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Nordson MPS610V Betriebsanleitung Seite 66

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9-8
UV - Glossar
Quarzplatte
Quarzröhre
Quecksilber
Quecksilberbogen
Quecksilber plus (H+)
P/N 7105084A
Platten, die die UV - Energie mit minimalem Intensitätsverlust
hindurchlassen; die Platten werden vor dem Lampenkopf montiert. Die
Platten werden verwendet, um bei Positivkühlung Kühlluft und in der
Luft vorhandene Verunreinigungen daran zu hindern, in Kontakt mit
dem Substrat zu kommen; bei Negativkühlung verhindern sie, dass die
Kühlluft Kolben und Reflektoren kontaminiert. Die Platten dienen
außerdem dazu, Teile der Infrarotenergie zurückzuhalten, die vom
UV - Lampenkolben ausgestrahlt wird. Wenn die Platten dazu dienen
sollen, dass weniger Wärme mit dem Substrat in Kontakt kommt,
muss zusätzliche Kühlluft über die Quarzplatten geblasen werden.
Wenn keine zusätzliche Kühlluft eingesetzt wird, erwärmt sich der
Quarz mit der Zeit und gibt Wärme an das Substrat ab. Um die
Wärmebildung noch weiter zu reduzieren, kann der Quarz mit einem
Material beschichtet werden, das UV - Licht hindurchlässt, aber
Infrarotenergie absorbiert.
(1) Eine aus einem Silikatmaterial hergestellte abgedichtete Röhre,
gefüllt mit einer genauen Mischung aus Quecksilber und
verschiedenen Inertgasen und manchmal mit elektrischen
Anschlüssen versehen. Der Dampf gibt Licht ab, wenn er entweder
mittels eines Spannungsbogens oder mit Hilfe von Mikrowellenenergie
erregt wird. Der Begriff wird oft auch für den Lampenkolben
verwendet.
(2) Eine aus einem Silikatmaterial hergestellte offene Röhre, durch die
ein Substrat transportiert werden kann. Die Röhre wird oft vor einem
UV - Lampenkopf angebracht und ihr Inneres wird mit Stickstoff
geflutet. Die durch die Röhre transportierten Teile sind so vor
Sauerstoff und Ozon in der Kühlluft des Lampenkopfs geschützt.
Ein silberweißes Metall, das bei Raumtemperatur flüssig ist.
Quecksilber wird verwendet, um ein dampfförmiges Gasplasma, das
UV - Energie abgibt, im Inneren einer Quarzröhre zu erzeugen. Dazu
wird es entweder mit Hilfe eines Spannungsbogens oder durch
Mikrowellenenergie erregt. Im erregten Zustand gibt der
Lampenkolben helles weißes UV - Licht ab. Quecksilberkolben haben
eine Spitzen - Spektralleistung um 365 nm und eine
Spektralkonzentration um 254 nm. In einigen Branchen werden
Quecksilber - Lampenkolben als H - Lampenkolben bezeichnet.
Eine elektrische Entladung zwischen zwei Elektroden durch ein
Quecksilberdampfmedium im Inneren einer Quarzröhre.
Mikrowellenkolben, die zusätzliches Quecksilber enthalten.
Quecksilber - plus - Kolben können nur bei Mikrowellensystemen
verwendet werden, da das Verdampfen des zusätzlichen Quecksilbers
in einem Elektrodenkolben schwierig ist.
2004 Nordson Corporation

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