Inhaltsverzeichnis
Werbung
Die gesamte Eindringtiefe der Kugel beträgt:
�� = �� − √��
Die Eindringtiefe der Kugel im Substrat ist:
�� = �� − √��
Damit ergibt sich die Schichtdicke aus der Differenz:
ℎ = �� − ��
2
ℎ = √��
Bei dünnen Schichten und nur wenig ins Substrat eingeschliffenen Kalotten sind
die Durchmesser D und d sehr klein gegenüber dem Kugelradius R. Damit
vereinfacht sich Gleichung 4 zu:
2
��
−��
ℎ =
8∙��
An Gleichung 5 ist zu erkennen, dass die Genauigkeit der Schichtdickenmessung
mit dem Kalottenschleifverfahren von der Genauigkeit abhängt, mit der die
Durchmesser D und d bestimmt werden können, da der Fehler von R unter 1‰
liegt. Das sorgfältige Ausmessen der beiden Durchmesser ist auch wichtig, da
die beiden Größen quadratisch in die Schichtdickenberechnung eingehen. Zur
Erzielung einer hohen Genauigkeit wird empfohlen, die Schlifftiefe so zu wäh-
len, dass D ≈ 2 ∙ d.
Weitere Informationen zur Betrachtung der Messgenauigkeit beim
Kalottenschleifverfahren auf www.baq.de
2
2
− ��
/4
2
2
− ��
/4
2
2
− ��
/4 − √��
− ��
2
Auswertung der Kalotten
2
/4
(1)
(2)
(3)
(4)
(5)
29
Werbung
Inhaltsverzeichnis
