Symbole Der Vakuumtechnologie; Begriffsdefinitionen - Edwards Eld500 Betriebsanleitung

Symbole der Vakuumtechnologie

Nachfolgend finden Sie einige wichtige Symbole, die in dieser Betriebsanleitung verwendet
werden.
Vakuumpumpe allgemein
Turbomolekularpumpe
Messgerät
Ventil

Begriffsdefinitionen

Begriff
Auto-Ranging
Massenanpassung
Auto-Null
GROSS
D135-10-882_D - Sicherheit
Beschreibung
Der Bereich des Vorverstärkers und die Vakuumbereiche
werden automatisch ausgewählt.
Die Auto-Ranging-Funktion des ELD500 deckt den
gesamten Bereich oder die Leckraten gemäß dem
ausgewählten Betriebsmodus ab. Nicht nur das
Leckratensignal, sondern auch der Druck in der
Testprobe (Einlassdruck P1) und der Vorvakuumdruck
(P2) werden für Kontrollzwecke verwendet. Der
Wechsel zwischen den Hauptbereichen erfolgt über
Ventile. Der Feinbereichswechsel innerhalb der
Hauptbereiche erfolgt durch Wechsel des
Verstärkungsfaktors des Vorverstärkers.
Diese Funktion sorgt für die automatische Anpassung
des Massenspektrometers, sodass eine maximale
Leckrate angezeigt wird. Der Steuerprozessor ändert
die Spannung, wodurch die Ionen im ausgewählten
Massenbereich beschleunigt werden, bis der
Ionendetektor einen maximalen Ionenstrom erkennt.
Die Massenanpassung wird bei jeder Kalibrierung
automatisch durchgeführt.
Bestimmung und automatische Anpassung des
internen Hintergrunds.
Mit dieser Funktion wird die interne Null-Stufe des
Geräts bestimmt, die dann vom aktuellen
Leckratensignal abgezogen wird. Diese Funktion wird
während des Kalibrierungsvorgangs oder bei
Betätigung der Starttaste durchgeführt, vorausgesetzt,
der ELD500 wurde vorher mindestens 20 Sekunden
lang im Standby- oder im Belüftungsmodus betrieben.
GROSS ist ein Messmodus, der einen hohen
Einlassdruck (15 bis 0,2 mbar) erlaubt. Die kleinste
nachweisbare Leckrate ist 1 x 10
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mbar l/s.