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Inhaltszusammenfassung für Leybold vacuum COOLPAK 4000
- Seite 1 Applikations- LEYBOLD VACUUM Unterstützung Vakuum-Lösungen Service GA 12.129/6.01 COOLPAK 4000, 4200, 4000 D 6000, 6200, 6000 D Kompressor-Einheiten und Zubehör für Kryo- Refrigeratoren Kat.-Nrn. 125 44 840 000 892 30 /31 /33 /36 /37 /46 892 30 00 Gebrauchsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Einschalten ......30 Abbildungs-Hinweise, z.B. (1/2), geben mit der ersten 3.1.1 COOLPAK 4000 bis 6200 ....30 Ziffer die Abbildungsnummer und mit der zweiten Ziffer 3.1.2 COOLPAK 4000 D und 6000 D . -
Seite 3: Beschreibung
2 x 1500 oder RPK 1500* 2 x 1511 2 x 5000 1511* 2 x 800 2 x 10000 2 x 400 * Betrieb auch mit den anderen COOLPAK 4000/4200 möglich bei gesenktem He-Fülldruck; siehe Abschnitt 1.3 GA 12.129/6.01 - 05/2002... -
Seite 4: Aufbau Und Funktion
Canadian Standards Association (CSA); zu Details - Helium-Verdichter (1/1), siehe Anhang. - Wärmetauscher (1/2), Die COOLPAK 4000 bis 6200, die ohne Netzleitung aus- - Gasreiniger (1/3) und (1/4), geliefert werden, erfüllen die Anforderungen als „Reco- - Netzteil (Elektro-Einheit). gnized Component“, Geräte, die mit Netzleitung ausge- stattet sind, die Anforderungen als „Listed Component“. -
Seite 5: Sicherheits-Einrichtungen Und Anzeigen Bei Auftreten Eines Fehlers
Beschreibung Sicherheits-Einrichtungen und Anzeigen bei Auftreten eines Fehlers Sicherheits-Einrichtung Anzeige an der Kompressor-Einheit Druckschalter (PSL): Druckdifferenz zwischen 1.: SYSTEM ERROR He-Niederdruck und Atmosphäre< 2.0 bar 2.: Pressure Alarm Thermoschalter (TSH1): He-Temperatur hinter dem 1.: SYSTEM ERROR Wärmetauscher > 38 °C 2.: Helium temp.fail Thermoschalter (TSH 2): He-Temperatur vor dem 1.: SYSTEM ERROR... -
Seite 6: Lieferumfang
“), 2 Bescheinigungen gemäß §9 Druckbehälterverord- 6 Schmelzsicherungen 0,315 A T nung, 1 Adapter (6 mm Swagelock / selbstdichtende Ver- Nur für COOLPAK 4000 D, 6200 und 6000 D schraubung “), 2 Maulschlüssel (1“, 1 “), 2 Klemmringe (Ersatzteile für Wasseranschluss), 6 Schmelzsicherungen 0,63 A T 1 Schraubendreher 2,0 mm nur für die Einstellung... -
Seite 7: Beschreibung
Beschreibung Thermoschalter 100 °C Netzteil Sicherheitsventil 29 bar Wärmetauscher Helium Verdichter Überströmventil Druckschalter 2,0 bar Thermoschalter 38 °C Adsorber Abscheider Abb. 4 Ansicht der Kompressor-Einheit ohne Haube und Seitenwände GA 12.129/6.01 - 05/2002... -
Seite 8: Technische Daten
Beschreibung 1.3 Technische Daten Kompressor-Einheit COOLPAK 4000 4000 4000 D 4000 D 4200 Kat.-Nr. 125 44 892 31 892 30 892 30 00 892 33 ————————————————————————————————————————————————————————— Einzustellender He-System-Fülldruck 6) 8) 50 Hz-Betrieb 13 - 13,5 13 - 13,5 13 - 13,5 13 - 13,5 13 - 13,5 7) 9) - Seite 9 Beschreibung Technische Daten (Fortsetzung) Kompressor-Einheit COOLPAK 6000 6000 D 6200 6200 Kat.-Nr. 892 36 892 46 892 37 840 000 ————————————————————————————————————————————————————————— Einzustellender He-System-Fülldruck 50 Hz-Betrieb 14 - 14,5 14 - 14,5 13 - 13,5 13 - 13,5 60 Hz-Betrieb 13 - 13,5 13 - 13,5 12 - 12,5 12 - 12,5...
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Seite 10: Anmerkungen Zu Den Technischen Daten
Beschreibung Anmerkungen zu den technischen Daten 1) Bei Raum-Temperatur nach dem Anschluss der Druckleitungen und Kaltköpfe oder Kryopumpen. Der Fülldruck darf 0,5 bar höher sein bei Kaltköpfen, die nicht in Kryopumpen eingebaut sind. 2) (träge) 5x20 mm Glas DIN 41662, IEC 127-2/III 3) Selbstdichtende Verschraubungen: f=female / Innengewinde;... - Seite 11 Beschreibung Abb. 5 Maßzeichnung, Maße in mm GA 12.129/6.01 - 05/2002...
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Seite 12: Bestell-Informationen
COOLPAK 6200 mit eingebautem Kühlwasser-Durchflussregler 840 000 Leitungs-Kupplung, “ m / “ m 891 71 Nur für COOLPAK 4000 D und 6000 D: Gasverteiler GD 2 bestehend aus Adsorber CACP 6000 893 52 2 T-Stücken “ f / 2 x “ m 891 02 Netzleitung für COOLPAK 4000, 4000 D,... -
Seite 13: Installation
Installation 2 Installation 2.1 Sicherheits-Hinweise Der Betreiber hat dafür zu sorgen, dass die Kompressor- Vorsicht Die Kompressor-Einheiten dürfen nicht in Einheiten nur von unterwiesenen Personen bedient und explosionsgefährdeter Umgebung einge- von sachkundigen Personen gewartet werden; siehe setzt werden. auch UVV-“Verdichter“(VBG 16) §12 bis §17, Aufstellung und Betrieb. - Seite 14 Installation FUSES COLD HEAD COLD HEAD LECT MAIN SWITCH OFF/ON REMOTE RS 232/485 COLD HEAD HELIUM HIGH HELIUM PRESSURE FILLING HELIUM PRESSURE HELIUM COOLING COOLING HIGH WATER WATER PRESSURE INLET OUTLET Abb. 6 Anschluß- und Bedienelemente Erläuterungen siehe Tabelle rechts GA 12.129/6.01 - 05/2002...
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Seite 15: Anschluss- Und Bedienelemente
Sichern den Eingangsstrom (Primärkreis) des Transformators für den Kaltkopfmotor und die Steuerspannung Elektro-Anschluss für den Kaltkopf (bei COOLPAK 4000 D und 6000 D: Kaltkopf 1) Hauptschalter Trennt das Netzteil von der Netzspannung oder verbindet es mit ihr; dient gleichzeitig als Motorschutzschalter 2.5, 3... -
Seite 16: Auspacken Und Prüfen
Installation 2.2 Auspacken und prüfen Die Geräte nach Erhalt sofort auspacken, auch wenn sie Transport Betrieb erst zu einem späteren Zeitpunkt in Betrieb genommen werden. Transportverpackung auf äußere Schäden untersuchen. Wenn die Kippindikatoren angesprochen haben, darf die Kompressor-Einheit nicht in Betrieb genommen werden. Spannbänder lösen, Karton öffnen und die Kompressor- max. -
Seite 17: Umgebungsbedingungen Und Kühlwasser-Anschluss
Alternativer Kühlwasser-Anschluss: = 21 °a (Grad amerikanische Härte) Schraubanschlüsse Außengewinde “ Achtung Nichteinhalten der Kühlwasserdaten kann Nur für COOLPAK 4000 D, Kat.-Nr. 892 30 00 zu innerer Korrosion führen. Dadurch wird Kühlwasser-Anschluss, die Kompressor-Einheit zerstört. Edelstahl-Schlauchtüllen DN 12 für Schläuche mit Innendurchmesser... - Seite 18 Installation Maximale relative Luftfeuchtigkeit 20 % 30 % 40 % °C 50 % 60 % 70 % 80 % 90 % 100 % Abb. 8 Taupunktdiagram Minimale Kühlwasser-Einlass-Temperatur, bei der noch keine Kondensation auftritt, abhän- gig von der maximalen Raumtemperatur und der maximalen relativen Luftfeuchtigkeit.
- Seite 19 Installation Maximum l·min erlaubter Bereich CP 6000, 6200, 6000 D CP 4000, 4200, 4000 D 30 °C Kühlwasser-Einlass-Temperatur Kühlwasser Abb. 10 Kühlwasser-Bedarf Abb. 9 Kühlwasser-Anschluss GA 12.129/6.01 - 05/2002...
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Seite 20: Zulässige Phaseneinstellung Für Kaltkopfmotoren
Klemmen für 3-Phasen- und für Netzspannungseinstellung (z.B. 400 V) Kaltkopfmotor Nur für Kaltköpfe RGD Klemmen für 470 und 400 V nur für COOLPAK 4000, 4000 D, oder COOLPOWER 6000 und 6000 D 5/100 .. und COOLPOWER Klemmen für 200 und 230 V nur für COOLPAK 4200 and 6200 7/25 und 120 T zulässig! -
Seite 21: Elektro-Anschluss
Normen und Richtli- an allen drei Klemmen CM6 bis CM8 umklemmen; siehe nien des Betreiberlandes). Abb. 11. Bei den COOLPAK 4000 D und 6000 D gelten die Einstellungen für den Kaltkopf-Motortyp für beide Kaltköpfe. Kompressor-Einheit auf Netzspannung einstellen. - Seite 22 Installation 5 Erdungsanschluss (PE) 4 Klemmen 3 Blech mit Verschraubung 2 Netzleitung 1 Verschraubung Abb. 12 Netzleitung anschließen Netzleitung anschließen. Für Netzleitungen mit als Ringöse ausgeführtem Erdungsanschluss die korrekte Reihenfolge für den Die Kompressor-Einheit wird ohne Netzleitung ausgelie- Anschluss am Erdungsbolzen des Netzteiles beachten: fert.
- Seite 23 + 24 V REMOTE + 24 V liegt an 0 V liegt an Reset – Abweichende Pin-Belegung beim COOLPAK 4000 D und 6000 D 4/5/6 Kompressor und/ Kompressor und oder Kaltkopf ein Kaltkopf aus Reset → Pressure Alarm kein Pressure Alarm...
- Seite 24 Installation Die Kompressor-Einheit erfüllt die EG-Richtlinien für elektromagnetische Verträglichkeit (EMV). Damit die Verträglichkeit erhalten bleibt, die folgenden Installati- onsvorschriften einhalten: • Zum Anschluss des Kaltkopfs die vorgeschriebenen Leybold-Anschlussleitungen verwenden. • Die Sub-D-Stecker mit geschirmten Leitungen an- schließen. Die Schirme mit den Metallgehäusen der Sub-D-Stecker verbinden.
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Seite 25: Flexible Druckleitungen Montieren
Installation Schlüssel zum Anschrauben Schlüssel zum Gegenhalten Abb. 14 Montage von selbstdichtenden Verschraubungen 2.6 Flexible Druckleitungen Druckleitungen nur montieren oder demontieren, wenn die Kompressor-Einheit ausgeschaltet ist, und wenn der montieren Druck unter 28 bar ist. Druckleitungen nicht in sich verdrehen. Arbeits-Hinweise für selbstdichtende Verschraubungen mit einem Schlüssel anschrauben und Verschraubungen... - Seite 26 Installation Verschraubung an den Kaltkopf anschrauben Verschraubung an die Kompressor-Einheit anschrauben gegenhalten drehen gegenhalten drehen Kaltkopf Kompressor-Einheit “ 1“ “ 1 “ “ 1“ “ “ (27) “ (27) am Adsorber Verschraubung von der Kompressor-Einheit abschrauben Verschraubung vom Kaltkopf abschrauben lösen gegenhalten lösen...
- Seite 27 Installation Helium-Nieder- druckleitung (grün) Druck- leitung Farbe an Anschluss Farbe ———————————————————————— Hochdruck Kompressor- Hochdruck Hochdruck Kaltkopf- Hochdruck Niederdruck grün Kaltkopf- Niederdruck grün Niederdruck grün Kompressor- Niederdruck grün Abb. 16 Kompressor-Einheit und Kaltkopf verbinden GA 12.129/6.01 - 05/2002...
- Seite 28 Helium-Hochdruckleitungen (rot) Gasverteiler an Kompressor-Hochdruck 2 Hochdruck-Leitungen an Gasverteiler 2 Hochdruck-Leitungen an Kaltkopf-Hochdruck 2 Niederdruck-Leitungen an Kaltkopf-Niederdruck 2 Niederdruck-Leitungen an Gasverteiler Gasverteiler an Kompressor-Niederdruck Abb. 17 COOLPAK 4000 D oder 6000 D mit zwei Kaltköpfen verbinden GA 12.129/6.01 - 05/2002...
- Seite 29 Anschluss und den Helium-Niederdruck-Anschluss ein- schrauben. Die Helium-Druckleitungen anschließen wie in Abb. 17 gezeigt - Parallelschaltung. Achtung Nur Kaltköpfe oder Kryopumpen des glei- chen Typs an eine Kompressor-Einheit COOLPAK 4000 D oder 6000 D an- schließen. GA 12.129/6.01 - 05/2002...
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Seite 30: Bedienung
Bedienung 3 Bedienung 3.1.2 COOLPAK 4000 D und 6000 D Kühlwasser-Zufuhr öffnen. Die Kompressor-Einheit wird hauptsächlich an 3 Tasten Hauptschalter einschalten. bedient: Auf dem Display erscheint VERSION: Vx.xx OFF (AUS-Taste) Display 16 Zeichen ON (EIN-Taste) SYSTEM OFF Auf die Taste ON drücken. Es erscheint... -
Seite 31: Betrieb
Außerdem können die Kompressor-Einheit und der Kaltkopf be- Kompressor-Einheit an der Taste OFF abschalten. schädigt werden. Auch den Netzstecker Beim COOLPAK 4000 D oder 6000 D kann die Kom- niemals bei Betrieb der Kompressor-Einheit pressor-Einheit mit beiden Kaltköpfen abgeschaltet wer- abziehen. -
Seite 32: Außer Betrieb Setzen
Bedienung Bei zu hoher Stromaufnahme schaltet entweder der Druckleitungen abschrauben in umgekehrter Reihenfol- Motorschutzschalter aus und der Hauptschalter steht auf ge wie in Abschnitt 2.6 beschrieben. Schutzkappen auf „0“ oder es erscheint die selbstdichtenden Verschraubungen schrauben. Kompressor-Einheiten, Druckleitungen, Kaltköpfe oder SYSTEM ERROR Adsorber niemals ohne Schutzkappen transportieren. - Seite 33 Bedienung Erläuterungen zur Abb. 18 Display Tasten Hauptschalter Manometer FUSES COLD HEAD COLD HEAD LECT MAIN SWITCH OFF/ON REMOTE RS 232/485 COLD HEAD HELIUM HIGH HELIUM PRESSURE FILLING HELIUM PRESSURE Abb. 18 Bedienelemente GA 12.129/6.01 - 05/2002...
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Seite 34: Schnittstellenbeschreibung
Bedienung RS 232/485 Masse RxD → TxD (zum RxD Eingang des PC) ← * Der erforderliche Gegenstecker ist z.B. bei der Firma Framatome Connectors International erhältlich: 9-polig, Lötversion, female DE09S064T Metallisiertes Gehäuse, gerader Abgang 8655 2179 Abb. 19 Pin-Belegung des Schnittstellen-Steckers 3.5 Schnittstellenbeschreibung Datentausch mit dem COOLPAK Die Kompressor-Einheit erfüllt die EG-Richtlinien für... - Seite 35 “1” “/” [1+1] Tatsächlicher Kompressorzustand (0 =AUS, 1=EIN) “1/0/” nicht gebraucht bei Betrieb eines einzelnen Kaltkopfs beim COOLPAK 4000 D und 6000 D: Kaltkopf 1 = EIN, Kaltkopf 2 = AUS “00” “/” [2+1] Anzahl der noch vorliegendenStörungen “1010000000000000” “/” [16+1] 1 = Störung liegt vor;...
- Seite 36 Bedienung Befehle an und Daten vom COOLPAK Befehl des Beschreibung Antwort vom COOLPAK Beschreibung Host-Rechners STX “SYS” “x” CR Kompressor schalten STX “SYS” “y” CR Kompressor-Zustand x = 0 y = 0 siehe Beispiel 1 x = 1 y = 1 y = 2 SYSTEM ERROR STX “SYS1”...
- Seite 37 Bedienung Definition von Störungscodes Störungs- Störungsmeldung auf Beschreibung code dem Display SYSTEM ERROR Eine oder mehrere der folgenden Störungen sind aufgetreten oder noch aktiv. Compressor fail KLIXON-Störung; der Thermoschalter in der Kompressorkapsel (Klixon) hat ausgelöst; Kompressorkapsel zu heiß. Locked rotor Der Einschaltstrom war zu hoch.
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Seite 38: Wartung
Wartung 4 Wartung Vorsicht Zur Messung und zum Helium nachfüllen oder ablassen Bei allen Arbeiten die Kompressor-Einheit die Kompressor-Einheit abschalten und auf Raum-Tem- vom Netz trennen. peratur abkühlen lassen, die angeschlossenen Kaltköp- fe warm werden lassen. Vorsicht Der maximal zulässige Betriebsdruck des Helium-Nachfüll-Adapters in entkuppeltem Nach Reparaturen an der elektrischen Ausrüstung darf Zustand der selbstdichtenden Verschrau-... - Seite 39 Wartung Druckmesser Druckmesser Helium-Nachfüll-Adapter mit Swagelock-Anschluss und selbstdichtender Verschraubung Absperrventil Helium-Nachfüll-Anschluss mit selbstdichtender Verschraubung Druckminderer Kompressor-Einheit Helium-Druck- gasflasche Abb. 20 Helium nachfüllen Helium nachfüllen Die Verschraubung des Helium-Nachfüll-Adapters an den Helium-Nachfüll-Anschluss anschließen. Achtung Es darf nur reinstes Helium (Reinheit Kompressor-Einheit auf ihren Sollwert füllen. 99,999% oder besser) verwendet werden.
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Seite 40: Adsorber Austauschen
Wartung Mutter Scheibe Halteblech Zahnscheibe Selbstdichtende Verschraubung 6 Helium-Hochdruck-Anschluss 7 Adsorber 8 Schrauben 9 Seitenwand 10 Schnellverschlüsse Abb. 21 Adsorber austauschen 4.2 Adsorber austauschen Vorsicht Lösen der Druckleitungen bei eingekühltem Kaltkopf kann bei Erwärmen zu einem Der Adsorber hält die Öldämpfe aus dem Helium-Gas- Druckanstieg führen, der über den zulässi- strom zurück. -
Seite 41: Schmelzsicherungen Für Die Steuerspannung Wechseln
Wartung Transfor- mator 1 Transfor- mator 2 CM 10 Abb. 22 6 Schrauben, die das Netzteil halten, (links) und Leiterplatte des Netzteils mit den 2 Schmelzsicherungen F4 und F5 für die Steuerspannung (rechts) Den Adsorber kippen und seitlich herausnehmen. Der 4.3 Schmelzsicherungen für Helium-Hochdruck-Anschluss bleibt am Adsorber. -
Seite 42: Durchgeführte Wartung
Wartung Durchgeführte Wartung Wartungsarbeit Datum Stand des Helium-Fülldruck Helium-Fülldruck Betriebsstundenzählers vorher nachher Helium nachgefüllt Helium nachgefüllt Helium nachgefüllt Helium nachgefüllt Helium nachgefüllt Adsorber ausgetauscht Adsorber ausgetauscht Adsorber ausgetauscht Adsorber ausgetauscht Adsorber ausgetauscht 4.4 Service bei Leybold Falls Sie ein Gerät an Leybold schicken, geben Sie an, ob es frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. -
Seite 43: Fehlersuche
Fehlersuche 5 Fehlersuche Störung Mögliche Ursache Beseitigung Reparatur- Hinweis* 1. Kompressor-Einheit läuft nicht, Verbindung zum Netz gestört. Netzleitung und Netzstecker prüfen. — keine Fehleranzeige Netzspannung ausgefallen oder zu Netzspannung und Netzspannungseinstellung der niedrig oder zu hoch. Kompressor-Einheit prüfen. Hauptschalter (Motorschutzschalter) Ursache für Überlastung suchen und beseitigen, —... - Seite 44 Fehlersuche Störung Mögliche Ursache Beseitigung Reparatur- Hinweis* 6. Kaltkopfleistung nimmt ab; Adsorber gesättigt Adsorber austauschen. Der Adsorber muss nach siehe auch GA zum Kaltkopf jeweils 18.000 Betriebsstunden gewechselt wer- oder zur Kryopumpe. den. Elektrischer Anschluss des Kaltkopfes Anschlüsse prüfen. nicht korrekt. Heliumdruck gesunken.
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Seite 45: Ersatzteile
Ersatzteile 6 Ersatzteile GA 12.129/6.01 - 05/2002... - Seite 46 Ersatzteile Pos. Stückzahl für COOLPAK Benennung Abmessungen, Best.-Nr. Werkstoff ohne Abb. Adsorber CACP 6000 ø89, St 893 52 Kranösen 201 13 101 Unterlegscheibe 221 01 206 Flachdichtung 1/4“ 725 52 219 Schutzkappe 1/4“ 200 19 837 Flachdichtung 1/2“ 725 52 220 Schutzkappe 1/2“...
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Seite 47: Eg-Konformitätserklärung
Bezeichnung der Produkte: • EN 50081-1: EMV Störaussendung Helium-Kompressor-Einheit • EN 50082-2: EMV Störfestigkeit T2 Typen: COOLPAK 4000, 4200, 4000 D, 6000, 6200, 6000 D Angewandte nationale Normen und technische Katalog-Nummern: Spezifikationen: 125 44 840 000 • VBG 16/01.93 Verdichter 892 30 /31 /33 /36 /37 /46 •... -
Seite 48: Schaltplan
Schaltplan Schaltplan GA 12.129/6.01 - 05/2002... -
Seite 49: Warn- Und Betriebshinweise Zur Approbation
Betriebszuständen ist in der Gebrauchsan- Das Gesamtsystem besteht aus den Kompressor-Ein- leitung unter „1.3 Technische Daten“ aufge- heiten COOLPAK 4000, 4200, 6000 oder 6200 mit dem führt. Adsorber CACP 6000 sowie einem oder mehreren Kalt- köpfen „RGS, RGD oder COOLPOWER“, den flexiblen Druckleitungen „FL“... - Seite 50 20 °C) Der zulässige Fülldruck in Das Gesamtsystem besteht aus den Kompressor-Ein- Abhängigkeit vom Gerätemodell und den heiten COOLPAK 4000, 4200, 6000 oder 6200 mit dem Betriebszuständen ist in der Gebrauchsan- Adsorber CACP 6000 sowie einem oder mehreren Kalt- köpfen „RGS, RGD oder COOLPOWER“, den flexiblen...
- Seite 51 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Repara- tur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewie- sen.
- Seite 52 LEYBOLD VAKUUM GmbH Bonner Strasse 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Tel.: (0221) 347-0 Fax: (0221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de GA 12.129/6.01 - 05/2002...