Balzers TPH 060 Bedienungsanleitung
Verwandte Anleitungen für Balzers TPH 060
Inhaltszusammenfassung für Balzers TPH 060
- Seite 1 BALZERS Operating Instructions I. Ausgabe / 1. Edition Turbomolekularpumpe Turbo Molecular Pump Pompe turbo-moleculaire PM 800 191 BD. E, F (8904)
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Envoi pour réparation Ersatzteile Wasserkühlung Operating medium Pieces de rechange Betriebsmittel Piéces de rechange de la Accesories pompe Zubehör Piéces de rechange du refroi disseur å air Piéces de rechange du refroi disseur å eau Fluides service Accessoires Balzers... -
Seite 3: Betrieb
KURZANWE/SUNG BRIEF INSTRUCTIONS BREVES INSTRUCTIONS für SERVICE Turbomolekularpumpen Turbo Molecular Pumps pour TPH/'-rpLJ 060 TpH/-rpU pompes turbomoléculaires TPH/TPU Diese Kurzanweisung ist nur gültig in These brief instructions are only valied Les présentes instructions résumées Zusammenhang mit der ausführlichen together with the detailed operating ne sont valides qu'en relation avec le... -
Seite 4: Instandhaltung
Ersatzteilpaket Lagerwechsel siehe REMPLACEMENT DES PALIERS: see Para. 7. If you have any difficulties, Abschnitt A reconduire avec des outils spéciaux, please contact the BALZERS service. Bei Schwierigkeiten bitte BALZERS- dans des Iocaux extrémement propres Service verständigen. RETURNING FOR REPAIR: et exempts de poussiére (section 6.4). - Seite 5 Operating Instructions Instructions service Betriebsanweisung für pour pompes turbomoléculaires Turbomolekularpumpen Turbo molecular pumps TPH 060, TPIJ 060 TPH 060, TPU 060 TPH 060, TPU 060 Important Information Directives importantes Wichtige Hinweise Prüfen Sie sofort nach dem Auspak- Please check immediately after A la réception de I'envoi, s'assurer au...
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Seite 6: Allgemeines
Wird die Antriebsleistung — En cas de températures excessives des auf O zurückgeregelt. paliers, de I'entrainement ou du corps de pompe, Ia puissance est diminuée par un régulateur, descendant Ie cas échéant jusqu'å I'arrét complet- Balzers... -
Seite 7: Technische Daten
2 and 3, with the ultimate pres- valeurs de pression limite 3 étant obte- Enddruck 3 ohne Ausheizen der Pum- sure 3 being attained without baking nue sans étuvage des pompes. pen erreicht wird. out of the pumps. Balzers... -
Seite 8: Saugvermögen/Gasdurchsatz
2.2 Saugvermögen/Gasdurchsatz Volume flow rate Débit-volume s[l/s] 10-IO 10-5 10-4 10-2 10-1 p2[mbav] Fig. 2 Saugvermögen für N2 in Abhängigkeit Volume flow rate for N2 funktion Débit de N2 en fonction de la pression vom Ansaugdruck the pressure d'aspiration ISO-K TPH,'TPU with ISO-K... -
Seite 9: Installation
å recevoir des pieds caoutchoutés. Fig. 4 I Hochvakuumflansch 4 Vorvakuumflansch 6 Flutanschluß 1 High-vacuum flange 4 Roughing vacuum connection 6 Venting connection 1 Bride du vide élevé 4 Bride du vide primaire 6 Bride de remise å l'air Balzers... -
Seite 10: Splinter Shield
Abschnitt Zubehör- primaire. Further components are listed in the — Weitere Bauteile Sind im Balzers-Kata- — Eléments de raccord au vide primaire: Balzers catalog "Vacuum Compo log "Komponenten für die Vakuum- voir "Accessoires" nents" technik" aufgeführt- — D' autres éléments... -
Seite 11: Cooling
Kühlung 4.4 Cooling Refroidissement Die Turbopumpe ist serienmäßig kon- — The turbo pump is convection-cooled — La pompe turbomoléculaire est refroi- vektionsgekühlt und daher von einer as standard and therefore independent die, en Série, par un convecteur et donc Wasser- Oder Zwangsluftkühlung of a water or ducted air cooling... -
Seite 12: Water Cooling
4.4. I Refroidissement par eau 4.4.1 Water cooling 4.4.1 Wasserküh/ung La résistance des métaux å la corro- Only a thin film of oxides is generally Die Korrosionsbeständigkeit Sion repose en général sur Ia formation the base for the corrosion resistance Metalle ist im allgemeinen auf eine d'une trés mince... -
Seite 13: Luftkühlung
4.4.2 Luftkühlung Air cooling 44.2 Refroidissement par air — Die Turbopumpe kann auf Luftkühlung — The Turbo pump can be converted — La pompe turbomoléculaire peut étre umgestellt werden. air cooling. préparée pour étre refroidie å l'air. — In der Antriebselektronik TCP sind —... -
Seite 14: Flutanschluß
Raccordement remise 4.5 Venting connection Flutanschluß Yair The Turbo-pumps can be vented Die Turbopumpe kann manuell über La pompe turbomoléculaire peut étre manually via the standard screw plugs die serienmäßige Verschlußschraube remise å [atmosphére manuellement (gas thread G 1/8") at the vent open- (G 1/8") im Flutanschluß... -
Seite 15: Electrical Connection
å cet effet. — Réaliser Ia liaison des conduites entre sung. la vanne de remise å l'air et la cartou- dessicative. — Les branchements électriques sont å reconduire en fonction schémas donnés avec Ies instructions de service respectives. Balzers... -
Seite 16: Operation
Elektrischer Anschluß Turbo 4.6 Branchements électriques Electrical connection turbo Les branchements électriques sont å pumpe pump elektrische Anschluß ist nach electrical connection shall reconduire en fonction des prescrip- örtlich geltenden Bestimmungen made according to local codes. The tions locales en vigueur. Les instruc- durchzuführen. -
Seite 17: Heating Of The Turbo Pump
Silicagel. ses pieds caoutchoutés. Dans les Iocaux atmosphére humide ou agressive, emballer la pompe dans un sac plastique sceller hermétique- ment, dans lequel on aura préalable- ment placé des sachets de sicatif ("Silicagel", par exemple). Balzers... -
Seite 18: Reinigung
Pumpe zu gewährleisten. appel au Service d'Aprés-Vente de An indication of the contamination BALZERS, afin de garantir le bon fonc- the pump, is when the desired working Ein Zeichen für die Verschmutzung tionnement de Ia pompe aprés netto- pressure can no longer be obtained in Pumpe ist, wenn der gewünschte... - Seite 19 Pumpzeitr bedingt durch Reini- Ne pas mettre en route la pompe gungsmittelreste, länger. turbol C40—413 Fig. 13 Fig. 13 Fig. 13 1 8 Niveau de liquide 18 Flüssigkeitsspiegel, 18 Liquid level, max. 1 9 Produit de nettoyage 19 Reinigungsmittel 19 Cleaning agent Balzers...
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Seite 20: Checking The Motor Drive
Fig. 14 TPH/TPU Anschlußschema Connecting diagram Schéma raccordements 36297 gris grau gelb yellow Jaune schwarz black noir weiß white blanc blau blue bleu grün vert green rouge grün/ green/ vert/ gelb yellow jaune braun TCP 120/121 brown brun Balzers... -
Seite 21: Bearing Replacement
å ceux donnés sur la described under Installation in 4.4.2.1. sionszeichnung (Fig. 30). vue en coupe (fig. 31) et sur l'éclaté - The TPH 060 and TPU 060 turbo —Luftkühlung nach Montagebeschrei- (fig. 30). pumps mayonly beoperatedwith TL bung unter 4.4.2.1 demontieren. -
Seite 22: Einsendung
Nous recommandons å notre aimable your responsible BALZERS Service clientéle de conclure, avec leur agence Wir empfehlen Ihnen, entsprechende Wartungsverträge mit Ihrer zuständi- Center, thereby avoiding extended BALZERS, un contrat de maintenance. - Seite 23 Fan/ Ventilateur P 3695 Puffer/ Buffer/ Tampon 3G O,75mm2 Schlauch-Leitung / Hose conduction / tuyau P 4548 p 4644 Q-Kabelschuh / Cable socket / Soulier de cäble P 4616 Schrumpfschlauch / Shrinkdown plastic tubing / tuyau se rétrécir Fig. 32 Balzers...
- Seite 24 Ersatzteilliste / Spare parts list / Pieces de rechange Wasserkühlung / Water cooling / Refroidissement par eau Stück Pos. Benennung / Title / Dösignation Quant. Item piöces No. de cat. pos. PM 003 Schlauchtülle / Hose nipple/ Olive de tuyeau N 4140 Hohlschraube / Hollow...
- Seite 25 33, utiliser le bride de remise verwenden. PM 006 702. å l'air PM 006 702. Hut-Steuergerät Vent control unit Appareil de commande pour TCF 101 PM COI 350A Ie remise å l'air 110V/220 V/240V 50 - 60 Hz Balzers...
- Seite 26 C. Berney8 Co,Pty. Ltd., BalzersHi h Vacuum Equipment, 8th Floor, 159 Kent Street, Sydney, K.S.W. 2000 Australia 241-7160 011-543-1671 1131004 Balzers T ecnovac Comercial LTDA, R uaCacilda Becker, 1 12, 0 4707 SaoPaulo-SP Brasil 23142 340341 2 3188 Bermat S.A., Lota 2250, Casilla9781, Correo1,Santiago de Chile Chile...