Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für VAT 21124-KE0X-000 Serie
Inhaltszusammenfassung für VAT 21124-KE0X-000 Serie
- Seite 1 Gebrauchsanleitung Dosierventil 21124-KE0X-000. 601314DA (1305)
-
Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit VAT sind die Angaben des Typenschil- des erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein: INFICON AG, FL-9496 Balzers Typ: made in Switzerland Fabrication No.: F-No: ..-..-../.. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemässer Gebrauch Funktion 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 2 Technische Daten 3 Einbau 4 Betrieb 5 Gasfluss 5.1 Gasflusskurve 5.2 Umrechnungstabelle 6 Ausbau 7 Instandhaltung 8 Instandsetzung 9 Zubehör 10 Produkt lagern 11 Produkt zurücksenden 12 Produkt entsorgen... -
Seite 4: Sicherheit
1 Sicherheit 1.1 Verwendete GEFAHR Symbole Angaben zur Verhütung von Personenschäden jegli- cher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nicht- beachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Massangaben in mm 1.2 Personalqualifika- tion Fachpersonal... -
Seite 5: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. 1.4 Verantwortung und VAT übernimmt keine Verantwortung und Gewährleis- tung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung dieses Dokument missachten das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Ände-... -
Seite 6: Technische Daten
2 Technische Daten Anschlussflansche DN 16 ISO-KF Einbaulage beliebig … 1000 mbar l/s Dosierbereich 5×10 Dichtheit 1×10 mbar l/s Differenzdruck 2.5 bar Betriebstemperatur 80 °C Ausheiztemperatur 150 °C *) 5 … 40 °C Lagertemperatur Totvolumen 0.032 cm³ Werkstoffe Gehäuse, Nadel, Filter Edelstahl Dosierbuchse Fluorplastomer... - Seite 7 Zubehör Filter Filter einlassseitig (Standardfilter) Filter vakuumseitig 18 Zubehör Gasfluss 590 mbar l/s Filter Filter einlassseitig (Standardfilter) Filter vakuumseitig 18 Zubehör ø10 Gasfluss 1250 mbar l/s 601314DA (1305)
-
Seite 8: Einbau
3 Einbau GEFAHR Vorsicht: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheits- schäden durch ausströmendes Prozessme- dium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Über- druck im Vakuumsystem herrscht. Für Über- druck geeignete Spannelemente verwenden. - Seite 9 Strömungsrichtung Bevorzugte Strömungsrichung Vakuumanschluss Der Vakuumanschluss erfolgt nach dem Entfernen der Schutzdeckel über die Kleinflanschverbindungen. Spannelement Zentierring mit Dichtung DN 16 ISO-KF Schutzdeckel 601314DA (1305)
-
Seite 10: Betrieb
4 Betrieb Das Produkt ist nach dem Einbau betriebsbereit. GEFAHR Vorsicht: Heisse Oberfläche °C Das Berühren der heissen Oberfläche (>55 °C) kann zu Verbrennungen führen. Schutzhandschuhe tragen. 80 °C °C 55 °C 80 °C 601314DA (1305) - Seite 11 Digitale Positionsanzeige . . . Dosier-Kopf Einstellen des Gasflusses Arretieren des einge- stellten Gasflusses Nr. 0 Auf-Zu-Ring öffnen schliessen bis zum mechanischen Anschlag drehen Stellungsanzeige geschlossen Totvolumen Das Totvolumen von 0.032 cm ist durch die Dosier- und Ventilsitzdichtung bedingt. Auf-Zu Dichtheit 1×10 mbar l/s Dichtheit 10...
-
Seite 12: Gasfluss
5 Gasfluss 5.1 Gasflusskurve Mit Hilfe der Gasflusskurve lässt sich der Zusammen- hang zwischen der digitalen Anzeige am Dosier–Kopf und dem Gasfluss herstellen. Die Gasflusskurve entspricht einem Mittelwert. 1000 Beispiel: Digitale Positionsanzeige: Gasfluss = 2×10 mbar l/s 1×10 1×10 1×10 1×10 1×10 1×10... -
Seite 13: Ausbau
6 Ausbau GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Ar- beiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchti- gen die Funktion der Vakuumkomponente. - Seite 14 Kleinflanschverbindungen lösen und Schutzdeckel aufsetzen. Spannelement Zentierring mit Dichtung DN 16 ISO-KF Schutzdeckel 601314DA (1305)
-
Seite 15: Instandhaltung
7 Instandhaltung Filter reinigen Dosierventil gemäss Kapitel "Ausbau" demontie- ren. Schutzdeckel entfernen. Schutzdeckel Schutzdeckel Filter demontieren. O-Ring, FPM ø12.42×1.78 mm Filter einlass- seitig, Inox O-Ring, FPM ø12.42×1.78 mm Filter vakuum- seitig, Inox Sicherungsring J17×1 mm, Inox oder Filter vakuum- seitig, Inox Sicherungsring... - Seite 16 Reinigen Sie den (die) Filter durch Einlegen in Alkohol. GEFAHR Vorsicht: Reinigungsmittel Reinigungsmittel können zu Gesund- heits- und Umweltschäden führen. Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen bezüglich deren Handhabung und Entsorgung einhalten. Mögliche Reaktionen mit den Produktwerkstoffen ...
-
Seite 17: Instandsetzung
8 Instandsetzung Wir empfehlen, defekte Produkte zur Instandsetzung an Ihre nächstgelegene VAT-Servicestelle zu senden. VAT übernimmt keine Verantwortung und Gewähr- leistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instand- setzungsarbeiten selber ausführen. 601314DA (1305) -
Seite 18: Zubehör
9 Zubehör Bei Verschmutzungsgefahr der Dosiernadel durch den Prozess empfehlen wir den Einbau eines Filters auf der Vakuumseite. Filter vakuumseitig (Gasfluss 590 mbar l/s) Bestellnummer 215-462 575928 Filter vakuumseitig (Gasfluss 1250 mbar l/s) Bestellnummer 215-463 576040 601314DA (1305) -
Seite 19: Produkt Lagern
10 Produkt lagern Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Unsachgemässe Lagerung erhöht die De- sorptionsrate und/oder führt eventuell zu mechanischer Beschädigung des Produkts. Vakuumanschlüsse des Produkts mit Schutz- deckeln oder fettfreier Aluminiumfolie ab- decken. Zulässige Lagertemperatur einhalten 6). 11 Produkt zurücksenden WARNUNG Vorsicht: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z.B. -
Seite 20: Produkt Entsorgen
12 Produkt entsorgen GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Ar- beiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. WARNUNG Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) - Seite 21 Notizen 601314DA (1305)
- Seite 22 Notizen 601314DA (1305)
- Seite 23 Notizen 601314DA (1305)