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Edwards EBV Serie Betriebsanleitung
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Edwards EBV Serie Betriebsanleitung

Edwards EBV Serie Betriebsanleitung

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Inhaltsverzeichnis

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Beschreibung
EBV20-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz
EBV20-Gasballastventil, 110 V, 50/60 Hz
EBV300S-Gasballastventil, 230 V, 50 Hz
EBV300D-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz
EBV100S-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz
RV-Adapter für EBV20
E1/E2M18- und E2M28-Adapter-Kit für EBV20
Betriebsanleitung
EBV-Gasballastventile
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
A500-16-882
Issue B
Bestellnummer
A500-06-930
A500-06-984
A500-16-930
A500-17-930
A500-18-930
A505-02-000
A500-06-003
Inhaltsverzeichnis
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Verwandte Anleitungen für Edwards EBV Serie

Inhaltszusammenfassung für Edwards EBV Serie

  • Seite 1 A500-16-882 Issue B Betriebsanleitung EBV-Gasballastventile Beschreibung Bestellnummer EBV20-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz A500-06-930 EBV20-Gasballastventil, 110 V, 50/60 Hz A500-06-984 EBV300S-Gasballastventil, 230 V, 50 Hz A500-16-930 EBV300D-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz A500-17-930 EBV100S-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz A500-18-930 RV-Adapter für EBV20 A505-02-000 E1/E2M18- und E2M28-Adapter-Kit für EBV20 A500-06-003...

  • Seite 2: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Wir, Edwards Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, GB erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte, EBV20-Gasballastventil, 240 V, 50/60 Hz A500-06-930 •...

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Service und Zubehör ................27 Einführung ....................... 27 Kundendienst ......................27 Zubehör ........................27 Bitte die HS-Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausfüllen und Ihrer Rücksendung beilegen. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 4 Checkliste der Komponenten des E1/E2M18- und des E2M28-Adapter-Kits für EBV20 ......5 Checkliste der Komponenten des RV-Adapters für EBV20 ............5 Weiterführende Publikationen Publikationstitel Publikationsnummer Vakuumpumpe und Vakuumsystemsicherheit P400-40-882 Seite ii © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 5: Einführung

    Umfang und Definitionen Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung der EBV-Gasballastventile (weiterhin abgekürzt als EBV-Ventile) von Edwards. Die EBV-Ventile müssen gemäß den Angaben in dieser Anleitung verwendet werden. Lesen Sie sich die vorliegende Anleitung vor Installation und Inbetriebnahme des EBV-Ventils aufmerksam durch.

  • Seite 6: Anwendungen

    Sie müssen dafür sorgen, dass das EBV-Ventil für Ihre jeweilige Anwendung geeignet ist. Wenden Sie sich im Zweifelsfall bitte an Edwards oder Ihren Lieferanten, um sicherzustellen, dass das EBV-Ventil für Ihre Anwendung eingesetzt werden kann. Beachten Sie Folgendes: Die EBV-Ventile sind nicht zur Verwendung mit Aziden geeignet.

  • Seite 7: Technische Daten

    Maximaler Gasversorgungsdruck (kein Durchsatz) * 1 bar gemessen 2 x 10 Schutzart des Gehäuses IP65 (mit Gummidichtung) Bei Anschluss einer Spülgasversorgung siehe Abschnitt 3.7. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 8 A500-16-882 Issue B Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 4 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 9: Installation

    Anzahl Beschreibung Überprüfung () RV-Adapter (Gaseinlassanschluss)  O-Ringe  Klebedichtung *  Die Klebedichtung ist für den Anschluss des Adapters nicht erforderlich. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 10: Prüfung Der Eignung Des Ventils

    3. Siehe Detail B. Schrauben Sie die Kupplungsmutter (12) los und entfernen Sie die kombinierte Ventilbaugruppe (11), die Spule (10) sowie die Filter/Schalldämpfer-Einheit (9) von der Pumpenadapter- Baugruppe (14). Seite 6 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 11: Anbringen Eines Ebv20-Ventils An Eine E2M0.7-, E2M1.5-, E2M2-, E1/E2M5-, E1/E2M8

    8. Netzanschluss 14. Adapter 4. Feder 9. Filter/Schalldämpfer 15. O-Ring 5. Kugel 10. Spulenbaugruppe 16. E2M0.7- oder E2M1.5- 6. Gasballastanschluss 11. Ventilbaugruppe Schmierbüchse © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 12: Anbringen Eines Ebv20-Ventils An Eine Rv3-, Rv5-, Rv8- Oder Rv12-Pumpe

    5. Schieben Sie die Kupplungsmutter (6) auf die Ventilbaugruppe (5) über das Gewinde am Adapter (8) und ziehen Sie sie dann fest. Seite 8 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 13: Anbringen Eines Ebv20-Ventils An Eine Rv3-, Rv5-, Rv8- Oder Rv12-Pumpe

    9. O-Ring 3. Filter/Schalldämpfer 10. RV-Adapter (Gaseinlassanschluss) 4. Spulenbaugruppe 11. O-Ring 5. Ventilbaugruppe 12. O-Ring 6. Kupplungsmutter 13. Gasballastanschluss 7. Drossel oder Einsatz © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 14: Anbringen Eines Ebv20-Ventils An Eine E1/E2M18- Oder E2M28-Pumpe

    6. Schieben Sie die Kupplungsmutter (16) mit dem Gewinde nach unten auf die Ventilbaugruppe (17) über das Gewinde am Adapter (14) und ziehen Sie sie dann fest. Seite 10 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 15: Anbringen Eines Ebv20-Ventils An Eine E1/E2M18- Oder E2M28-Pumpe

    12. Adapter * 19. Filter/Schalldämpfer 6. Sprengring 13. O-Ring * 20. Netzanschluss 7. O-Ring * 14. Adapter Komponenten des E1/E2M18- und E2M28-Adapter-Kits für EBV20 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 16: Anbringen Eines Ebv100S-Ventils An Eine E1M40- Oder E1M80-Pumpe

    Ventilbaugruppe (6) über das Gewinde des Adapters (3) und ziehen Sie sie fest. 5. Achten Sie darauf, dass sich der Gasballastknopf (14) in der vollständig geöffneten Position befindet; siehe hierzu die Betriebsanleitung der Drehschieberpumpe. Seite 12 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 17: Anbringen Eines Ebv100S-Ventils An Eine E1M40/80-Pumpe

    5. Kupplungsmutter 6. Ventilbaugruppe 7. Spulenbaugruppe 8. Netzanschluss 9. Ventileinlass 10. Stopfen 11. Filter/Schalldämpfer 12. Adapter 13. O-Ring 14. Gasballastknopf 15. Gasballastaufnahme © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 18: Anbringen Des Ebv100S (Mit Fernsteuerung Des Gasballasts Und Schalldämpfender Entlüftung Beim Betrieb Der Pumpe Mit Endvakuum)

    Einlass (9) des zweiten EBV100S-Ventils. 5. Achten Sie darauf, dass sich der Gasballastknopf (14) in der vollständig geöffneten Position befindet; siehe hierzu die Betriebsanleitung der Drehschieberpumpe. Seite 14 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 19: Anbringen Eines Ebv300D-Ventils An Eine E2M40/80- Oder E2M175/275-Pumpe

    1/4-Zoll-BSP-Stopfen (10) an der Gasballast-Lageraufnahme (12) an. 5. Achten Sie darauf, dass sich der Gasballastknopf (11) in der vollständig geöffneten Position befindet; siehe hierzu die Betriebsanleitung der Drehschieberpumpe. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 20: Anbringen Eines Ebv300D-Ventils An Eine E2M40/80- Oder E2M175/275-Pumpe

    5. Kupplungsmutter 9. Ventileinlass 2. O-Ring 6. Ventilbaugruppe 10. Stopfen 3. Adapter 7. Spulenbaugruppe 11. Gasballastknopf 4. O-Ring 8. Netzanschluss 12. Gasballastaufnahme Seite 16 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 21: Anbringen Eines Ebv300S-Ventils An Eine E1M175- Oder E1M275-Pumpe

    1/4-Zoll-BSP-Öffnung in der Gasballast-Lageraufnahme. 5. Achten Sie darauf, dass sich der Gasballastknopf (14) in der vollständig geöffneten Position befindet; siehe hierzu die Betriebsanleitung der Drehschieberpumpe. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 22: Anbringen Eines Ebv300S-Ventils An Eine E1M175/275-Pumpe

    12. Adapter 3. Adapter 8. Spulenbaugruppe 13. O-Ring 4. Zentrierring und O-Ring 9. Netzanschluss 14. Gasballastknopf 5. Spannring 10. Ventileinlass 15. Gasballastaufnahme Seite 18 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 23: Anschluss Einer Gasversorgung (Falls Erforderlich)

    2, Ziffer 4) an und ziehen Sie die Schraube (4) fest. 8. Verbinden Sie das Stromversorgungskabel mit einer externen Stromversorgung mit geeigneter Sicherung. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 24: Anschluss Der Stromversorgung An Das Ebv-Ventil

    Abbildung 7 - Anschluss der Stromversorgung an das EBV-Ventil 1. Versiegelungsverschraubung 6. Stromkabel 2. Anschlussblock 7. Phasenanschluss 3. Netzanschluss 8. Nullleiter-Klemme 4. Schraube 9. Erdungs-(Masse-)Klemme 5. Zugentlastungsmutter der Kabelverschraubung Seite 20 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 25: Betrieb

    Stromversorgung zum EBV-Ventil ein. Um den Gasballast-Durchsatz zur Pumpe auszuschalten (d. h. um das EBV-Ventil zu schließen), schalten Sie  die Stromversorgung zum EBV-Ventil aus. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 26 A500-16-882 Issue B Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 22 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 27: Wartung

    Ihr Vakuumsystem nicht richtig funktioniert hat oder wenn das EBV-Ventil Feuer ausgesetzt war. Die Datenblätter von Edwards zur Materialsicherheit für die im EBV-Ventil verwendeten fluorierten Stoffe sind auf Anfrage erhältlich: Wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards.
  • Seite 28 A500-16-882 Issue B Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 24 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 29: Lagerung Und Entsorgung

    Wenn das EBV-Ventil benötigt wird, bereiten Sie es vor und installieren Sie es entsprechend der Beschreibung Abschnitt Entsorgung Entsorgen Sie das EBV-Ventil und alle Bauteile sicher unter Einhaltung aller örtlichen und landesweit gültigen Sicherheits- und Umweltschutzbestimmungen. © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25 Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
  • Seite 30 A500-16-882 Issue B Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 26 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

  • Seite 31: Service Und Zubehör

    Anlagen und Geräte, an denen Wartungs-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards als Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur Ihrer Anlage bereitstellen. Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.
  • Seite 32 A500-16-882 Issue B Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 28 © Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.

Diese Anleitung auch für:

Ebv20Ebv300sEbv300dA500-06-930A500-06-984A500-16-930 ... Alle anzeigen

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