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1
JEOL JSM-840A Anleitung zum kostenlosen PDF-Download zur Verfügung: Bedienungsanleitung
JEOL JSM-840A Bedienungsanleitung (23 Seiten)
Rasterelektronenmikroskop
Marke:
JEOL
| Kategorie:
Mikroskope
| Dateigröße: 1.94 MB
Inhaltsverzeichnis
Anleitung für das Bedienen des Rasterelektronenmikroskop „Jeol" JSM-840A
1
Inhaltsverzeichnis
2
1 Betrachten einer Probe
4
Abbildung 1: Schaltpult des Rasterelektronenmikroskops „Jeol" JSM-840A
4
Einschaltvorgang
5
Bilderzeugung
6
Abbildung 2: Turm des Rasterelektronenmikroskops „Jeol" JSM-840A
6
Fokussierung und Astigmatismuskorrektur
8
Abbildung 3: Schaltpult des Rasterelektronenmikroskops „Jeol" JSM-840A
8
Zusammenfassung
9
Thema: Anleitung für das Bedienen des Rasterelektronenmikroskop „Jeol" JSM-840A
4
2 Probenwechsel
10
Vorsichtsmassnahmen
10
Abbildung 4: Probentelleraustauschstab
10
Wechsel
11
Abbildung 5: Schleuse des Rasterelektronenmikroskops „Jeol" JSM-840A
11
Zusammenfassung
12
Elektronenstrahllithographie mit dem Programm „ELPHY Quantum
13
Abbildung 6: Beamblanker des Rasterelektronenmikroskops „Jeol" JSM-840A
13
3 Elektronenstrahllithographie mit dem Programm „ELPHY Quantum“
14
Bilderzeugung auf dem PC
14
Koordinatentransformation
15
Schreibvorlagen Betrachten und Erstellen
16
Schreiben
17
Abbildung 7: Joystick, Probenstrommessgerät, Etc. des Rasterelektronenmikroskops „Jeol
17
Zusammenfassung
19
Abbildung 8: Probe IM Rasterelektronenmikroskops „Jeol" JSM-840A
20
4 Verwendete Materialien und Ergebnisse
20
Abbildung 9: Überbelichtete Chessy-Struktur
21
Abbildung 10: Verzerrte Chessy-Struktur (Quadratgröße: 0,7ΜM)
22
Abbildung 11: Gelungene Chessy-Struktur
22
5 Abbildungsverzeichnis
23
6 Literaturverzeichnis
23
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