Verwandte Anleitungen für Brooks 5860S
Inhaltszusammenfassung für Brooks 5860S
- Seite 1 Installations- und Bedienungsanleitung BROOKS Smart - Serie (TMF) Massedurchflussmesser Modell 5860S,5861S,5863S, 5864S & Modell 5850S, 5851S, 5853S 541-F-AAA-Rev.F September 2000...
- Seite 2 Arbeiten durch qualifiziertes Personal. Sehr geehrter Kunde, die BROOKS Massedurchflussmesser / -regler zeichnen sich durch höchste Qualität und Zuverlässigkeit aus. Die Geräte geben Ihnen die Genauigkeit, Reproduzierbarkeit und vielseitige Einsetzbarkeit, die es Ihnen ermöglicht Ihren Prozess mit der größtmöglichen Zuverlässigkeit zu handhaben.
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
INHALTS VERZEICHNIS Abschnitt Seite Abschnitt 1: EINFÜHRUNG Arbeiten mit dem Handbuch Digitale Kommunikation Gerätebeschreibung Massedurchflussregler Abschnitt 2: INSTALLATION Empfang der Geräte Lagerung Prozessanschluss Installation Eingangsfilter Elektrischer Anschluss 9-11 Digitale Kommunikation 12-16 Abschnitt 3: BETRIEB Inbetriebnahme Nullpunktkorrektur Kalibration Abschnitt 4: WARTUNG Allgemeines Fehlersuche Systemprüfungen... -
Seite 4: Abschnitt 1: Einführung
Text auf die digitale Kommunikation bezieht. Digitale Kommunikation, entweder über RS-232 oder RS-485, erlaubt den Smart Control Anschluss der BROOKS Software , wie z.B. Software 0160 Smart Control. Dieses Interfaceprogramm kann zum Betrieb sowie zur (Um-) Konfiguration von Smart- Massedurchflussreglern eingesetzt werden, wobei jedoch die Kalibrations-Parameter nicht zugänglich sind. -
Seite 5: Gerätebeschreibung 1
GERÄTEBESCHREIBUNG Die Brooks Digital- Massedurchflussmesser als Modelle 5860S, 5861S, 5863S und 5864S sind zur genauen Durchflussmessung von Gasen einzusetzen. Das Herz des Systems bildet ein thermischer Durchflusssensor, der den Gasfluß in ein elektrisches Signal umwandelt. Als Ergänzung bieten die Digital- Massedurchflussregler als Modelle 5850S, 5851S und 5853S die Möglichkeit, eine Messung in Kombination... -
Seite 6: Massedurchflussregler 1
MASSEDURCHFLUSSREGLER Standardmäßig sind diese Geräte mit den folgenden Eigenschaften ausgerüstet: l Jeder Smart - Massedurchflussregler ist mit einem “ Ventil - Steuerungs - Algorithmus” ausgerüstet. Dieser dient der Aufrechterhaltung eines stabilen Durchflusses, selbst unter wechselnden Prozessbedingungen ( z.B. Druck- bzw. Temperaturschwankungen). -
Seite 7: Abschnitt 2: Installation
INSTALLATION Abschnitt 2 Hinweis zum Betrieb der Geräte: Bitte achten Sie unbedingt darauf, daß die Geräte nicht außerhalb ihrer technischen Spezifikationen betrieben werden! Die technischen Spezifikationen finden Sie in Kapitel 5. Stellen Sie vor der Inbetriebnahme sicher, daß alle Prozessanschlüsse korrekt befestigt und dicht sind. Prüfen Sie weiterhin alle elektrischen Anschlüsse auf korrekte Verdrahtung! 2. -
Seite 8: Installation 2
INSTALLATION (siehe auch Anhang B, Maßzeichnungen) Bei der Installation von Massedurchflussmessern und -reglern ist sorgfältig darauf zu achten, daß keine Fremdkörper in die Geräte gelangen können. Entfernen Sie die Schutzkappen auf den Anschlüssen erst unmittelbar vor Verbindung der Geräte mit der Prozessleitung. Bei Einsatz mit aggressiven oder toxischen Gasen überprüfen Sie vor Inbetriebnahme die ordnungsgemäße Verrohrung und die Dichtigkeit des Systemes. -
Seite 9: Elektrischer Anschluss 2
ELEKTRISCHER ANSCHLUSS Für die Installation der Smart TMF - Geräte wird ein 15-pin D-SUB Stecker benötigt. Die Steckerbelegung ist in der nachfolgenden Tabelle 2-1 im Detail aufgeführt. Tabelle 2-1: Anschlussbelegung für Smart - TMF PIN - Massedurchfluss- Funktion Belegung Regler Messer •... - Seite 10 ELEKTRISCHER ANSCHLUSS ( Fortsetzung ) Hinweis: Bitte beachten Sie, daß die Konfiguration der Ein- / Ausgänge in Ihrer Bestellung bereits festgelegt wurde. Kundenseitige Änderungen müssen über die digitale Schnittstelle erfolgen. Spannungsversorgung Für beide Gerätetypen gilt: Die Versorgungsspannung ist an den Pin`s 5 ( + VDC ) und 9 ( Masse ) anzuschließen.
- Seite 11 ELEKTRISCHER ANSCHLUSS ( Fortsetzung ) Valve Override Aus Gründen der Sicherheit ist es manchmal notwendig, daß Regelventil unabhängig vom momentanen Sollwert ganz zu öffnen oder zu schließen. Über Pin 12 können Sie diese Funktion aktivieren. Die logischen Pegel bedeuten dann: ≥...
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Seite 12: Digitale Kommunikation 2
Konfiguration von der bei Bestellung angegebenen abweicht ! Die Brooks Massedurchflussmesser und - regler enthalten zwei Elektronikplatinen. Die Hauptplatine ( XE "Main Board " ) ist mit dem Prozessor ausgerüstet und enthält zusätzlich noch eine Tochterplatine. -
Seite 13: Rs-232 Verbindung: Tmf - Pc 2
Smart - Massedurchflussgerät. Viele IBM - kompatible PC`s sind mit einem oder mehreren RS-232 Ausgängen (COM - Ports) standardmäßig ausgerüstet. Das von Brooks gelieferte Standard - Kabel ist ein "Split- Kabel", passend für die Kommunikation per RS-232: der Kommunikationsanschluss des Kabels kann direkt am seriellen COM - Port eines IBM- kompatiblen PC`s angeschlossen werden. -
Seite 14: Anschluss An Peripherie - Geräte
ANSCHLUSS AN PERIPHERIE - GERÄTE Bei Einsatz der Geräte ohne digitale Kommunikation , d.h. es wird nur der Analogausgang benötigt, können die nachfolgend aufgeführten Anschlusskabel für die Verbindung zwischen den Massedurchflussgeräten und der Brooks - Mikroprozessor- Controleinheit geliefert werden: Länge: 3 Meter Teile - Nr.: 124-Z-236-AAA... -
Seite 15: Anschlusskabel: Tmf, Pc Und Control - Einheit 2
ANSCHLUSS AN PERIPHERIE – GERÄTE (Fortsetzung ) Für den Einsatz von TMF`s mit digitaler Kommunikation kann ein geteiltes Kabel ( "Split - Kabel") zum Anschluss aller drei Geräte geliefert werden. In Abbildung 2-5 ist der Anschluss zwischen TMF einerseits und Computer sowie der Control - Einheit andererseits dargestellt. -
Seite 16: Elektrische Interface - Anschlüsse 2
ANSCHLUSS AN PERIPHERIE – GERÄTE (Fortsetzung) Tabelle 2-4: Elektrische Interface - Anschlüsse, Smart TMF TMF - Seite Read-out Side Computer- Computer- Sub D (15polig) Sub D (15polig) Seite Seite Buchse Stecker Sub D (25 pol.) Sub D (9 pol.) Farbe Funktion Buchse Buchse... -
Seite 17: Abschnitt 3 Betrieb
Abschnitt 3 Betrieb INBETRIEBNAHME Verbinden Sie das Gerät mit der Spannungsversorgung und geben Sie dem Gerät 45 Minuten Zeit seine Betriebstemperatur zu erreichen. Nach 45 Minuten werden die Leistungsdaten gemäß Spezifikation erreicht. Ein Betrieb ist jedoch auch vorher problemlos möglich. Überprüfen Sie den aktuellen Gasdurchfluss bevor Sie das Gerät mit Druck beaufschlagen. -
Seite 18: Abschnitt 4 Wartung
Abschnitt 4 Wartung 4.1 ALLGEMEINES Die Brooks Digital - Massedurchflussmesser und - regler bedürfen außer einer gelegentlichen Reinigung keiner regelmäßigen Wartung. Ausschließlich der Eingangsfilter sollte in zyklischen Abständen ersetzt oder in einem Ultraschallbad gereinigt werden. Hinweis: Zur Nachkalibrierung sollte das Gerät zurück zu Brooks gesendet werden, da oft nicht die entsprechenden Fachleute mit den hierzu erforderlichen Kalibiergeräten zur Verfügung stehen. -
Seite 19: System-Fehlersuche 4
Sie, wenn notwendig, der Prozedur zur Nullpunktkorrektur (Abschnitt 3-2 ). Sollte das Gerät keinen stabilen Nullpunkt finden, nehmen Sie bitte Kontakt mit Brooks Instrument auf. 2. Verbinden Sie das Gerät mit der Gasleitung. Zu Testzwecken sollte jeweils mit dem original Kalibriergas gefahren werden. Fahren Sie den Sollwert auf 100% und justieren den Ein- und Ausgangsdruck auf die Werte, die im mitgelieferten Kalibrierzertifikat aufgeführt sind. -
Seite 20: Durchführen Der Reinigung 4
Hauptventil, welches vom oben sitzenden Pilot-Ventil angetrieben wird. Das Hauptventil sollte nicht ausgebaut werden. Falls dieses jedoch notwendig ist, so sollte das Gerät zurück zu BROOKS gesendet werden. Beachten Sie hierzu bitte Anhang C. Unter benetzen Teilen ist zu verstehen: der Körper, das laminare Durchflusselement sowie alle Komponenten des Ventils, einschließlich der Düse, den Prozessanschlüssen... -
Seite 21: Fehlersuche 4
0 % , trotz höherem Sollwert erfolgt kein Durchfluss. Defekte Elektronik Verschmutztes Regelventil Regelventil reinigen ( Abschnitt 4.3 ) oder Gerät zurück zu BROOKS ! Durchfluss kann nicht erreicht werden, ohne Einfluss des Valve Override - Eingang liegt auf Potential an Pin 12 prüfen ! -
Seite 22: Abschnitt 5: Technische Daten
Abschnitt 5 Technische Daten Leistungsdaten ± 0,7 % vom Messwert, ± 0,2 % vom Endwert Genauigkeit ± 0,5 % vom Messwert, ± 0,1 % vom Endwert auf Anfrage ± 0,25 % vom Messwert Reproduzierbarkeit Spanne 1: 50 ( innerhalb der Spezifikation ) Regelbereich 1 :100 ( d.h. -
Seite 23: Meßbereiche
Impedanz ≥ 2000 Ohm 5VDC +15...28 VDC oder ± 15 VDC Speisespannung Stromaufnahme Durchflussmesser Modelle 5860S, 5861S, 5863S und 5864S +24 VDC (+10%) ca. 80 mA (120 mA bei Profibus) oder +15 VDC (+5%) ca. 90 mA Durchflussregler Modelle 5850S, 5851S und 5853S +24 VDC (+10%) ca. - Seite 24 Technische Daten (Fortsetzung) HINWEIS: Bei aktivierter Valve Override - Funktion beträgt die Stromaufnahme: +15 VDC ca. 285 mA +24 VDC ca. 370 mA Temperatur 0-70°C, Umgebungs- und Gastemperatur Optional: 0 – 100 °C(getrennte Elektronik notwendig) Leckage 1 x 10 mbar l/sec., Helium von außen Sicherheit Die Selbstdiagnose des Gerätes schaltet im Falle eines Fehlers den Open Collector Ausgang aktiv.
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Seite 25: Verwendung Der Korrektur-Tabelle, Beispiele
ANHANG A: VERWENDUNG DER KORREKTUR-TABELLE Wenn ein Massedurchflussmesser bzw. -regler mit einem anderen Gas als dem Original- Kalibriergas betrieben wird, kommt es zu einer Abweichung der Anzeige. Die Abweichung findet ihre Begründung in einem abweichenden cP-Wert. Ein Ausgleich der Abweichung kann mit Hilfe eines Korrekturfaktors erfolgen. - Seite 26 Korrekturtabelle für Gase Medium Formel Gasfaktor Düsenfaktor Dichte (kg/m3) 1,1,2-Trichloro-1,1,2-Triflouroet (Freon C2CL3F3 0,231 2,520 7,92 113) 1,1-Difluoro-1-Chloroethan C2H3CLF2 0,341 1,957 4,776 1,1-Difluoroethan CH3CHF2 0,415 1,536 2,94 1,1-Difluoroethylen CH2:CF2 0,458 1,512 2,86 1,2 Dibromotetrafluoroethan C2Br2F4 0,215 2,905 10,53 1,3-Butadien C4H6 0,354 1,413 2,491 1-Butan...
- Seite 27 Medium Formel Gasfaktor Düsenfaktor Dichte (kg/m3) Ethylen C2H4 0,619 1,000 1,261 Ethylen Dichlorid C2H4CL2 0,382 1,879 4,419 Ethylenoxid C2H4O 0,589 1,254 1,965 Fluor 0,924 1,163 1,695 Fluoroform (Freon 23) CHF3 0,529 1,584 3,127 Fluorwasserstoff 0,998 0,845 0,893 Freon 114 C2CL2F4 0,231 2,449 7,479...
- Seite 28 Medium Formel Gasfaktor Düsenfaktor Dichte (kg/m3) Monoethylamin (CH3CH2NH2) C2H7 0,359 1,269 2,013 Monomethylamin CH3NH2 0,565 1,067 1,42 Neon 1,398 0,847 0,902 Nickel Carbonyl Ni(CO)4 0,212 2,371 7,008 Nitrosylchlorid NOCL 0,644 1,529 2,913 Octofluorocyclobutan C4F8 0,169 2,672 8,933 Oxydfluorid 0,672 1,388 2,402 Ozon 0,738...
- Seite 29 Medium Formel Gasfaktor Düsenfaktor Dichte (kg/m3) Trimethylamin (CH3)3N 0,316 1,467 2,639 Trimethyloxyboran (TMB) B(OCH3)3 1,929 4,638 Uranhexafluorid 0,22 3,548 15,7 Vinylbromid C2H3Br 0,524 1,985 4,772 Vinylchlorid C2H3CL 0,542 1,492 2,788 Vinylfluorid C2H3F 0,576 1,281 2,046 Wasserdampf 0,861 0,802 0,804 Wasserstoff 1,008 0,269 0,09...
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Seite 30: Anhang B Maßzeichnungen
ANHANG B: MAßZEICHNUNGEN DIGITALE MASSEDURCHFLUSSMESSER MODELL 5851S MODELL 5850S ANSCHLÜSSE ANSCHLÜSSE -18 UNF -18 UNF ¼” Klemmring ¼” Klemmring ” Klemmring ” Klemmring ¼” VCR, ¼” VCR, ¼” VCO, ¼” VCO, ¼” NPT ¼” NPT 6 mm Klemmring 6 mm Klemmring 10 mm Klemmring MODELL 5853S ANSCHLÜSSE... - Seite 31 MODELL 5860S MODELL 5861S ANSCHLÜSSE ANSCHLÜSSE -18 UNF 58,4 -18 UNF ¼” Klemmring 109,7 ¼” Klemmring 131,4 ” Klemmring 104,7 ” Klemmring 134,5 ¼” VCR, 105,7 ¼” VCR, 127,9 ¼” VCO, 97,7 ¼” VCO, 119,7 ¼” NPT 98,7 6 mm Klemmring...
- Seite 32 DIGITALE MASSEDURCHFLUSSMESSER MODELL 5864S ANSCHLÜSSE 1,5” NPT 272,5 42,5 2” NPT 283,5 47,5 MODELL 5864S ANSCHLÜSSE 3” 4” 6” 8” Alle Maße verstehen sich in mm...
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Seite 33: Anhang C Garantie
Jedes Gerät oder Teil muss mit einem Rücksende - Begleit- schreiben zurückgesendet werden, Eine Kopie des Begleitschreibens ist für die Reparaturabteilung sowie für die zuständige Brooks - Niederlassung bestimmt, Ein Muster ist dieser Anleitung beigeheftet, (siehe nächste Seite) Bitte füllen Sie dieses Begleitschreiben sorgfältig aus, nur... -
Seite 34: Rücksende - Begleitschreiben
Rücksende - Begleitschreiben FISHER-ROSEMOUNT Brooks, Micro Motion P,O, Box 56 3900 AB Veenendaal The Netherlands Lieferant Datum: Kunden- Best,Nr, Brooks Serien Nr, Modell / Teile Nr, Lieferdatum Einbaudatum Ausfalldatum Gewünschte Lieferzeit REPAIR DEPARTMENT Thermal Mass Flow Devices Fax no,: +31 (0)318-549349... -
Seite 35: Übersetzung Der Ce-Einbauhinweise
Anhang D: Übersetzungen der CE- Einbauhinweise...