Balzers TPH 520 Kurzanweisung
Turbomolekularpumpe
Verwandte Anleitungen für Balzers TPH 520
Inhaltszusammenfassung für Balzers TPH 520
- Seite 1 BALZERS Operating Instructions 2. Ausgabe / 2. Edition Turbomolekularpumpe Turbo Molecular Pump Pompe turbo-moleculaire...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Contenu Index Inhalt Généralités Generals Allgemeines Caractéristiques techniques Technical data Technische Daten Pression finale Ultimate pressure Enddruck Capacité/Débit de gaz Volume flow rate/gas throuput Saugvermögen/Gasdurchsatz Cotes Diagram Marse Pompes ä vide primaire Backing pumps Vorvakuumpumpen installation Installation Installation Remarques relatives å "instal Note concerning installation Hinweis... - Seite 3 KURZANWE'SUNG BRIEF INSTRUCTIONS BREVES INSTRUCTIONS für DE SERVICE Turbomolekularpumpen Turbo Molecular Pumps pour T pH/TplJ TPH/TPU pompes turbomoléculaires T pH/Tpl_J 520 Diese Kurzanweisung ist nur gültig in These brief instructions are only valied Les présentes instructions résumées Zusammenhang mit der ausführlichen together with the detailed operating ne sont valides quien relation avec ie Betriebsanweisung.
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Seite 4: Instandhaltung
Ersatzteilpaket Lagerwechsel siehe A reconduire avec des outils spéciaux, pleasecontact the BALZERSservice. dans des locaux extråmement propres Abschnitt Bei Schwierigkeiten bitte BALZERS- et exempts de poussiöre (section 6.4). RETURNING FOR REPAIR: Sets de remplacement: voir section 7. Service verständigen. Read the General Notes and Para. 6.5. - Seite 5 Instructions de service für pour Turbomolekularpumpen Turbo molecular pumps pompes turbomoléculaires TPH 520, TPIJ 520 TPH 520, TPIJ 520 TPH 520, TPU 520 Wichtige Hinweise Important Information Directives importantes Prüfen Sie sofort nach dem Auspak- Please check immediately after A la réception...
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Seite 6: Allgemeines
Fig. 1 TPH/TPU 1 Généralités 1 Allgemeines 1 General — En relation avec Ia pompe å vide pri- —The turbo pump/connecting cable/ — Turbopumpe-Verbindungskabel- maire correspondante, Ia pompe turbo- electronic drive unit form —together Antriebselektronik Sind, in Verbindung moléculaire, Ies cäbles et conduites with the appropriate backing... -
Seite 7: Technische Daten
2 Technische Daten 2 Technical data 2 Caractéristiques techniques Turbomolekularpumpe Turbo-molecular pump Pompe turbo-moléculaire Anschlußnennweite Nominal diameter Diamétre nominale raccordement Eingang Inlet Entrée DN 100 ISO-K DN 100 CF-F DN 160 ISO-K DN 160 CF-F Ausgang Outlet Sortie DN 25 ISO-KF DN 26 !SO-KF DN 25 JSO-KF DN 25 ISO-KF... -
Seite 8: Vorvakuumpumpen
DN 160 iSO-K TPIJ 520 DN 160 CF-F Flansch flange and TPIJ 520 with et TPU 520 avec bride DN 160 CF-F - TPH 520 mit DNIOOISO-K DN 160CF-F flange - TPH avec bride DN 100 ISO-K DN 100 CF-F Flansch... -
Seite 9: Installation
4 Installation 4 Installation 4 Installation 4.1 Hinweis zur Installation 4.1 Note concerning installation 4.1 Remarques relatives å "instal —Die Turbopumpe Wird mit Betriebsmit- The turbo pump is delivered with the lation tel-Füllung geliefert. operating medium filled in. — La pompe turbomoléculaire est livrée —... -
Seite 10: I Splitterschutz - Zum Schutz
éléments constructifs sont in order to prevent the vacuum — IJm die Belüftung des Rezipienten über redonnés dans Ie catalogue Balzers " chamber from being vented via the die Vorvakuumpumpe zu verhindern, Composantes pour Ia technique backing pump, we recommend... -
Seite 11: Cooling
4.4 Kühlung 4.4 Cooling 4.4 Refroidissement Die Turbopumpe ist serienmäßig The turbo pump is water-cooled as — La pompe turbomoléculaire est refroi- wassergekühlt. standard. die, en Série, par eau. —Bei Umgebungstemperaturen bis 35 oc At ambient temperatures up to 35 oc —En présence de températures ambian- kann die Turbopumpe TPH/TPU 520 the TPH/TPIJ520 turbo pump can be... -
Seite 12: Wasserkühlung Die Korrosionsbeständigkeit
4.4.1 Refroidissement par eau 4.4.1 Water cooling 4.4.1 Wasserkühlung La résistance des métaux å la corro- Only a thin film of oxides is generally Die Korrosionsbeständigkeit Sion repose en général sur la formation the base for the corrosion resistance of Metalle ist im allgemeinen auf eine d'une tres mince couche... -
Seite 13: Air Cooling
4.4.2 Luftkühlung 4.4_2 Air cooling 44.2 Refroidissement par air —DieTurbopumpekannauf Luftkühlung The Turbo pump can be converted to —La pompe turbomoléculaire peut étre umgestellt werden. air cooling. préparée pour étre refroidie å l'air. — In der Antriebselektronik TCP sind —The TCP electronic drive unit contains La commande électronique TCPprévoit elektrische Anschlußmöglichkeiten... -
Seite 14: Flutanschluß
Raccordement remise Flutanschluß 4.5 Venting connection I'air Die Turbopumpe kann manuell über The Turbo-pumps can be vented La pompe turbomoléculaire peut étre die serienmäßige Verschlußschraube manually via the standard screw plugs remise å l'atmosphére manuellement (gas thread G 1/8") at the vent open- (G 1/8") im Flutanschluß... -
Seite 15: Venting Connection
Fig. 10 6 Flutanschluß 15 TCF/TCV 16 PVC-Schlauch 17 Trockenvorlage 59 Flutventif 65 TCP 6 Venting connection 15 TCF/TCV 16 PVC hose 17 Air drier 59 Vent valve 65 TCP 6 Raccordement de remise å Yair 15 TCF/TCV 16 Tuyau en C.P.V. 17 Cartouche siccative 59 Vanne... -
Seite 16: Betrieb
Elektrischer Anschluß Turbo- Electrical connection turbo 4.6 Branchements électriques Les branchements électriques sont å pumpe pump reconduire en fonction des prescrip- Der elektrische Anschluß ist nach electrical connection shall örtlich geltenden Bestimmungen made according to local regulations. tions locales en vigueur. Les instruc- The operating instructions of the elec-... -
Seite 17: Heating Of The Turbo Pump
TCP 380: TCP 380: TCP 380: Bei StörungWirddie Spannungsver- In the eventof a fault, the voltagesup- Encasde perturbationquelconquer sorgung des Motors über einen Kon- ply to the motor is stopped inside the I'alimentation du moteur en tension est takt K2 ausgeschaltet. Eine Reset- unit via a contact of K2. -
Seite 18: Shutting Down The Turbo Pump
5.3 Switching off the pump Arret Abschalten — Switch off the turbo pump on TCP. — Eteindre la pompe turbomoléculaire. —Turbopumpe abschalten. Close the high-vacuum safety valve in — Fermer la vanne de sécurité pour vide — Hochvakuum-Sicherheitsventil in Vor- élevér sur la conduite de vide primaire. -
Seite 19: Maintenance
Service d'Aprés-Vente de Ein Zeichen für die Verschmutzung der the pump is, when the desiredworking BALZERS, afin de garantir le bon fonc- Pumpe ist, wenn der gewünschte pressure can no longer be obtained tionnement de Ia pompe aprés netto- Arbeitsdruck nicht mehr in der übli-... -
Seite 20: Reinigung Im Unzerlegten
6.2.1 Reinigung im unzerlegten 6.2.1 Cleaning the pump when 6.2.1 Nettoyage sans démontage de Ia Zustand assembled pompe —Pumpe abschalten und auf Atmosphä- —Switch off the pump and vent it to — Eteindre Ia pompe et la ramener å la rendruck fluten. -
Seite 21: Checking The Motor Drive
6.3 Prüfen des Antriebmotors 6.3 Checking the motor drive 6.3 Vérification du moteur d'entratnement Test Test of drive Test d l'entraTnement Widerstände / Resistors / Antriebes bei 20 oc at 200C å200C Resistances Hallsondenpfad Hall probe path Traiet de courant 100 Q $ RS 200 Q sondes de Hall... -
Seite 22: Bearing Replacement
4.4.2.1 sont identiques å ceux donnés sur la Luftkühlung nach Beschreibung unter - The TPH 520 and TPU 520 turbo vue en coupe (fig. 31) et sur I'éclaté 4.4.2.1 demontieren. pumps may only be operated with TL (fig. 30). - Seite 23 6.4. I Démontage 6.4.1 Demontage: 6.4.1 Disassembly: Fig. 16-23, Fig. 16-23, Fig. 16-23, Déposer Ia pompe avec la bride vide Pumpe mit Hochvakuumflansch Place the pump with the high-vacuum flange on a flat clean surface; be care- élevé sur une surface lisse et propre- eine glatte, saubere Fläche stellen;...
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Seite 24: Pieces De Rechange
Fig. 16 Fig. 17 Fig. 18 Betriebsmittelspeicher herausnehmen Einstellring herausdrehen Spritzmutter herausdrehen Remove pump fluid reservoir Unscrew setting ring Unscrew splash nut Enlever réservoir de l'agent moteur Dévisser bague de réglage Dévisser l'écrou de barbotage Fig. 19 Fig.20 Fig. 21 Motor-Lagerschild lösen Motor-Lagerschild... - Seite 25 Ersatzteilliste / Spare parts list / Piåces de rechange Luftkühlung / Air cooling / Refroidissement par air Pos. Benennung / Title / Désignation Stück Item Quant. Pos. piéces No. de cat. Satz Luftkühlung/ Set of air.cooling/ Jeu de refroidissement par air V 50/60 PM ZOI Satz Luftkühlung/...
- Seite 26 Ersatzteilliste / Spare parts list / Pieces de rechange Wasserkühlung / Water cooling / Refroidissement par eau Stück Benennung / Title / Dåsignation POS. Quant. Item piéces No. de cat. Pos. PM 003 Schlauchtülle / Hose nipple / Olive de tuyeau N 4140 Hohlschraube / Hollow...
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Seite 27: Operating
8 Betriebsmittel 8 Operating medium 8 Fluides de service Betriebsmitteispeicher PM 033 592 -T Pump fluid reservoir: PM 033 592 -T Réservoir å fluide: PM 033 Betriebsmittel TL 011 Operating agent TL 011: Agents lubrifiants TL 01 1 0,25 1 PM 006 0.25 0,25... - Seite 28 Tel (0842) 23 7114 Telex 4256618 Tel 2255236 Fax 2250927 ea[zers Hochvakuum GmbH Italia South Africa Siemensstrasse Balzers S.P.A. Labotec (Pty.) Ltd.. Balzers Division D-6200 Wiesbaden-Nordenstadt Tecnica delt'Alto Vuoto 51 D Richard Road, Industria 2042 Tel (06122) 7060 Fax (06122) 70638 Via Favrettg,...