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Luftkühlung; Montage Der Luftkühlung; Elektrischer Anschluß - Pfeifer Vacuum TPH 062 Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

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Um Korrosionsschäden zu vermeiden,
sind folgende Anforderungen an das
Kühlwasser einzuhalten:
Wasser filtriert, mechanisch rein,
optisch klar, ohne Bodensatz, ohne
Trübung, chemisch neutral.
Min. Sauerstoffgehalt
Max. Chloridgehalt
Max. Karbonat-Härte
Max. Kaliumpermanganat-
verbrauch
pH-Wert
Vorlaufüberdruck
Aggressive Kohlensäure und
Ammoniak dürfen nicht nachweisbar
sein.
Hinweis:
Werden die aufgeführten Werte über-
oder unterschritten und treten deshalb
Störungen oder Schäden an den von
uns gelieferten Anlagen auf, sind wir
von jeglicher Haftung aufgrund solcher
Störungen oder Schäden befreit.
4.4.2 Luftkühlung
– Die Turbopumpe kann auf Luftküh-
lung umgestellt werden.
– Die max. Umgebungstemperatur darf
bei Einsatz einer Luftkühlung 35°C
nicht überschreiten!
– An der Antriebselektronik
TCP 121/380 und TCP 015 sind
Anschlußmöglichkeiten für die
Luftkühlung vorgesehen. (die An-
schlüsse sind nach den Schaltplänen
in der Betriebsanleitung der Antriebs-
elektronik vorzunehmen).
– Luftkühlung siehe 9 Zubehör.
4.4.2.1 Montage der Luftkühlung
Fig. 11
– Turbopumpe auf den Hochvakuum-
flansch 1 stellen (Achtung, Dicht-
fläche!) und Gummifüße 27 (siehe
Fig. 21) herausschrauben.
– Halter 12 so anschrauben, daß die
Anschraubfläche des Lüfters 51
parallel zur Achse Vorvakuumflansch-
Flutanschluß liegt.
– Luftkühlung an Halter 12 mit vier
Schrauben (M5) 13 und Federrin-
gen 14 an die Turbopumpe anschrau-
ben.
Elektrischer Anschluß:
Der elektrische Anschluß ist nach den
Schaltplänen in der Betriebsanleitung
der entsprechenden Antriebselektronik
auszuführen.
14
To avoid corrosion damages, the
following requirements for the cooling
water must be met:
Water filtered, mechanically clean,
optically clear, without deposits,
without turbidity, chemically neutral.
4 mg/kg
Minimum oxygen cont
100 mg/kg
Maximum chloride content 100 mg/kg
10° dH
Maximum carbonate
hardness
10 mg/kg
Maximum consumption of
7-9
potassium permanganate
max. 6 bar
pH-value
Supply excess pressure up to 6 bar
No aggressive carbon dioxide and
ammonia should be detectable.
Please note:
If the actual values are above or below
the values indicated above and if
trouble or damage occurs on the
systems delivered by us, we will
assume no liability for such trouble or
damage.
4.4.2 Air Cooling
– The turbo pump can be converted to
air cooling.
– The maximum ambient temperature
must not exceed 35°C if air cooling is
used.
– Connections for air cooling are
provided on the TCP 121/380 and
TCP 015 electronic drive unit (the
connections must be made in
accordance with the wiring diagram
in the operating instructions of the
electronic drive unit).
– For air cooling, please se Section 9,
Accessories.
4.4.2.1 Installing the Air Cooling
System
Fig. 11
– Place the turbo pump on high
vacuum flange 1.(Take care of the
sealing surface!). Unscrew rubber
legs 21 (see Fig. 21).
– Screw on holder 12 in such a way
that the screw-on surface of fan 51 is
positioned parallel to the axis of the
fore-vacuum and venting connection.
– Screw air cooling onto the holder 12
with four M5 screws 13 and spring
washers 14 onto the turbopumpe.
Electrical connections:
Eletrical connections shoud be carried
out as per the wiring diagram of the
operating instructions for the electronic
drive unit.
Afin d'éviter des dommages dus à la
corrosion, l'eau de refroidissement doit
répondre aux exigences suivantes:
eau filtrée, mécaniquement pure,
optiquement claire, sans dépôts,non
brouillée, chimiquement neutre.
4 mg/kg
Quantité d'oxygène min.
Quantité de chlorures max. 100 mg/kg
Dureté de carbonate max.
10° dH
Consommation en perman-
ganate de potassium
10 mg/kg
Valeur pH
7-9
Surpression de l' amenée
d'eau jusqu'à
Ni gaz carbonique agressif ni ammon-
iaque ne doivent être détectables.
Remarque:
Si les valeurs mentionnées ne sont pas
atteintes ou sont dépassées, entraînant
des défaillances ou des dommages des
installations livrées par nos soins, nous
sommes dégagés de toute
responsabilité quant à ces défaillances
ou dommages.
4.4.2 Refroidissement à l'air
– La pompe turbo peut être commutée
sur le refroidissement à l'air.
– La température ambiante maxi. lors
de l'utilisation d'un refroidissement à
l'air ne doit pas excéder 35°C!
– Des possibilités de raccordement
pour le refroidissement à l'air sont
prévues sur les commandes
d'entraînement TCP 121/380 et
TCP 015 (les raccordements doivent
être effectués conformément aux
schémas des connexions des
instructions de service de
l'électronique d'entraînement).
– Refroidissement par air voir 9,
accessoires.
4.4.2.1 Montage du dispositif de
refroidissement à l'air
Fig. 11
– Poser la pompe turbo sur la bride de
vide élevé 1( Attention à la surface
d'étanchéité!). Dévisser les pieds en
caoutchouc 27 (voir Fig. 21) des
alésages filetés.
– Metre la vis sur le support 12 afin que
la surface à visser du ventilateur 51
soit parallel à l'axe de la bride de
vide primaire et raccordement de
remise à l'air.
– Visser le refroidissement par air avec
quatre vis 13 (M5) au support et les
rondelles ressorts 14 á la pompe
turbo.
Branchement électrique:
Le branchement doit être effectué
conformément aux schémas
électroniques des instructions de
service de l'électronique
d'entraînement.
4 mg/kg
10° dH
10 mg/kg
7-9
max. 6 bar

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