Einführung; Umfang Und Definitionen; Allgemeine Beschreibung - Edwards Is16K Betriebsanleitung

1 Einführung
1.1

Umfang und Definitionen

Diese Betriebsanleitung enthält Informationen zu Installation, Betrieb und Wartung des Vakuum-
Verriegelungsschalters IS16K von Edwards. Lesen Sie die Anleitung aufmerksam durch, bevor Sie den IS16K
installieren bzw. betreiben.
Dieses Handbuch enthält wichtige Sicherheitsinformationen, die die Sicherheitsfunktionen des IS16K ergänzen.
Anleitungen für den sicheren Betrieb werden mit den Signalwörtern WARNUNG bzw. VORSICHT hervorgehoben.
Sie müssen diese Anleitungen befolgen. Die Verwendung der Signalwörter WARNUNG bzw. VORSICHT ist
nachfolgend definiert.
Warnungen sind Hinweise, die unbedingt befolgt werden müssen, um Verletzungen oder den Tod
von Personen zu vermeiden.
Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet, die unbedingt befolgt werden sollten, um Schäden an den
Betriebsanlagen, den damit verbundenen Geräten und Prozessen zu vermeiden.
1.2

Allgemeine Beschreibung

Der Vakuum-Verriegelungsschalter IS16K von Edwards ist für Anwendungen ausgelegt, bei denen die elektrischen
Stromkreise in der Vakuumkammer deaktiviert werden müssen, sobald das Vakuumsystem zur Atmosphäre
belüftet wird.
Typische Anwendungen sind u. a. die Verriegelung von HT- und RF-Stromversorgungen bei
Vakuumbeschichtungssystemen. Der Verriegelungsschalter besteht aus einem positiv wirkenden Mikro-
Unterbrechungsschalter, der durch eine Schnapp-Schaltmembran betrieben wird, um die schnelle Trennung der
Mikroschalterkontakte zu gewährleisten.
Die Membran befindet sich im Vakuum-Schaltergehäuse, das von Atmosphärendruck umgeben und über einen
DN16KF-Flansch mit dem Vakuumsystem verbunden ist. Der absolute Schaltpunktdruck variiert daher zusammen mit
dem Atmosphärendruck.
Der Schaltpunkt kann nicht eingestellt oder manipuliert werden.
© Edwards Limited 2009. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
WARNUNG
VORSICHT
D059-14-882 Issue D
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