Edwards D395-92-00 Betriebsanleitung

Turbo- und aktiv-messroehren-controller

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D395-92-882

Issue D

Betriebsanleitung

Turbo- und Aktiv-Messröhren-Controller

Beschreibung

Bestellnummer

Turbo- und Aktiv-Messröhren-Controller

D395-92-000

Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

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Inhaltszusammenfassung für Edwards D395-92-00

Seite 1 D395-92-882 Issue D Betriebsanleitung Turbo- und Aktiv-Messröhren-Controller Beschreibung Bestellnummer Turbo- und Aktiv-Messröhren-Controller D395-92-000 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Wir, Edwards Limited Crawley Business Quarter, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, D395-92-000 Turbo- und Aktiv-Messröhren-Controller...
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Calibrate gauge-Bildschirm ....................28 4.3.6 Units-Bildschirm ......................29 Ausfall der Stromversorgung ..................29 Wartung ..................31 Fehlersuche ......................31 Reinigen des Controllers ....................31 Software-Upgrade ......................32 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 4 24-V-Pumpen mit Logik-Schnittstelle ................16 Netzstrombetriebene Pumpen mit Logik-Schnittstelle ............17 Anschlüsse netzstrombetriebener Vorvakuumpumpen ............17 Anschluss eines Absperrventils ..................18 TAG-Controller-Overlay ....................21 Menüstruktur ......................22 Seite ii © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 5 Menüpunkte ......................21 Messröhren-ID-Nummern ....................24 Fehlersuche ......................31 Zubehör ........................35 Fehlercodes ......................37 Warenzeichen Barocel™ ist ein eingetragenes Warenzeichen von Edwards. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 7: Einführung
Einführung Umfang und Definitionen Diese Betriebsanleitung enthält Anweisungen zu Installation, Betrieb und Wartung des Edwards Turbo- und Aktiv- Messröhren-Controllers. Verwenden Sie den Controller nur so, wie in der vorliegenden Betriebsanleitung beschrieben. Lesen Sie diese Anleitung, bevor Sie den Edwards Turbo- und Aktiv-Messröhren-Controller installieren oder betreiben.
Seite 8: Kompatible Pumpen Und Messröhren
EXT75DX- und nEXT-Serie Vorvakuumpumpen XDD1 24 V-, nXDS-Serie, XDS35i und alle netzgetriebenen Vorvakuumpumpen, z. B. E2M1.5 Aktiv-Messröhren APG100-Serie, WRG, AIM-S, AIM-X und ASG Seite 2 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 9: Konfigurationsbeispiel
D. Vorvakuumpumpe E. Turbomolekularpumpe F. Luftkühler G. Pumpenverlängerungskabel 2 m H. Pumpenverlängerungskabel 2 m (optional) J. Kabel für Aktiv-Messröhre 0,5 m K. Stromversorgung © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 11: Technische Daten
DIN43700 Schalttafelstärke mind. 1,5 mm Anzeige Grünes 7-Segmente-LED-Display mit großer Helligkeit LED-Anzeigen zur Erkennung von Einheiten und Displaymodus Aktualisierungsfrequenz 300 ms © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 12: Anschlüsse
24 V 2.5.2 Netzstecker Steckverbinder-Typ Kycon KPJX 4-Wege Anschlussteil Kycon KPPX-4P (mit TAG mitgeliefert) Abbildung 3 - Pinbelegung für ein Kycon KPPX-4P-Anschlussteil Seite 6 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 13: Turbomolekularpumpe
Stromversorgung, gemeinsam Speed signal input (Eingang Drehzahl-/Saugleistungssignal) Screen (Bildschirm) Stromversorgung, positiv Screen (Bildschirm) Stromversorgung, gemeinsam Stromversorgung, gemeinsam Normal signal input (Eingang „Normal“-Signal) © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 14: Vorvakuumpumpe
Normal signal input (Eingang „Normal“-Signal) 2.5.5 Aktiv-Messröhre Steckverbinder-Typ RJ45 8-Wege Stromversorgung 24 V DC Nennwert Maximale Ausgangsleistung Abbildung 5 - Pinbelegung für 8-Wege-RJ45 Seite 8 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 15: Gesamtleistungsaufnahme
Überspannung und Überstrom ? zurücksetzbar Gewicht 1,1 kg Lagertemperatur -20 bis 85 °C Betriebstemperatur 0 bis 40 °C Zulassungen CE, UL/CUL, TUV, FCC © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 17: Installation
Entfernen Sie alle Verpackungsmaterialien und überprüfen Sie das TAG-Gerät. Wenn der Controller beschädigt ist, gehen Sie nach dem am Schluss dieser Anleitung beschriebenen Verfahren zur Rücksendung von Geräten an Edwards vor. Nehmen Sie den Controller nicht in Gebrauch, wenn er beschädigt ist.
Seite 18: Tischaufbau
TAG-Controllers nicht ausreicht, um ihn am Ort zu halten, wenn sich die Kabel der Turbomolekularpumpe oder der Vorvakuumpumpe verwirren und am Gerät ziehen. Abbildung 6 - Abmessungen bei Tischaufbau (mm) Seite 12 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 19: Tafelmontage
Schieben Sie nun den Controller von vorne in die vorbereitete Montageöffnung der Schalttafel ein. Der Controller wird einfach steckmontiert und anschließend durch die Federklemmen gehalten. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 20: Die Geräterückseite
Sie Einzelheiten zur Montage dieses Anschlusses. Diese Stromversorgung sollte mithilfe einer Sicherung, eines Leistungsschalters oder eines Aktivstrombegrenzers auf maximal 10 A begrenzt werden. Seite 14 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 21: Montage Des Dc-Stromanschlusses
10. Drücken Sie die Metallfeder(D) auf die Baugruppe aus oberer Metallabdeckung (G) und unterer Metallhülse (H). Dies hilft dabei, die Baugruppe zusammenzuhalten. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 22: Anschließen Einer Turbomolekularpumpe
Dieses Kabel versorgt die Pumpe mit Strom und mit Steuersignalen. Abbildung 11 - 24-V-Pumpen mit Logik-Schnittstelle A. TAG-Controller B. 15-Wege-Kabel C. 24-V-Pumpe Seite 16 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 23: Netzstrombetriebene Pumpen Mit Logik-Schnittstelle
Anschluss des Relais. Dieses Relais wird nicht von Edwards geliefert. Abbildung 13 - Anschlüsse netzstrombetriebener Vorvakuumpumpen A. Zum TAG-Controller B. Jede netzstrombetriebene Vorvakuumpumpe C. Relais © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 24: Anschluss Eines Absperrventils
Ein netzstrombetriebenes Absperrventil kann mithilfe eines Relais gesteuert werden. Verbinden Sie das Ventil mit der Logik-Schnittstelle der Vorvakuumpumpe wie in Abbildung 13 gezeigt. Seite 18 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 25: Anschließen Einer Aktiv-Messröhre
Schäden an dieser Messröhre führen, außerdem würden Sie Ihren Gewährleistungsanspruch für den TIC verlieren. Mit dem TAG-Controller kann eine einzelne kompatible Aktiv-Messröhre verbunden werden. Bringen Sie die Messröhre mithilfe eines Aktiv-Messröhrenkabels von Edwards am Messröhrenanschluss an der Rückseite an (siehe Abbildung Für Steuerung und Einrichtung der Aktiv-Messröhre siehe Abschnitt 4.3.2.
Seite 27: Betrieb
„Err01“ angezeigt, um die erfolgreiche Zurücksetzung anzuzeigen. Trennen Sie alle angeschlossenen Messröhren und schalten Sie das Gerät aus und wieder ein, um diese Meldung zu entfernen. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 28: Menüstruktur
Abbildung 16 - Menüstruktur Turbo Turbo Stop Turbo Started Gauge Gauge On/Off Vent Change Vent Option Change TSP option Calibrate Gauge Units Change Units Seite 22 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 29: Turbo-Bildschirm
Wenn die Drehzahl der Turbomolekularpumpe sinkt, blinkt der untere rechte Teil des Prozentzeichens, bis die Rotation der Turbomolekularpumpe vollständig zum Stillstand gekommen ist. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 30: Gauge-Bildschirm
Select“; andernfalls kehrt das Display zur Anzeige des Druckwerts zurück. Wenn der Typ der Messröhre nicht unterstützt wird, zeigt das Display „???“. Wenn keine Messröhre angeschlossen ist, zeigt das Display „---“. Seite 24 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 31: Ein/Aus-Steuerung Der Messröhre
In Ruhestellung geschlossene Belüftungsventile. Geregelte Belüftung bei 100 % bis 50 % der maximalen Drehzahl, Belüftungsventil öffnet vollständig unter 50 % bei Stopp-, nicht jedoch bei Fehlerzuständen. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 32: Tastenaktionen Auf Dem Vent Valve-Bildschirm
Exponent. Drücken und halten Sie zum Ändern des Druckschaltpunkts die ENTER-Taste, um zum Zahleneingabemodus zu wechseln. Hinweis: Wenn Sie den Turbo-Schaltpunkt auf „Druck“ setzen, jedoch keine Messröhre anschließen, wird die Turbomolekularpumpe nicht gestartet. Seite 26 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 33: Zahleneingabemodus
Zahl eingegeben wurde. Edit digit 1 Edit digit 2 Edit digit 3 or Exp Number Entry Mode © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 34: Tastenaktionen Auf Dem Tsp-Bildschirm
Tastenaktionen auf dem Calibrate gauge-Bildschirm Tasten Kurzes Drücken Langes Drücken START Zum Turbo-Bildschirm ENTER Messröhrenkalibrierung (Auswahlbestätigung) WEITER Zum Units-Bildschirm Durchlaufen der Menübildschirme Seite 28 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 35: Units-Bildschirm
System neu gestartet; Wenn die Stromversorgung wieder hergestellt wird, nachdem die regenerative Energie aufgebraucht ist, wird das System nicht neu gestartet. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 36 Wenn die Stromversorgung des Steuersystems unterbrochen wird, haben Sie unter Umständen keine Anzeige der Pumpendrehzahl mehr, obwohl sich das Flügelrad noch dreht. Seite 30 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 37: Wartung
Wenn nötig, reinigen Sie die Außenflächen des Controllers mit einem weichen, trockenen Tuch. Verwenden Sie zum Reinigen keine harten Schleifmittel oder Flüssigkeiten. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 31 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 38: Software-Upgrade
Display „???“ anzeigt, wenn die Messröhre angeschlossen ist, bzw. „---“, wenn die Pumpe angeschlossen ist, benötigen Sie möglicherweise ein Upgrade. Wenden Sie sich für Einzelheiten an Edwards und geben Sie dabei die Seriennummer und die Software-Versionsnummer des TAG-Controllers an. Sie finden die Software-Versionsnummer beim Start des Geräts auf dem Display im Format „ISSxx“.
Seite 39: Lagerung Und Entsorgung
Altgeräten. Edwards bietet seinen europäischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice für den TAG-Controller und die Kabel nach Ablauf der Nutzungsdauer an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten TAG-Controller und Kabel beachten müssen.
Seite 41: Ersatzteile Und Zubehör
USA sowie über ein weltweites Vertriebsnetz erhältlich. Die meisten dieser Firmen beschäftigen Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen absolviert haben. Bestellen Sie Ersatzteile und Zubehör bei Ihrer nächstgelegenen Edwards-Vertretung oder Vertriebsstelle. Geben Sie bei der Bestellung für jedes gewünschte Teil Folgendes an: Modell und Bestellnummer Ihrer Ausrüstung...
Seite 42 (radial) (für nEXT) B580-53-175 Belüftungsventile TAV5 B580-66-010 TAV6 B580-66-020 Absperrventile LCPV16EKA 24 V C417-51-200 LCPV25EKA 24 V C417-52-200 Stromversorgungszubehör 200-W-Stromversorgung D395-92-800 Seite 36 © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Seite 43: Anhang A1 Fehlercodes
Fehler gemeldet. Wenn dieser Fehler bestehen bleibt, setzen Sie die serielle Kommunikation zurück, indem Sie den Turbo anhalten und erneut starten oder die Turboleitung trennen und wieder anschließen. © Edwards Limited 2016. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

Edwards D395-92-00 Betriebsanleitung

Einführung

Technische Daten

Installation

Betrieb

Wartung

Lagerung und Entsorgung

Ersatzteile und Zubehör

Anhang A1 Fehlercodes

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