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9 | Fehlerbehebung
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Mögliche Auswirkungen, wenn das maximale Vakuum nicht in Ordnung ist:
• Vorevakuierung schlägt fehl
• Langsamere Evakuierung
Dichtheit des Verteilers (grob)
Hardware-Test
FORTSETZEN
Die allgemeine Dichtheit des Verteilers wird anhand der Vakuumanstiegsmethode
geprüft. Mögliche Ergebnisse:
• Kein Leck von außen
• Leck von außen
Mögliche Auswirkungen eines Lecks im Verteiler:
• Falsche Undicht-Meldungen durch Vakuumabfall
• Erhöhter Gasverbrauch
Kleinere externe Lecks werden später im Zuge des Gasprüfschritts festgestellt.
Dichtheit des Verteilers
Keine Leckage von außen
ILS500 F_FHP-Betriebsanleitung-ninp69de1-02-(2201)
Vakuum:
-0,82
Druck:
0,00
Stop
INFICON
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