10.5.
Tiefenmessung
10.5.1 Die Tiefenmessung (z-Achse) mit dem
Kombinationstrieb erfolgt über das Ablesen der
Skala
am
Triebknopf
während
der
Fein-
fokussierung
zwischen
zwei
bestimmten
Objektebenen. Die Skala ist in 100 Einheiten
unterteilt, wobei ein Teilstrich 2,8µm entspricht.
Der Bereich der Tiefenmessung beträgt bei dem
Kombinationstrieb max. 0,225 mm.
Zur Vermeidung von Messfehlern, bedingt durch
die
innere
Umkehrspanne
des
Triebes
(Kombinationstrieb und koaxialer Grob- und
Feintrieb), müssen die jeweiligen Messpunkte
(Objektebenen) von einer Seite angefahren
werden.
10.5.1 Die Tiefenmessung mit dem Koaxialen
Grob-
und
Feintrieb
erfolgt
analog
zur
Vorgehensweise des Kombinationstriebes (siehe
Punkt 10.5.1). Die Skala ist in 50 Einheiten
unterteilt, wobei ein Teilstrich 2,0 µm entspricht.
10.5.1 Die Tiefenmessung mit Messuhr erfolgt
über eine seitlich montierte analoge oder
digitale Messuhr, welche mit dem Probentisch
(Tischträger mit Objektführer) verbunden ist.
Bild 23: Messuhr für Tiefenmessung
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