Leybold vacuum COOLPAK 4000 Gebrauchsanleitung Seite 14

Installation
5
4
3
2
1
Abb. 6 Anschluß- und Bedienelemente
Erläuterungen siehe Tabelle rechts
14
6 7 8
OFF
ON
SE-
LECT
REMOTE
RS 232/485
PRESSURE
HELIUM COOLING
HIGH WATER
PRESSURE INLET
9 10
COLD
HEAD
MAIN SWITCH
OFF/ON
COLD
HEAD
2
HELIUM
FILLING
HELIUM
LOW
FUSES COLD HEAD
F1 F2 F3
HELIUM
HIGH
PRESSURE
COOLING
WATER
OUTLET
GA 12.129/6.01 - 05/2002
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20