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Pfeiffer Vacuum UDV 040 Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum UDV 040 Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum UDV 040 Betriebsanleitung

Ganzmetall-regelventil
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Inhalt
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Betriebsanleitung
inkl. Herstellererklärung
Operating manual
incl. Manufacturer's declaration
Mode d'emploi
incl. Déclaration du fabricant
Ganzmetall-Regelventil
All-metal regulating valve
Vanne tout métal de régulation
UDV 040
UDV 140
Installation
Montage
Operation
Bedienung
Technical data
Technische Daten
Wartung
Maintenance
BP 805 003 BN / B
(9905)
Montage
Fonctionnement
Caractéristiques techniques
Entretien
Dosierung
Dosing
Dosage
manuell
manual
manuel
geregelt
regulated
reglé
(UDV 140)
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Inhaltsverzeichnis
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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum UDV 040

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum UDV 040

  • Seite 1 Herstellererklärung Operating manual incl. Manufacturer’s declaration Mode d’emploi incl. Déclaration du fabricant Ganzmetall-Regelventil Dosierung All-metal regulating valve Dosing Dosage Vanne tout métal de régulation geregelt UDV 040 regulated reglé UDV 140 (UDV 140) manuell manual manuel Installation Montage Montage Operation...
  • Seite 2 Les vannes tout métal de régulation UDV 140 dienen dem kontrollierten Ein- regulating valves are used for controlled UDV 040 et UDV 140 ont été conçues lass von Gasen in Vakuumsysteme. Sie gas inlet into vacuum systems. They dis- pour l'admission contrôlée de gaz dans les tinguish themselves through precise and zeichnen sich durch präzisen und reprodu-...

  • Seite 3: Gültigkeit

    Ce document est valable pour les produits part numbers mit den Artikelnummern avec les numéros de référence PF I52 031 PF I52 031 PF I52 031 (UDV 040) (UDV 040) (UDV 040) PF I52 032 PF I52 032 PF I52 032 (UDV 140)

  • Seite 4: Sicherheit

    Les produits qui nous sont envoyés en cherheitsmassnahmen (→ 26, 36). vue de réparation doivent être d) Products returned to Pfeiffer Vacuum exempts de substances nocives (soit for repair must be free of harmful d) Zur Reparatur eingesandte Produkte radioactives, toxiques, corrosives ou substances (e.g.

  • Seite 5: Zeichenerklärung

    UDV 140 1.3 Allgemeine Bestimmun- 1.3 General stipulations 1.3 Prescriptions générales Pfeiffer Vacuum assumes no liability and Pfeiffer Vacuum ne supporte aucune the warranty becomes null and void if any responsabilité ni garantie dans le cas où le Pfeiffer Vacuum übernimmt keine...
  • Seite 6 2 Installation 2 Montage 2 Installation HINWEIS: NOTE: NOTE: Schmutz und Beschädigungen be- Dirt and damages impair the func- Tout encrassement ou endomma- tion of the vacuum component. einträchtigen die Funktion von gement porte atteinte au fonction- Vakuumkomponenten. Beachten When handling vacuum compo- nement des composants à...
  • Seite 7 Anschlussmöglichkeiten Connection possibilities Possibilités de raccordement Steuerung Control unit Appareil de commande Pmax. = 1.5 mbar UDV 040 / 140 Fig. 1 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 8 2.1 Kapillare für örtlich definierten Gaseinlass Capillary for precisely routing the gas flow Tube capillaire pour réaliser l'admission dirigée de gaz ø2 × 0.5 Fig. 2 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 9 2.2 Montage an das Vakuumsystem Installation in the vacuum system Montage au système à vide Achten Sie auf gute Zugänglichkeit Ensure good accessibility Faire attention à l'accessibilité nicht verstellen do not adjust ne pas régler 85.5 DN 40 CF-F Fig. 3b Fig.
  • Seite 10 2.3 Anschluss des Gaseinlasssystems Connecting the gas inlet system Raccorder l’admission de gaz Achten Sie bei der Herstellung der VCR-Verbindung insbesondere auf folgende Punkte: Pay special attention to the following points when establishing the VCR connection: En assurant la connexion VCR porter une attention particulière aux points suivants: •...
  • Seite 11 2.4 Gaseinlass mit Kapillare Gas inlet with capillary Admission de gaz avec tube capillaire ±0.5 VCR-Verbindung herstellen Kapillare markieren Establish the VCR connection Mark the capillary Assurer la connexion VCR Marquer le tube capillare Fig. 4a Fig. 4b Markierung Mark Marque Einschieben Anziehen...
  • Seite 12 Entmischungsfeier Gaseinlass Gaseinlass mit kleinem Totvolumen Fractionation-free gas inlet Gas inlet with minimized dead volume Admission de gaz sans discrimination Admission de gaz avec volume mort minimum VCR-Verbindung herstellen Establish the VCR connection Assurer la connexion VCR Weitere Technische Daten → zur Vorvakuumpumpe Further technical data →...
  • Seite 13 2.5 Elektrischer Anschluss Electrical connection Raccordement électrique RVG 050 B THERMOVALVE CONTROL      $ VALVE CURRENT LIMIT RESET TIME PROP.GAIN SET POINT & Steuergerät → & BP 805 981 BN / A 30sec. 1000 Control unit → &...

  • Seite 14: Bedienung Operation Fonctionnement

    3 Bedienung Operation Fonctionnement ACHTUNG: GEFAHR: DANGER: CAUTION: DANGER: ATTENTION: max. 200 °C °C max. 200 °C 55 °C BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 15 arretiert ACHTUNG: fixed Lesen Sie vor der Inbetriebnahme der Steuerung deren bloqué Betriebsanleitung. CAUTION: Before putting the control unit into operation read the corresponding product documentation. 3 Umdrehungen Vor dem Anlegen der Heizspannung ATTENTION: 3 turns Before applying the heater voltage Avant la mise en service de l’appareil de commande, 3 tours Avant d'admettre la tension de chauffage...

  • Seite 16: Betrieb Mit Kleinen

    3.2 Betrieb mit kleinen 3.2 Operation with low gas 3.2 Fonctionnement à petits flows Gasflüssen flux gazeux Bei Gasflüssen ≤ 10 Avec des flux de gaz à ≤ 10 When operating the valve at gas flows of mbar l/s besteht die mbar l/s, ≤...
  • Seite 17 3.3 Kompensation von 3.3 Compensation of varia- 3.3 Compensation des varia- tions of temperature Temperatur- tions de la température schwankungen Rapid changes in the environment such as De rapides variations des conditions de draughts of air and exposure to sun shine l’environnement, telles que les courants Rasch ändernde Umgebungsbedingungen can influence the gas flow too strongly for...

  • Seite 18: Ausheizen

    3.4 Ausheizen 3.4 Bakeout 3.4 Etuvage Oxidation occurs (interfering on sealing Beim Ausheizen des Ventils an Atmo- Des oxydations surviennent (dérangeant sphäre treten bei Temperaturen über etwa surfaces) when the valve is baked out at sur les éléments d'étanchéité) lors d'étu- atmospheric pressure at temperatures 300 ºC Oxydationserscheinungen (störend vage avec l'air atmosphèrique à...

  • Seite 19: Thermomechanische Regelung

    3.5 Thermomechanische 3.5 Thermomechanical 3.5 Régulation thermo- regulation Regelung mécanique The UDV 140 has a thermomechanical Das UDV 140 verfügt über eine thermo- L’UDV 140 est muni d'un dispositif de ré- controller. The valve stem is equipped with mechanische Regeleinrichtung. Der glage thermomécanique.
  • Seite 20 manual Typischer Zusammenhang zwischen Gasfluss und Heizspannung (1 bar Einlassdruck) Typical relationship between gas flow and heater voltage (inlet pressure 1 bar) Relation typique entre le flux de gaz et la puissance de chauffage (pression d'entrée 1 bar) Manuelle Ventilöffnung Skalenteile Manual valve opening Scale divisions...
  • Seite 21 Durch manuelle Einstellung der Ventilöff- The gas flow Q is the result of ma- Le flux de gaz Q s'ajuste manuelle- manual manual nung am UDV 140 stellt sich der Gasfluss nual adjustment of the valve opening. This ment par le réglage mécanique de l'ouver- ein.

  • Seite 22: Technische Daten

    4 Technische Daten Betätigung manuell manuell Einbaulage beliebig thermomechanisch Betriebstemperatur max. 200 °C Ausheiztemperatur max. 450 °C Werkstoffe Gehäuse, Membrane Edelstahl Anschlüsse Ventilteller Saphir vakuumseitig DN 40 CF-F Ventilsitz Kupferlegierung einlasseitig Cajon VCR ¼" Gewicht 1,4 kg Druckbereich <10 mbar ... 30 bar Kleinster einstellbarer Gasfluss für Luft <10...

  • Seite 23: Technical Data

    4 Technical data Operation manual manual Mounting position thermomechanial Operating temperature max. 200 °C Bakeout temperature max. 450 °C Materials Housing, diaphragm stainless steel Connection flanges Valve plate sapphire Vacuum side DN 40 CF-F Valve seat copper alloy Inlet side Cajon VCR ¼"...

  • Seite 24: Caractéristiques Techniques

    4 Caractéristiques techniques Commande manuelle manuelle Position de montage indifférente thermomécanique Température d'opération max. 200 °C Température d'étuvage max. 450 °C Matériaux Corps de vanne, membrane acier inoxydable Brides de raccordement Plateau de vanne saphir Côté vide DN 40 CF-F Siège de vanne aliage au cuivre Côté...
  • Seite 25 ø 46 Massbild Scale drawing Dessin côte UDV 140 Cajon VCR " DN 40 CF-F 85.5 Fig. 9 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...

  • Seite 26: Wartung

    5 Maintenance 5 Wartung 5 Entretien GEFAHR: DANGER: DANGER: Informieren Sie sich vor Aufnahme Before beginning to work, find out Se renseigner avant le début des whether any parts are contami- der Arbeiten über eine eventuelle travaux sur une éventuelle conta- Kontamination.

  • Seite 27: Kugelstift Schmieren

    5.1 Kugelstift schmieren 5.1 Lubricating ball pin 5.1 Lubrification du point à bille NOTE: HINWEIS: Zur Schmierung empfehlen wir das We recommend using the high NOTE: temperature lubricant Hi-Temp Hochtemperatur-Schmiermittel Pour la lubrification, nous recom- C100 ( → 55). A thin coat of Hi-Temp C100 (→...

  • Seite 28: Ventilmechanik Ausbauen

    5.2 Ventilmechanik ausbauen Disassembling the valve mechanism Démontage du mécanisme de la vanne entfernen remove enlever herausdrehen unscrew dévisser entfernen remove enlever herausziehen pull out retirer 4 Umdrehungen nicht entfernen 4 turns do not remove 4 tours ne pas enlever BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 29 Tellerfedern ersetzen → herausdrehen unscrew → nein dévisser Replace the cup springs → → Remplacer des rondelles-ressorts → → entfernen remove enlever Fig. 11 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 30 5.3 Tellerfedern ersetzen Replacing the cup springs Remplacement des rondelles-ressorts herausdrehen unscrew dévisser reinigen und schmieren entfernen clean and lubricate remove nettoyer et lubrifier enlever → Vorspannkraft einstellen Adjust the prestress → → Régler la précontrainte Wiederholtes Ausheizen über 200 ºC kann die Spannung einsetzen (5 Stück) der Tellerfedern verringern.

  • Seite 31: Vorspannkraft Der Tellerfedern Einstellen

    5.4 Vorspannkraft der Tellerfedern einstellen Adjusting the prestress of cup springs Réglage de la précontrainte des rondelles-ressorts lösen untighten desserrer spielfrei anziehen tighten play-free serrer sans jeu Umdrehung vorspannen turn to prestress tour pour précontraindre Fig. 13 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...

  • Seite 32: Ventilmechanik Reinigen Und Schmieren

    5.5 Ventilmechanik reinigen und schmieren Cleaning and lubricating the valve mechanism Nettoyage et lubrification du mécanisme de la vanne Reinigen und schmieren Clean and lubricate Nettoyer et lubrifier HINWEIS: Zur Schmierung empfehlen wir das Hoch- temperatur-Schmiermittel Hi-Temp C100 (→ 55). Die Schmiereigenschaften eines dünnen Films sind ausreichend.
  • Seite 33 Notizen Notes Notes BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...

  • Seite 34: Ventilmechanik Zusammenbauen

    5.6 Ventilmechanik zusammenbauen Assembling the valve mechanism Remontage du mécanisme de la vanne aufsetzen mount monter Vorsichtig eindrehen bis mechanischer Widerstand spürbar wird Carefully screw in until mechanical stop can be felt Gewünschten Gasfluss → wieder einstellen ( Visser avec précaution jusqu'à ce que la résistance mécanique Adjust the required gas flow soit perceptible...
  • Seite 35 einschrauben screw in visser einsetzen insert introduire Fig. 15 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 36 Wir empfehlen, defekte Regelventile zur Reparatur an Ihre nächste lating valves to your nearest Nous recommandons d’envoyer les Van- Pfeiffer Vacuum-Servicestelle zu senden. Pfeiffer Vacuum Service Center for repair. nes de régulation défectueuses pour leur réparation au service après vente HINWEIS: NOTE: Pfeiffer Vacuum le plus proche.

  • Seite 37: Ventil Ist Undicht

    6.1 Ventil ist undicht Valve is not tight La vanne n'est pas étanche Mögliche Ursache Possible cause Cause possible Ventilsitz verformt → Valve seat is deformed Le siège de la vanne est déformée Dichtungelemente verschmutzt → Sealing elements are contaminated Les éléments d'étanchéité...

  • Seite 38: Dichtheit Einstellen

    6.2 Dichtheit einstellen Adjusting the tightness Régler l'étanchéité Ventil an Lecksucher anschliessen 5 Umdrehungen festhalten Connect the valve 5 turns hold to a leak detector 5 tours tenir ferme Raccorder la vanne à un détecteur de fuites festhalten arretieren (kontern) arretiert geforderte Dichtheit einstellen hold...
  • Seite 39 arretiert 2 Umdrehungen fixed 2 turns bloqué 2 tours lösen festhalten unlock hold débloquer tenir ferme p > 2 bar +1 Teilstrich / bar +1 scale division / bar +1 trait de division / bar gelöst bis zum Anschlag arretieren (kontern) festhalten unlocked to stop...

  • Seite 40: Hebel Nachstellen

    6.3 Hebel nachstellen Adjusting the lever Ajustage du levier Nach mehrmaligem Einstellen der Dichtheit kann es notwendig bei geschlossenem Ventil werden, den Hebel nachzustellen. when the valve is closed After adjusting the tightness for several timesk, it may be quand la vanne est fermée necessary to reset the lever.
  • Seite 41 2 mm Skalaring einstellen festhalten bis zum Anschlag Adjust scale mark hold to stop Régler l'anneau gradué tenir ferme jusqu'à la butée Ventil an Lecksucher anschliessen arretieren (kontern) festhalten Connect the valve fix (by locknut) hold to a leak detector bloquer (par contre-écrou) tenir ferme Raccorder la vanne...
  • Seite 42 arretiert 2 Umdrehungen Vorsichtig drehen bis fixed 2 turns mechanischer Widerstand bloqué 2 tours spürbar wird. 6 mm Turn carefully until mechanical stop can be felt. Visser avec précaution jusqu'à ce qu'une résistance mécanique soit perceptible. Ventil undicht: Valve leaks: max.

  • Seite 43: Dichtelemente Ausbauen

    6.4 Dichtelemente ausbauen Disassembling the sealing components Démontage des éléments d'étanchéité HINWEIS: Benutzen Sie immer fusselfreie Handschuhe und saubere Werkzeuge. NOTE: Always use lint-free gloves and clean tools. NOTE: Utiliser toujours des gants sans peluche et des outils propres. 2 Umdrehungen 2 turns 2 tours 6 mm...
  • Seite 44 ca. 40 Nm Spezialschlüssel Special tool Clé spéciale 8 mm nicht berühren do not touch ne pas toucher (180° gedreht) (rotated by 180°) nicht berühren do not touch (tourné de 180°) ne pas toucher Ventilsitz herausdrehen Ventilteller herausdrehen Unscrew the valve seat Unscrew the valve plate Dévisser le siège de la vanne Dévisser le plateau de la vanne...

  • Seite 45: Dichtelemente Kontrollieren Und Reinigen

    6.5 Dichtelemente kontrollieren und reinigen Controlling and cleaning the sealing components Contrôle et nettoyage des éléments d'étanchéité HINWEIS: GEFAHR: Benutzen Sie immer fusselfreie Handschuhe und saubere Beachten Sie bei der Handhabung und Entsorgung der Werkzeuge. verwendeten Reinigungsmittel die einschlägigen Vor- schriften und Schutzmassnahmen.
  • Seite 46 Ventilkörper Dichtfläche Visual control: Valve body Sealing surface • Scratches or strong abrasion on the sealing surface? Boîtier de la vanne Surface d'échantéité yes: polish concentrically with a polishing cloth (grain size 240...400) Einlassstutzen Inlet Rinse the inlet and vacuum side of the valve body with alcohol Entrée and subsequently blow out with dry, particle-free gas.
  • Seite 47 Ventilteller Valve plate Plateau de la vanne Visual control: • Fractures or chipping etc. on the sealing surface (sapphire)? Saphir Dichtfläche yes: Replace valve plate Sapphire Sealing surface Saphir Surface d'étanchéité Clean with lint-free cloth wet with alcohol. Visuelle Kontrolle: Contrôle visuel: •...
  • Seite 48 Ventilsitz Valve seat Siège de la vanne Visual control: • Kupferdichtring Scratches on the sealing surface? Copper sealing ring yes: Replace valve seat Anneau d'échantéité en cuivre • Copper sealing ring extends less than 0.2 mm above metal ring? Metallring yes: Replace valve seat Metal ring Anneau métallique...

  • Seite 49: Dichtelemente Einbauen

    6.6 Dichtelemente einbauen Mounting the sealing components Monter les éléments d'étanchéité HINWEIS: ACHTUNG: Benutzen Sie immer fusselfreie Handschuhe und saubere Verwenden Sie keine Schmiermittel (Gewindeteile be- Werkzeuge. sitzen metallischen Schmierpartner). NOTE: CAUTION: Aways use lint-free gloves and clean tools. Use no lubricants (threads slide on metalic partners). ATTENTION: NOTE: Ne pas utiliser des lubrifiants (les filets glissent sur des...
  • Seite 50 Spezialschlüssel Special tool Clé spéciale 8 mm leicht anziehen tighten slightly serrer sans bloquer ca. 40 Nm BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 51 Dichtfläche Sealing surface Surface d'échantéité Ventil undicht → Abschnitt 6.4 bis 6.6 wiederholen Valve leaks → repeat sections 6.4 to 6.6 Vanne inétanche → répéter sections 6.4 à 6.6 Gummistopfen Rubber plug Bouchon en coautchouc Ventilmechanik ausbauen → Disassemble the valve mechanism → Démonter le mécanisme de la vanne →...
  • Seite 52 lösen untighten desserrer spielfrei anziehen tighten play-free serrer sans jeu Umdrehung vorspannen turn to prestress tour pour précontraindre → Ventilmechanik zusammenbauen → Reassemble the valve mechanism → Remonter le mécanisme de la vanne → Hebel nachstellen → Adjust the lever →...

  • Seite 53: Zubehör Accessories Accessoires

    7 Zubehör Accessories Accessoires Steuerung Control unit Appareil de commande Pmax. = 1.5 mbar UDV 040 / 140 ø 6.35 Cajon VCR " 33.5 DN 16 CF-F 34.5 2500 ø 6.35 ø 2 × 0.5 Fig. 20 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 54 Prozesskammer. ber in the event of a power failure. vers la chambre du procédé. When the UDV 040 manual valve is used, Bei Verwendung des manuellen Ventils En cas d'utilisation de la vanne manuelle UDV 040 ist die Stromversorgung des Ab-...
  • Seite 55 Position Beschreibung Bestellnummer Item Description Ordering number Position Description Numéro de référence ≈ Heizjacke, max. 200 ºC, 115/230 V , 50/60 Hz • • ≈ PT 420 376 -T Heating jacket, max. 200 ºC, 115/230 V , 50/60 Hz ≈ Collier chauffant, max.
  • Seite 56 8 Ersatzteile Spare parts Pièces de rechange 100, 100a, 100b 10, 10a Fig. 21 BP 805 003 BN / B (9905) UDVx40.om...
  • Seite 57 Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: When ordering spare parts, always Les commandes de pièces de rechange indicate: doivent toujours comprendre: • Produkttyp • • Type of product Type de produit • Fabrikationsnummer gemäss Typen- • • schild Manufacturing number according to Numéro de fabrication selon la plaque nameplate signalétique...
  • Seite 58 Position Beschreibung Bestellnummer Item Description Ordering number Repère Description Numéro de référence Bolzen komplett • Bolt complete BP 416 004 –X Boulon complet Gerätedose, 2-polig • Socket, 2 pole B 4722 149 FC Prise, à deux pôles Kopfschraube • • Head screw BP 414 667 Vis à...
  • Seite 59 Position Beschreibung Bestellnummer Item Description Ordering number Repère Description Numéro de référence Cu-Dichtung DN 40 CF, standard, Set à 10 Stück • • Copper gasket DN 40 CF, standard, set of 10 pieces 213-372 Joint en cuivre DN 40 CF, standard, jeu de 10 pièces Cu-Dichtung DN 40 CF, versilbert, Set à...

  • Seite 60: Kontaminationserklärung

    PLZ, Ort Telefon Telefax E-Mail Name Datu m und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel Verteiler: Original an den Adressaten - 1 Kopie zu den Begleitpapieren - 1 Kopie für den Absender BP 805 003 BN / B (9905) UDV 040, UDV 140...

  • Seite 61: Declaration Of Contamination

    E-Mail Name Date and legally binding signature Company stamp Copies: Original to manufacturer or representative - 1 copy attach to consignment packaging - 1 copy for file of sender BP 805 003 BN / B (9905) UDV 040, UDV 140...

  • Seite 62: Herstellererklärung

    Normen und angewendete nationale specifications which have been applied: Les directives appliquées, normes Normen in Sprachen und Spezifikationen: harmonisées et les normes nationales appliquées en langages et spécifications: BP 805 003 BN / B (9905) UDV 040, UDV 140...
  • Seite 63 EN 292-2 EN 292-2 ..........EN 292-2 .................... Unterschrift Signature Signature Asslar, 6.5.1999 Asslar, den 6.5.1999 Asslar, 6.5.1999 Wolfgang Dondorf Wolfgang Dondorf Wolfgang Dondorf Managing director Geschäftsführer Gérant d’affaires BP 805 003 BN / B (9905) UDV 040, UDV 140...
  • Seite 64 Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.de...

Diese Anleitung auch für:

Udv 140

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