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Einleitung
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Einleitung
Mit den Schichtdickenmessgeräten der kaloMAX-Familie wird die Schichtdicke
per Kalottenschleifverfahren gemessen. Eine lose zwischen Antriebswelle und
Probe aufliegende gehärtete Stahlkugel mit exakt definiertem Durchmesser
wird durch die motorisch angetriebene Welle in Rotation versetzt (vgl.
Prinzipskizze).
Abbildung 1: Messprinzip Kalottenschliff
Die Kugel dient dabei als Träger für ein Abrasivmittel (Diamantsuspension,
Diamantpaste o.ä.). Dadurch wird eine Vertiefung in die Probe geschliffen – die
sogenannte Kalotte. Die Schleifdauer beträgt je nach Schichttyp (Dicke und
Verschleißfestigkeit) wenige Sekunden bis einige Minuten. Wird das
Schichtsystem der eingespannten Probe durchgeschliffen (Schlifftiefe >
Schichtdicke), ist jede einzelne Schicht unter dem Mikroskop als konzentrischer
Ring (ebene Probe) bzw. Ellipse (zylindrische Probe) zu erkennen.
Abbildung 2: Kalotten auf ebener (links) und zylindrischer Probe (rechts)
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