Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum RVC 300
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum RVC 300
- Seite 1 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N RVC 300 Regelgerät Betriebsanleitung...
-
Seite 2: Produktidentifikation, Gültigkeit
Firmwareversion ausgestattet ist (→ 21). Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. Bestimmungsgemäßer Das Regelgerät RVC 300 wird zur Druckregelung oder Gasflusssteuerung in einem Vakuumsystem verwendet (Systemübersicht und mögliche Betriebsmodi → 6). Gebrauch Das RVC 300 ist für den Einbau in einen Baugruppenträger (19"-Rackeinschub) bestimmt. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
4.2 Netzanschluss 4.3 Ventile anschließen 4.4 Drucksensor 4.5 Digitale Ein-/Ausgänge 4.6 Analoge Ein-/Ausgänge 4.7 Serielle Schnittstellen RS232 und RS485 5 RVC 300 ein- und ausschalten 6 Grundeinstellungen 6.1 LCD-Kontrast 6.2 Maßeinheit des Druckes 6.3 Sprache 6.4 Automatisches Laden 6.5 Automatischer Reset 6.6 Betriebsmodus... -
Seite 4: Sicherheit
1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. HINWEIS: Anwendungshinweise und nützliche Informationen Wartezeit, Prüfzeit, Reaktionsdauer ... -
Seite 5: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Um das Messgerät vom Netz zu trennen, müssen Sie das Netzkabel ausstecken. Trennvorrichtung gem. EN 61010-1 Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. 1.4 Verantwortung und Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung • dieses Dokument missachten •... -
Seite 6: Aufbau Und Funktion
Drucksensoren (→ 67), oder ein entsprechend geeigneter anderer Sensor, kann für diesem Betriebsmodus verwendet werden. Der Drucksensor liefert ein stetiges Drucksignal (0 … +10 VDC) an das RVC 300. Das RVC 300 vergleicht das Drucksignal (Istwert) mit dem Solldruck und steuert das Regelventil so, dass die dynamischen Eigenschaften des zu regelnden Pro- zesses gut ausgeglichen werden. -
Seite 7: Reglertypen
Reglercharakteristik Das RVC 300 stellt zwei Regelcharakteristiken zur Auswahl: STD: Druckregelung mit variablem Gasfluss (Upstream-Regelung): Das Regelventil regelt den Gaseinlass des Vakuumsystems. Das Re- gelventil wirkt schließend, wenn sich der Druck im Vakuumsystem er- höht. Vakuum- RVC 300 Gaseinlass system... -
Seite 8: Gasflusssteuerung (Fluss)
Drucksensor (Option) Vakuumpumpe Der Gasflusswert wird am RVC 300 eingestellt. Dies ergibt einen entsprechenden Gasfluss durch das verwendete Ventil (bei einer Druckdifferenz Δp von 1 bar). Die Gasflusskurve hängt vom verwendeten Ventil ab. Die nachfolgenden Kurven beziehen sich auf einen Mittelwert für Luft bei einem Druckunterschied Δp von 1 bar. - Seite 9 Gasflusskurve für das Ventil Beispiel einer Gasflusskurve (Mittelwert 500 sccm F.S.) bei einem Differenzdruck RME 005 A Δp = 1 bar. Gasfluss [sccm] Regelventil offen Regelventil geschlossen 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 75 80 Spulenstrom [mA] BG 5280 BDE / A (2013-02)
-
Seite 10: Technische Daten
TPR 261, TPR 265, TPR 280, TPR 281 TPR 2XX 5.00E–04 … 1.00E+03 Da Pfeiffer Vacuum Produkte laufend verbessert werden, besteht die Möglichkeit, dass weitere, neue Drucksensoren in Ihrem RVC 300 implementiert sind. Die Degas-Funktion des Sensors PBR 260 wird vom RVC 300 nicht unterstützt Ventil Anzeige Anzeigebereich Anschließbare Regelventile... -
Seite 11: Digitale Eingänge
Digitale Eingänge Digitale Eingänge (8 Kanäle) DE 1 Fluss verkleinern DE 2 Fluss vergrößern DE 3 Extern ZU DE 4 Extern AUF DE 5 Betriebsmodus Fluss DE 6 Betriebsmodus Druck DE 7 Emission EIN DE 8 Degas EIN Spannung +24 VDC (Extern) Strom <2.5 mA Signalpegel... - Seite 12 50% sinkend bei 40 °C Verwendung Nur in Innenräumen Höhe max. 2000 m NN Verschmutzungsgrad (EN 61010-1) Schutzklasse IP 30 (EN 60529) Abmessungen [mm] 228.5 ø3.5 RVC 300 VACUU M command edit Gewicht 1.65 kg BG 5280 BDE / A (2013-02) RVC300.bet...
-
Seite 13: Einbau
Fremdkörper und Wasser) von z.B. Schaltschränken nach EN 60204-1 aufheben. Geforderte Schutzart durch geeignete Maßnahmen wieder herstellen. RVC 300 in einen 19"-Rackeinschub einschieben und mit den mitgelieferten Hals- schrauben und Plastiknippeln anschrauben. Höhe 3HE BG 5280 BDE / A (2013-02) RVC300.bet... -
Seite 14: Netzanschluss
Die Steckdose muss abgesichert sein mit 10 A Trennvorrichung gem. EN 61010-1 Die Netzspannung sollte über einen zentralen Verteiler zugeführt und geschaltet werden, da der Netzschalter des RVC 300 im eingebauten Zustand nicht zugänglich ist. BG 5280 BDE / A (2013-02) RVC300.bet... -
Seite 15: Ventile Anschließen
4.3 Ventile anschließen Die Gerätedose «X9 valve» ist speziell für die Regelventile EVR 116, RME 005 und RME 005 A konfiguriert. Das Ansteuern anderer Regelventile muss über den analogen Ausgang AA 2 (0 … +10 V) erfolgen (Steckerbelegung → 19). EVR 116 Das Regelventil an der Gerätedose «X9 valve»... -
Seite 16: Drucksensor
Versorgung +24 VDC Die Identifikations-Information wird vom RVC 300 nicht ausgewertet. Beim Sensor PBR 260 dient dieser Anschlussstift außerdem zur Ansteuerung der Degas- Funktion. Sie wird bei diesem Sensor durch das RVC 300 nicht unterstützt. Bezeichnung Signal Anschlussstift X5 D-Sub Gerätedose... -
Seite 17: Digitale Ein-/Ausgänge
Emission EIN (HV ON) +24 VDC Die Steckerbelegung ist abhängig vom verwendeten Drucksensor. Die Identifikations-Information wird vom RVC 300 nicht ausgewertet. Drucksensoren, die nur beim Unterschreiten eines bestimmten Druckes eingeschaltet werden dürfen, starten erst bei anliegendem Signal "Emission EIN" am digitalen Eingang DE 7 des RVC 300 (→... - Seite 18 +24 VDC/2.5 mA Digitaler Eingang 24VDC DE 4 Ventil "Extern AUF" +24 VDC/2.5 mA DE 5 auf Betriebsmodus Kundenseitiger RVC 300 Fluss umschalten +24 VDC/2.5 mA Anschluss DE 6 auf Betriebsmodus Druck umschalten +24 VDC/2.5 mA DE 7 Emission EIN +24 VDC/2.5 mA...
-
Seite 19: Analoge Ein-/Ausgänge
Vorsicht: Störeinflüsse durch Kabelinduktivitäten • Signalleitungen ≤25 m. • Abgeschirmte Signalleitungen verwenden und nur einseitig am RVC 300 erden. • Signalleitungen räumlich getrennt von Steuer- und Netzzuleitungen verlegen. Beigelegten 15-poligen D-Sub-Kabelstecker gemäß der Steckerbelegung anschließen. Kabelstecker einstecken und mit den Schrauben sichern. -
Seite 20: Serielle Schnittstellen Rs232 Und Rs485
4.7 Serielle Schnittstellen Vorsicht RS232 und RS485 Vorsicht: Schnittstellenleitung • Nur eine dreiadrige Schnittstellenleitung verwenden. • Schnittstellenleitung RS232 ≤25 m Schnittstellenleitung RS485 ≤100 m • Wir empfehlen, eine abgeschirmte Schnittstellenleitung zu ver- wenden und nur einseitig zu erden. • Schnittstellenleitung räumlich getrennt von Steuer- und Netzzu- leitungen verlegen. -
Seite 21: Rvc 300 Ein- Und Ausschalten
Der Betrieb des angeschlossenen Sensors außerhalb seiner Spezifi- kationen kann Kontamination verursachen oder den Sensor beschä- digen. RVC 300 nur einschalten, wenn der Druck in der Vakuumkammer innerhalb des für den Sensor spezifizierten Messbereiches liegt. Achten Sie darauf, dass der Netzschalter auf der Rückseite des RVC 300 auf ON steht. - Seite 22 Regelventil EVR 116 erkannt, sofern es angeschlossen ist. • wenn die Autoboot Einstellung eingeschaltet ist (Default), nimmt das RVC 300 nach 3 Sekunden den Betrieb in demjenigen Be- triebsmodus auf, der vor dem vorhergehenden Ausschalten wirksam war. •...
-
Seite 23: Das Rvc 300 Ausschalten
Das RVC 300 ausschalten RVC 300 über den geschalteten Netzverteiler ausschalten. Der «POWER OFF ALARM» wird für einige Sekunden angezeigt. Vorsicht Das Regelventil wird innerhalb 3 Sekunden geschlossen. VACUUM RVC 300 POWER OFF ALARM command edit BG 5280 BDE / A (2013-02) RVC300.bet... -
Seite 24: Grundeinstellungen
6 Grundeinstellungen Bevor Sie das RVC 300 in Betrieb nehmen, sind folgende Grundeinstellungen vorzunehmen: Grundeinstellungen • → 26 LCD-Kontrast • → 27 Maßeinheit des Druckes • → 28 Sprache • → 29 automatisches Laden • automatischer Reset →... -
Seite 25: Aufbau Der Konfigurationsebene
Aufbau der Die Übersicht zeigt, wie die Konfigurationsebene aufgebaut ist. Eine genaue Be- Konfigurationsebene schreibung der Einstellungen finden Sie auf den folgenden Seiten. Konfiguration Modus : Druck Modus Ventil: EVR116 Druck Sensor: APR 1000 Fluss Soll I: 1.33E+00 mbar VENTIL SENSOR ALLG. -
Seite 26: Lcd-Kontrast
6.1 LCD-Kontrast Wählen Sie den Kontrastwert zwischen 0 (hell) und 99 (dunkel). Der Bildschirm «Konfiguration» gibt die Konfiguration aktuelle Einstellung des Betriebsmodus, Modus : Druck des Ventiltyps, des Drucksensors und den Ventil: EVR116 Sensor: APR 1000 Sollwert mit Sollwertquelle wieder Soll I: 1.33E+00 mbar (I = Intern, E = Extern). -
Seite 27: Maßeinheit Des Druckes
6.2 Maßeinheit Für den Betriebsmodus Druckregelung wählen Sie die Maßeinheit des Drucks in mbar, Pa oder Torr. des Druckes Für den Betriebsmodus Flussregelung wählen Sie mbar, Pa oder Torr als Druck- komponente des Gasflusses. Der Bildschirm «Konfiguration» gibt die Konfiguration aktuelle Einstellung des Betriebsmodus, Modus : Druck des Ventiltyps, des Drucksensors und den... -
Seite 28: Sprache
6.3 Sprache Wählen Sie zwischen den Sprachen Deutsch und Englisch. Der Bildschirm «Konfiguration» gibt die Konfiguration aktuelle Einstellung des Betriebsmodus, Modus : Druck des Ventiltyps, des Drucksensors und den Ventil: EVR116 Sensor: APR 1000 Sollwert mit Sollwertquelle wieder Soll I: 1.33E+00 mbar (I = Intern, E = Extern). -
Seite 29: Automatisches Laden
Wird die Funktion «Autom. Laden» ausgeschaltet, bleibt das RVC 300 beim Ein- schalten auf dem Bildschirm «Konfiguration» in der Konfigurationsebene stehen. Das RVC 300 regelt nicht. Sie können nun die Ursache des Netzunterbruchs ana- lysieren und nach dem Start des RVC 300 entsprechend reagieren. Der Regelpro- zess kann zum Beispiel mit der Taste «command»... -
Seite 30: Automatischer Reset
• wenn Signal «Extern AUF» (DE 4) aktiv ist. Automatischer Reset EIN In all den oben erwähnten Fällen nimmt das RVC 300 die Druckregelung wieder auf unter der Annahme, dass die aktuelle Ventilposition 0 (geschlossen) ist. Automatischer Reset AUS In all den oben erwähnten Fällen nimmt das RVC 300 die Druckregelung wieder auf und fährt auf diejenige Ventilposition zurück, auf der es vor dem Vorfall stand. -
Seite 31: Betriebsmodus
6.6 Betriebsmodus Das RVC 300 arbeitet in den folgenden Betriebsmodi • Druck (Druckregelung) • Fluss (Gasflusssteuerung) (Beschreibung der Betriebsmodi im Kapitel "Aufbau und Funktion", → 6) Vorsicht Beachten Sie beim Umstellen des Betriebsmodus (Druck/Fluss), dass für die beiden Modi unterschiedliche Sollwerte und Sollwertquellen verwendet werden. -
Seite 32: Ventil
6.7 Ventil Die Regelventile EVR 116, RME 005 und RME 005 A können direkt am RVC 300 eingestellt werden. Das EVR 116 wird automatisch erkannt. Ist ein EVR 116 am RVC 300 angeschlossen, kann keine andere Ventileinstellung gemacht werden. Vorgehen Der Bildschirm «Konfiguration»... -
Seite 33: Regelcharakteristik
6.8 Regelcharakteristik Im Druckregelungsmodus kann das RVC 300 auf zwei Arten betrieben werden: • Standardbetrieb (STD) mit variablem Gasfluss (Upstream-Regelung) • Inversbetrieb (INV) mit variablem Leitwert (Downstream-Regelung) Im Gasflusssteuerungsmodus arbeitet das RVC 300 im Standardbetrieb (STD) (upstream control). Der Invers-Betrieb (INV) kann zwar gewählt werden, wird aber ignoriert (Beschreibung der Regelcharakteristiken im Kapitel "Aufbau und Funktion"... -
Seite 34: Drucksensor
Durch die Wahl eines implementierten Drucksensortyps wird der entsprechende Messbereich automatisch eingestellt (Liste der implementierten Sensoren → 67). Das RVC 300 zeigt in der Bildschirmzeile «Anschl.» die aktive Gerätedose an. Mit der Einstellung 0–10 V lin können Sie auch nichtimplementierte Drucksensoren verwenden. - Seite 35 Die Editiermarke erscheint in der Zeile Sensor einstellen «Typ». Sensor : lin. : APR 1000 Anschl. : X2-DIN6 einen implementierten Sensor- : 1.00E-00 : 1.10E+03 typ oder für andere Drucksen- SAVE soren die Einstellung 0–10V wählen SAVE SAVE speichern und zurück zum Bild- command schirm «Konfiguration»...
-
Seite 36: Digitale Eingänge
6.10 Digitale Eingänge Das RVC 300 verfügt über acht digitale Eingänge. Der Bildschirm informiert über Zuordnung und Status der digitalen Eingänge, lässt aber keine Einstellungen zu. Erscheint ein schwarzes Rechteck am Ende einer Zeile, deutet dies daraufhin, dass das angezeigte Signal aktiv ist (Betrieb über die Ein-/Ausgänge → 53). -
Seite 37: Digitale Ausgänge
6.11 Digitale Ausgänge Das RVC 300 verfügt über acht digitale Ausgänge. Der Bildschirm informiert über Zuordnung und Status der digitalen Eingänge, lässt aber (außer DA 3) keine Ein- stellungen zu. Erscheint ein schwarzes Rechteck am Ende einer Zeile, deutet dies daraufhin, dass das angezeigte Signal aktiv ist (Betrieb über die Ein-/Ausgänge →... - Seite 38 DA 3 Regelabweichung Die Einstellungen dieses Parameters sind nur im Druckregelmodus wirksam. «DA 3 Regelabweichung» ist ein Steuerausgang. Seine Einstellungen beeinflussen den Druck bzw. Flussregelprozess nicht direkt. Sie definieren nur die Konditionen, die einer übergeordneten Steuerung den Ventilzustand "In Position" übermitteln. Druck (Mess- spannung)
- Seite 39 Der Bildschirm «Digitale Ausgänge» zeigt Digitale Ausgänge die Zuordnung der digitalen Ausgänge DA 1: Ventil geschl 1 bis 4. DA 2: Ventil offen DA 3: in Position DA 4: Ventil Fehler zum Bildschirm «Digitale Aus- DA5-8 gänge 5 bis 8» DA5-8 zum Bildschirm «DA 3 Regelab- weichung»...
-
Seite 40: Analoge Ein-/ Ausgänge
6.12 Analoge Ein-/ Das RVC 300 verfügt über zwei analoge Eingänge und vier analoge Ausgänge. Der Bildschirm informiert über Zuordnung und Status der analogen Ein- und Aus- Ausgänge gänge, lässt aber keine Einstellungen zu (Betrieb über die Ein-/Ausgänge → 53). -
Seite 41: Serielle Schnittstelle
6.13 Serielle Schnittstelle Das RVC 300 kann über die Schnittstellen RS232 und RS485 betrieben werden (Betrieb über die Schnittstelle → 55). Welche Schnittstelle soll wann benutzt werden? RS232: Bei Schnittstellenleitungen <25 m und wenigen Störfaktoren (Steuer- und Netzzuleitungen) «PRI-Status: ein» "n" wird übertragen (→ 58) «PRI-Status: aus»... - Seite 42 Die Editiermarke erscheint in der Zeile Schnittstelle «Typ». : ----- RS232 Param.: zwischen den Typen RS485 PRI-Status: RS232 RS 232 (PRI-Status: ein), RS485 ----- RS 485 (PRI-Status: ein), RS 232 (PRI-Status: aus), RS 485 (PRI-Status: aus), oder command ----- (kein Schnittstellenbetrieb) wählen (Die Schnittstellenparameter werden angezeigt.)
-
Seite 43: Betrieb Über Die Tasten
• Fluss (Gasflusssteuerung) Beschreibung der Betriebsmodi im Abschnitt "Aufbau und Funktion" (→ 6). Nach dem Einschalten des RVC 300 sind dieselben Betriebsmodus- und Parame- tereinstellungen aktuell, die vor dem vorhergehenden Ausschalten aktuell waren. Aktueller Betriebsmodus Der aktuelle Betriebsmodus ist in der Statuszeile ersichtlich:... -
Seite 44: Druckregelung
Kontamination verursachen oder den Sensor beschä- digen. Das RVC 300 nur einschalten, wenn der Druck in der Vakuumkammer innerhalb des für den Sensor spezifizierten Messbereiches liegt. Der Sollwert («Soll») für den Druckregelmodus kann intern über die Tasten vor- gegeben werden oder extern durch ein entsprechendes Sollwertsignal (0 …... - Seite 45 Auf dem Bildschirm «Parameter Druck» Parameter Druck sehen Sie den Istwert («Ist»), den Sollwert Ist :>1.00E+03mbar («Soll») und die Sollwertbegrenzung «Min» Soll: 1.33E+00mbar Min : 1.00E+00mbar und «Max». Max : 1.10E+03mbar SAVE zum Editieren des Sollwerts edit «Soll» SAVE edit command 2×...
-
Seite 46: Auswahl Der Sollwertquelle Für Den Druckregelmodus
Auswahl der Reglertypen Die nachfolgenden Einstellungen sind nur im Druckregelmodus wirksam. Das RVC 300 enthält die automatischen Reglertypen Auto 1 bis Auto 99 (Pro- portional/Integral-Regelung) und PID (Proportional/Integral/Differenzial-Regelung). Auto eignet sich am Besten für eine schnelle Prozessoptimierung, der PID-Reg- lertyp wird dann verwendet, wenn eine präzise Regelung auf den Sollwert und eine... - Seite 47 Auto-Regler Auto wird nach dem folgenden Prinzip eingestellt: 1 = langsame Reaktion 99 = schnelle Reaktion Eine approximative Einstellung kann, je nach Volumen des Vakuumsystems und Saugvermögen der Vakuumpumpe, gemäß folgendem Diagramm vorgenommen werden: Vakuumsystem Klein Gross Volumen Saugvermögen Klein Vakuumpumpe Gross Reglertyp...
- Seite 48 Reglertyp «Auto»-Einstellung erhöhen. Typ : Auto ---- ---- ---- «Auto»-Einstellung verringern SAVE (wird diese Taste bei aktueller «Auto 1»-Anzeige gedrückt, wird der Reglertyp auf «PID» zurück- SAVE command gesetzt.) SAVE speichern und zurück zum Bild- schirm «Druck» zurück zum Bildschirm «Druck» command ohne zu speichern PID-Regler...
- Seite 49 Der Bildschirm «Druck» zeigt den Istwert Druck (Druckwert) und den Sollwert >1.00E+03 Ist : mbar zum Bildschirm «Reglertyp» REGLER Soll: 1.33E+00 mbar PARAM QUELLE REGLER REGLER Unter «Reglertyp» sehen Sie den aktuell Reglertyp ausgewählten Regler. Typ : 0.3 s 0.0 s zum Einstellen des Reglertyps edit SAVE...
-
Seite 50: Gasflusssteuerung
7.2 Gasflusssteuerung Der Gasfluss kann über die Pfeiltasten oder die Menütaste «SOLL» eingestellt werden. Gasfluss einstellen Der Bildschirm «Fluss» zeigt den Gasfluss Fluss und den aktuellen Druckwert (Istwert). mbarl/s Einheit des Gasflusses: Druck :>1.00E+03 mbar EVR 116, RME 005: mbar l/s PARAM SOLL RME 005 A: %... -
Seite 51: Gasfluss Vordefinieren
Gasfluss vordefinieren Das RVC 300 erlaubt es, einen Gasfluss-Sollwert auf die Menütaste «SOLL» zu programmieren. Der Gasfluss-Sollwert kann im Betrieb direkt mit der Menütaste «SOLL» abgerufen werden. Der Bildschirm «Fluss» gibt den aktuellen Fluss Gasfluss und Druckwert (Istwert) wieder. mbarl/s... - Seite 52 Sollwertquelle Fluss wählen Die in den jeweiligen Betriebsmodi (Druckregelung/Flusssteuerung) durchgeführten Einstellungen bzw. Änderungen der Sollwertquellen be- einflussen sich gegenseitig nicht. Der Sollwert kann intern (über die Tasten) oder über den analogen Eingang AE 2 (extern) vorgegeben werden. Der Bildschirm «Fluss» zeigt den Gasfluss Fluss und den aktuellen Druckwert (Istwert) an.
-
Seite 53: Betrieb Über Die Ein- Und Ausgänge
Signal ab, wird wieder der zuletzt verwendete Sollwert angefahren (Druck oder Fluss). DE 5 Betriebsmodus Fluss Wechselt beim RVC 300 auf den Betriebsmodus Fluss. Nach dem Abfallen des Signals bleibt die Einstellung des Betriebsmodus erhalten. Der im Flussmodus definierte Sollwert wird angefahren. DE 6 Betriebsmodus Druck Wechselt beim RVC 300 auf den Betriebsmodus Druck. - Seite 54 Analoge Eingänge AE 1 Sollwert Druck Gibt den externen Sollwert für den Betriebsmodus Druck vor. AE 2 Sollwert Fluss Gibt den externen Sollwert für den Betriebsmodus Fluss vor. AE 3 nicht belegt Keine Funktion. AE 4 nicht belegt Keine Funktion. Analoge Ausgänge AA 1 Signal Drucksensor (Istwert)
-
Seite 55: Betrieb Über Die Serielle Schnittstelle
Eingabe erscheint die Antwort ERROR-INPUT oder ein falscher Wert. Mit einem Hyper-Terminal-Programm können Sie auf einfache Weise die Ver- bindung zwischen PC und RVC 300 testen. Testen Sie die Verbindung mit dem Befehl <VER?>. Es erscheint die Antwort <VER=3.1X>. Mögliche Ursachen, falls Sie keine Antwort erhalten: •... -
Seite 56: Ventil Schließen
Sollwerte Die Sollwerte bleiben nach Ausschalten des RVC 300 erhalten. Druckregelung Befehl Antwort Vorgabe PRS=x.xxEsxx PRS=x.xxEsxx<Einheit> PRS=xxxxx PRS=xxxxxmV Beispiele PRS=1.00E+03 PRS=1.00E+03mbar PRS=09999 PRS=_9999mV Abfrage PRS? PRS=x.xxEsxx<Einheit> PRS=xxxxxmV Beispiele PRS? PRS=1.00E+03mbar PRS? PRS=_9999mV Gasflusssteuerung Befehl Antwort Vorgabe FLO=x.xxEsxx FLO=x.xxEsxx<Einheit>l/s FLO=xxxxx FLO=xxxxxmV FLO=xxx.x... -
Seite 57: Tasten Freigeben Oder Sperren
Betriebsmodus Das RVC 300 beginnt nach dem Einstellen des Betriebsmodus sofort auf den Soll- wert, der für den entsprechenden Betriebsmodus definiert wurde, zu regeln. Kon- trollieren Sie vor dem Einstellen des Betriebsmodus die eingestellten Sollwerte. MOD=W bedeutet: der Regler bleibt in der momentanen Position stehen. -
Seite 58: Maßeinheit
Istwert Befehl Antwort Abfrage PRI? PRI=nx.xxEsxx<Einheit> PRI=nxxxxxmV Beispiele PRI? Bei «PRI-Status: ein»: PRI=_1.05E+02mbar Bei «PRI-Status: aus»: PRI=1.05E+02mbar PRI? PRI=_1234mV "n" wird nur bei Druckeinheit übertragen oder unterdrückt. Bei mV wird ein Leerzeichen "_" gesetzt. im Bereich (ok) < Bereichsunterschreitung (underrange) >... - Seite 59 EVR 116 Das EVR 116 verfügt über eine Schnittstelle, bei der Informationen über die Ventil- position, die Temperatur, den Status und die Version abgefragt werden können (→ [1]). Position Befehl Antwort Abfrage VAP? VAP=hhhh Beispiel VAP? VAP=1a00 Temperatur Befehl Antwort Abfrage VAT?
- Seite 60 PID-Regler Für den PID-Regler (proportional/integral/differenzial) wählen Sie RAS = 0 und fahren fort bei den Einstellungen: Verstärkung Kp, Nachstellzeit Tn und Vorhalte- zeit Tv. Befehl Antwort Vorgabe RAS=xx RAS=xx Beispiel RAS=_0 RAS=_0 (PID) Befehl Antwort Abfrage RAS? RAS=_0 Verstärkung Kp Wählen Sie eine Verstärkung zwischen 0.1 und 100.0.
- Seite 61 Automatischer Reset Stellen Sie diese Funktion EIN oder AUS (Automatischer Reset → 30). Befehl Antwort Abfrage RAR? RAR=x Beispiele RAR? RAR=0 Ausschalten RAR=0 RAR=0 Einschalten RAR=1 RAR=1 BG 5280 BDE / A (2013-02) RVC300.bet...
- Seite 62 9.11 Digitale Ein-/Ausgänge Digitale Eingänge Die hexadezimale Zahl muss in eine binäre Zahl umgewandelt werden. Diese binäre Zahl gibt ein Abbild der digitalen Eingänge. Die erste Stelle von rechts zeigt den Zustand des DE 1, die letzte den Zustand des DE 8. DIN=23 →...
-
Seite 63: Instandhaltung
Der Kontakt mit netzspannungsführenden Komponenten im Gerät kann beim Eindringen von Flüssigkeiten lebensgefährlich sein. Gerät vor Nässe schützen. Innen Bei stark staubiger Umgebung ist das RVC 300 periodisch innen zu entstauben. Der Staub kann mit trockener Druckluft vorsichtig weggeblasen werden. GEFAHR GEFAHR: Reinigen mit Druckluft Wegfliegende Partikel können zu Augenverletzungen führen. -
Seite 64: Instandsetzung
11 Instandsetzung Wir empfehlen, defekte Produkte zur Instandsetzung an Ihre nächstgelegene Pfeiffer Vacuum-Servicestelle zu senden. Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. 12 Produkt zurücksenden Wenn Sie ein Produkt für Instandsetzungsarbeiten einsenden, versehen Sie das Produkt mit einer dichten und schlagfesten Verpackung. -
Seite 65: Zubehör
PF I13 933 1000 sccm PF I13 932 5000 sccm PF I13 931 Verbindungskabel Länge Bestellnummer RVC 300 – Regelventil EVR 116 PT 583 115-T PT 583 116-T 10 m PT 583 117-T 15 m PT 583 118-T 20 m... -
Seite 66: Produkt Lagern
14 Produkt lagern Vorsicht Vorsicht: Elektronikkomponente Unsachgemäße Lagerung (statische Ladungen, Feuchtigkeit usw.) kann zu Defekten an den elektronischen Komponenten führen. Produkt in antistatischem Beutel oder Behälter aufbewahren. Zuläs- sige Technische Daten einhalten (→ 10). 15 Produkt entsorgen WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elektrokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Umweltschäden verursachen. -
Seite 67: Anhang
TPR 2XX 5.00E-04 1.00E+03 TPR 261, TPR 265, TPR 280, TPR 281 Da Pfeiffer Vacuum Produkte laufend verbessert werden, besteht die Möglichkeit, dass weitere, neue Drucksensoren in Ihrem RVC 300 implementiert sind. → 27. In [mbar]. Druckeinheit ändern In [mV]. -
Seite 68: B: Störungsbehebung
Störungsbehebung Störung Mögliche Ursache Behebung Sensorkabel defekt oder nicht Druck korrekt aufgesteckt Sensorkabel prüfen / austauschen ERROR Falsches Kabel Ist : mbar Soll: 1.33E+01 mbar Sensor defekt Sensor prüfen (→ Sensoranleitung) PARAM QUELLE REGLER Falscher Sensor konfiguriert Sensor konfigurieren (→ 34) Das Ventil schließt (nur im Sensorsignal im Error-Bereich →... -
Seite 69: C: Umrechnungstabellen
°F 104 140 176 212 Literatur [1] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Regelventil EVR 116 BP 5056 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland [2] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Regelventil RME 005 BP 5057 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland [3] www.pfeiffer-vacuum.net... - Seite 70 [6] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Compact Pirani Gauge TPR 280, TPR 281 BG 5178 BDE Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland [7] www.pfeiffer-vacuum.net Betriebsanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 251 BG 5110 BN Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Deutschland [8] www.pfeiffer-vacuum.net...
-
Seite 71: Eg-Konformitätserklärung
EG-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, Pfeiffer Vacuum, für das nachfolgende Produkt die Kon- formität zur Niederspannungsrichtlinie 2006/95/EG und zur EMV-Richtlinie 2004/108/EG. Regelgerät Produkt RVC 300 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-3-2:2006 (EMV: Oberschwingungsströme) • EN 61000-3-3:1995 + A1:2001 + A2:2005 (EMV: Begrenzung von Spannungsänderungen, Spannungsschwankungen und Flicker) - Seite 72 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Vakuumlösungen Vakuumlösungen, für technologische Perfektion, kompetente aus einer Hand Beratung und zuverlässigen Service.