
Seite 26: Abstimmen Des Hf-Generators "Tune
5.2.3 Abstimmen des HF- Bei der ersten Inbetriebnahme, einem Wechsel des Analysators (insbesondere von Faraday auf Channeltron) oder beim Auftreten der entsprechenden Fehler- Generators "TUNE" meldung am Bildschirm soll der HF-Kreis abgeglichen werden. Der korrekte Abgleich verhilft zu bester Genauigkeit im ganzen Massenbereich. Eine jährliche Kontrolle ist deshalb empfehlenswert. -
Seite 27: Qme Austauschen
Spektrum der interessierenden Peakgruppen repetierend registrieren, da bei der Optimierung nicht nur auf Intensität sondern auch auf Auflösung und Peakform zu achten ist. Standardparameter sind: SPEED: 1s/u MODE: SCAN-N RESOL: RANGE: 10 oder AUTO IonRef: 150 V / Cathode: 90 V Gleichen Sie die Spannungen Extraction und Focus in folgender Reihen- folge auf max. -
Seite 28: Zubehör Und Ersatzteile
6 Zubehör und Ersatzteile Bezeichnung A/E/Z Bestellnummer Innensechskantschlüssel M5 (SW4) N 5701 009 BC Innensechskantschraube M3 × 8 B 3079 191 X Sicherungsscheibe B 3547 137 X Filtermatte B 5099 154 FE D-Sub-Stecker, kpl. 15 Stifte BG 442 639 -T Stecker 6 Stifte B 4722 106 CC... -
Seite 29: Produkt Entsorgen
7 Produkt entsorgen GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä- gigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. WARNUNG Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe Elektronikkomponenten müssen speziell entsorgt werden. -
Seite 30: Anhang
Anhang A: LAN Interface Hinweis Gültig für Prisma mit der Ser. Nr. > ..W ... und OPA 200 Einbau der PC - Interfacekarte OPA 200 [3] → Verbindung PC - Prisma Hinweis • Für Lichtwellen-Leiter mit der Länge < 750 m → Factory-Konfigura- tion •... -
Seite 31: B: Literatur
[3] Operating manual Network controller board OPA 200 SH - ARC BAL (9603) SoHard, Gesellschaft für Soft- und Hardware-Entwicklung mbH, D-90766 Fürth [4] Kommunikationsanleitung BG 805 203 BD Pfeiffer Vacuum GmbH, D-35614 Asslar BG 805 201 BD (9911) BG 805 201 BD.bet... -
Seite 32: Kontaminationserklärung
Kontaminationserklärung Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig aus- gefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschreiben werden. Art des Produkts Grund für die Einsendung Ty penbezeichnung... -
Seite 33: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung QMS 200 Produkt Quadrupol-Massenspektrometer Prisma™ Konformitätserklärung im Sinne der Hiermit erklären wir, dass das oben aufgeführte Produkt den Bestimmungen der aufgeführten EU-Richtlinien aufgeführten EU-Richtlinien entspricht. Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen: 73/23/EWG (7/93) 89/336/EWG (7/93) EN 61010-1: 1993 EN 50081-1: 1992... - Seite 34 BG 805 201 BD (9911) BG 805 201 BD.bet...
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- Seite 36 Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-202 www.pfeiffer-vacuum.de...