Schutzgasanschluss; Beschädigung/Zerstörung Des Gerätes; Statusanzeige - Primes Focusmonitor Fm+ Hpd Originalbetriebsanleitung

FocusMonitor FM+ HPD
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Schutzgasanschluss

Um das FS³ vor Staubpartikeln und Verschmutzungen zu schützen, kann über den Schutzgasanschluss das
FS³ mit Schutzgas oder gereinigter Druckluft umspült werden.
ACHTUNG
Beschädigung/Zerstörung des Gerätes
Die Auswirkungen eines kundenseitigen unkontrollierten Gasstroms (z. B. Prozessgas) kön-
nen die Messung verfälschen oder sogar das Gerät beschädigen.
X Verwenden Sie als Schutzgas nur Helium, Stickstoff, Argon oder gereinigte Druckluft am
dafür vorgesehenen Anschluss. Der Druck darf maximal 0,5 bar betragen.
Abb. 9.1: Schutzgasanschluss am FocusMonitor FM+ HPD
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Statusanzeige

Die Statusanzeige besteht aus einem Leuchtring, der durch unterschiedliche Farben und statisches oder
rotierendes Leuchten verschiedene Zustände des FocusMonitor FM+ HPD anzeigt.
Tab. 10.1: Zustände der Statusanzeige
Revision 02/2020 DE
Farbe Leuchtzustand
Weiß Der gesamte Ring
leuchtet
Gelb Rotierendes Leuch-
ten
Rot Rotierendes Leuch-
ten
Schutzgasanschluss Ø 4 mm
Bedeutung
Versorgungsspannung liegt an.
Das FS³ rotiert, die unterschiedlichen
Rotationsgeschwindigkeiten werden dabei indiziert.
Das FS³ rotiert und die y-Achse wird ver-
fahren. Die Messung läuft, die unterschiedlichen
Rotationsgeschwindigkeiten werden dabei indiziert.
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