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3 PRODUKTBESCHREIBUNG
3.6.7
Aperturabhängige Parameter – MINISCAN III-20
3.6.7.1
Mechanische Spezifikationen
Spiegelsubstrat
Eingangsapertur
Strahlversatz
Gewicht ohne Objektiv
Maße (L × B × H)
3.6.7.2
Dynamisches Verhalten
Spiegelsubstrat
Tuning
1
Bearbeitungsgeschwindigkeit bei 30 V
Bearbeitungsgeschwindigkeit bei 48 V
Positioniergeschwindigkeit bei 30 V
Positioniergeschwindigkeit bei 48 V
Schleppverzug
Sprungantwort bei 1 % Vollausschlag
1) M - Optimiertes Tuning für präzise Strahlführung mit kleinsten Eckradien und geringem Schleppverzug.
2) Kalkulation der Geschwindigkeit im Arbeitsfeld: Brennweite F-Theta Linse × Geschwindigkeit.
Beispiel: Ablenkeinheit mit F-Theta Linse f = 254 mm, Geschwindigkeit 30 rad/s
=> 254/1000 × 30 = 7,6 m/s.
3) Kalkulation Beschleunigungszeit ca. 2,3 × Schleppverzug.
4) Ausgeregelt auf 1/5000 Vollausschlag.
© 2023 RAYLASE GmbH MINISCAN III
2
2
2
2
3
4
MN117-de / v1.0.7
SI - Silizium
20 mm
26,0 mm
ca. 2,5 kg
145 mm × 116 mm × 103,5 mm
SI - Silizium
M
30 rad/s
30 rad/s
30 rad/s
30 rad/s
0,30 ms
0,90 ms
QU - Quarz
QU - Quarz
M
30 rad/s
30 rad/s
30 rad/s
30 rad/s
0,34 ms
1,01ms
23
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