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LEYBOLD COOLVAC Gebrauchsanleitung

Profibus-modul
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COOLVAC
ProfiBus-Modul
Gebrauchsanleitung 300358931_001_C1
Kat.-Nummer
844000V1
OFF Cryo warm:
Status Bit 3 = 1
ON Cool Down:
Status Bit 9 = 1
Control Bit 9 = 1
Control Bit 0 = 1
Control Bit 4 = 0
Control Bit 9 = 1
Control Bit 0 = 0
Control Bit 4 = 1
Control Bit 0 = 1
Control Bit 4 = 0
Pumpe
aufgewärmt
Control Bit 9 = 1
OFF Warm up:
Status Bit 10 = 1
Control Bit 0 = 1
Control Bit 4 = 1
Total Regen.:
Status Bit 5 = 1
bewirkt, dass
Control Bit 4 = 0
werden soll
Control Bit 0 = 0
Control Bit 4 = 0
Control Bit 9 = 1
Pumpe
eingekühlt
ON Cryo Ready:
Status Bit 1 = 1
Control Bit 0 = 1
Control Bit 4 = 1
Control Bit 0 = 0
Control Bit 4 = 0

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD COOLVAC

  • Seite 1 COOLVAC ProfiBus-Modul Gebrauchsanleitung 300358931_001_C1 Kat.-Nummer 844000V1 ON Cool Down: Status Bit 9 = 1 Control Bit 9 = 1 Control Bit 0 = 1 Control Bit 0 = 1 Control Bit 4 = 1 Control Bit 4 = 0 Pumpe eingekühlt...

  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    Beispiele für 16 Bit Steuerworte (PPO-Typ 1 und 6) EG-Konformitätserklärung Einbau und Bedienung des COOLVAC SC oder des COOL.DRIVE werden in den Gebrauchs anleitungen zum Pumpsystem beschrieben, z. B. GA12145 für die COOLVAC ClassicLine oder 300373558 für die COOLVAC iCL.

  • Seite 3: Sicherheitshinweise

    Informationspflicht HINWEIS Diese Gebrauchsanleitung vor der Installation und Inbetrieb nahme des COOLVAC ProfiBus-Moduls sorgfältig lesen und befolgen, um so von Anfang an ein optimales und sicheres Arbeiten zu gewährleisten. Das COOLVAC ProfiBus-Modul von Leybold gewährleistet bei richtigem Einsatz und Beachtung der in dieser Gebrauchs anleitung enthaltenen Anweisungen einen sicheren und ordnungsgemäßen Betrieb.

  • Seite 4: Wichtige Sicherheitshinweise

    Gerät arbeiten. Der Bediener muss das Gerät mindestens einmal pro Schicht auf äußerlich erkennbare Schäden oder Mängel prüfen. Erkannte Veränderungen einschließlich des Betriebsverhaltens, die die Sicherheit beeinträchtigen, sofort dem Beauftragten des Betreibers melden. 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 5: Elektrische Gefährdung

    (am Netzteil). Da trotzdem noch gefährliche Spannungen auftreten können, das Gerät nur von einem Elektro- fachmann öffnen lassen. Gefahr von Schäden am Gerät Bei unsachgemäßem Anschluss der ausgangsseitigen Beschaltung HINWEIS kann ein dann auftretender Kurzschluss das Gerät zerstören. 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 6: Profibus Dp

    Slaves und fordern Daten von diesen an. Es besteht die Möglichkeit, einen oder mehrere Master in einem System zu betreiben. Das COOLVAC ProfiBus-Modul ist ein Slave-Gerät und reagiert damit auf Master-Anforderungen und liefert Daten nur nach Anfragen vom Master.

  • Seite 7: Funktionen Der Leds

    LED ST Gerät tauscht ProfiBus-Daten aus blinkt gelb Gerät im Clear-Modus, wartet auf ProfiBus-Masterinitialisierung leuchtet rot Interner Fehler blinkt rot ProfiBus-Adresse außerhalb des gültigen Bereichs LED DP Gerät offline leuchtet grün Gerät tauscht ProfiBus-Daten aus 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 8: Anschluss

    Den RS-232-Anschluss des ProfiBus-Moduls über das mitgelieferte Kabel am COOL.DRIVE (X5) anschließen. An den ProfiBus-Leitungsenden ist ein Abschluss widerstand erforderlich. Die ProfiBus-Stecker und das ProfiBus-Modul (siehe Abb. 2) haben Abschluss- wider stände integriert. Beim ProfiBus-Modul ist der Abschlusswiderstand bei Auslieferung aus. 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 9 ProfiBus-Stecker und das ProfiBus-Modul (siehe Abb. 2) haben Abschluss- widerstände integriert. Beim ProfiBus-Modul ist der Abschlusswiderstand bei Auslieferung aus. Den COOLVAC SC (Kat.-Nr. 844230) auf die Baudrate = 9600 und das Interface = Remote einstellen, damit die Kommunikation zum ProfiBus-Modul läuft.
  • Seite 10 Anschluss Entweder 1) oder 2) RS 232 1) RS 232 2) Anlagen- steuerung Pro Bus Ethernet (z. Z. nicht implementiert) 24 V Cryo-Bus CRYO-Bus Abb. 5 Steuerungsoptionen für eine Pumpe und eine Kompressor-Einheit 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 11 Anschluss 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 12 CRYOVISION. SLAVE 3 SLAVE Anlagen- SLAVE MASTER steuerung Pro Bus SLAVE SLAVE MASTER Cryo-Bus Abb. 7 Steuerungsoptionen für eine COOLVAC 30 000 iCL (COOLVAC 18 000 iCL und COOLVAC 60 000 iCL ähnlich) 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 13: Beschreibung Des Telegramms

    Länge des Nutzdatenblocks: 1 Wort = 2 Byte Kennung = 0x00, 0xF0 (siehe 3.3 GSD-Datei) Byte-Nr. Kürzel Beschreibung Lese- Schreib- Antwort zugriff zugriff COOLVAC Pumpe Pumpe PZD1: Status- und Wert (siehe 4.2) Steuerbits und Pumpenadresse 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 14: Gsd-Datei (Beispiel)

    Das Dateiformat ist in der Norm festgelegt, so dass Projektierungswerkzeuge von verschiedenen Herstellern benutzt werden kön- nen. Die aktuelle GSD ist auf Anfrage bei Leybold erhältlich oder kann von der Leybold-Homepage heruntergeladen werden. Zusätzlich ist der Inhalt der GSD im folgenden dokumentiert.

  • Seite 15: Beschreibung Von Pke, Ind, Steuer- Und Statusbits

    Feldtiefen, welche über den Index abgefragt und ggf. auch geschrieben wer- den können. Byte i Byte i+1 Bit-Nr. Parameternummer reserviert Art des Parameter-Zugriffs Abb. 8 PKE: Parameternummer und Art des Zugriffs (nur PPO-Typ 1) 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 16 0000 0110 0000 SLAVE  MASTER 0010 0010 0000 0000 0000 0000 0011 0111 1000 0011 0100 1100 Hauptistwert T1 =100k, T2 =12K Pumpe #1, Cryo Ready, Power up1Para 514 = 03E7 = 99.9K 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 17: Status- Und Steuerbits (Status- Und Steuerwort) Profibus Ppo-Typ 1 Und

    (Bei steigender Flanke wird der Init ausgelöst) Aktiviert Prozessdaten (Änderungen an Bit 0, 4, 5 und 6 werden nur angenommen, wenn Bit 10 gesetzt ist) Kryopumpen-Adresse Bit 0 Kryopumpen-Adresse Bit 1 Kryopumpen-Adresse Bit 2 Kryopumpen-Adresse Bit 3 Kryopumpen-Adresse Bit 4 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 18: 4.2.2 Statuswort (Pzd1, Zsw) = 16 Zustandsbits

    Kryopumpen-Adresse Bit 2 Kryopumpen-Adresse Bit 3 Kryopumpen-Adresse Bit 4 * Bit-Nr. 4 “Cryo Fehler” liegt auch an, wenn im Service Mode des COOLVAC SCs der “COOLVAC Reset” = Step 999 angewählt wurde. Erläuterungen zum Betrieb Das Steuerrecht für die die Ansteuerung der Pumpe über die ProfiBus- Schnittstelle wird automatisch bei Setzen des Bit 10 im Steuerwort (siehe Abschnitt 4.2.1) eingeholt.
  • Seite 19 (1. Stufe) und 515 (2. Stufe) abfragen (siehe Abschnitt 4.3). Den aktuellen Druck in mtorr holt man über über den Parameter 516 ab. Beim COOL.DRIVE kann der Druck zusätzlich bei Parameter 616 in mbar abgefragt werden (float-Wert). 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 20 („CRYO READY“) erreicht hat (Bit 10), ob die Pumpe warm ist (Bit 16) und ob gerade eine Regeneration läuft (Bit 26). Manche Fehler oder Warnungen benötigen einen Reset. Hierzu dient das USS-Steuerbit 7. Bitte beachten Sie auch alle weiteren möglichen USS-Parameter im Abschnitt 4.3. 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 21: Parameterliste

    Kennzeichnung nach Stromausfall 0 ... 2 0 = Kryo bereit 1 = Abkühlen 2 = Regenerieren Fehlercode 0 ...3 0 = Kein Fehler 1 = Sammelfehler an Coolvac 2 = Timerüberlauf 3 = Regeneration manuell abgebrochen 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 22 1 ... 2^16 Seriennummer bei COOLVAC SC 1 ... 2^32 Seriennummer der Pumpe (11-teilig) bei 0 … 127 COOL.DRIVE, pro Index ein ASCII-Wert Abfrage der Indexe im USS-Indexbyte (Byte 2) Indextiefe 00 … 17 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 23 Anzahl der Stunden seit der letzten 1 ... 2^16 Schnellregeneration lesen Netzspannungsstatus lesen 1 ... 2^16 (bei COOLVAC iCl keine Bedeutung - Antwortwert immer 0) Parameter 551 bis 678 gelten nur für den COOL.DRIVE CoolDrive Statusdoppelwort (abgeleitet vom 0 … 2^32 RS232-Befehl 'Stat') Bit Funktion, Bit = 1, wenn ...
  • Seite 24 (ROR)) 183 ROR-Prozedur (ROR-checktimer von 60s (ROR)) 184 ROR-Prozedur (Berechnete ROR-delta time (ROR)) 185 ROR-Prozedur (ROR Ende; wenn ROR-counter zu hoch wird ein Fehler erzeugt (ROR)) Vorevakuierung (roughing) Ende Vorevakuierung (roughing) Cryo warm 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 25 (entspricht Temperaturwert x 10 (Kelvin) 17 K) Temperatur der ersten Stufe auslesen bei 0 … 3500 COOLVAC iCL 18 000 oder größer Auflösung Temperaturwert x 10 (Kelvin) Abfrage mit Pumpenadresswert im USS-Indexbyte (Byte 2) Temperatur der zweiten Stufe auslesen bei 0 …...
  • Seite 26 Externer Fehler Interner Fehler Fehlerrücksetzen: Fehler wird automatisch zurückgesetzt, wenn die- ser behoben wurde Cool.Drive bitte abschalten und den Fehler behe- Je nach Parametrierung (gilt für den Eingang Ext. Fehler – zurzeit noch nicht bereitgestellt 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 27 0 = Modus deaktivert [bei Netzausfall geht das System in den Bereitschaftsschritt 99]) Service-Mode aktivieren/deaktivieren 0 … 1 Zustand des Vorvakuumventils im Service-Mode: 0 … 1 (0 = VV-Ventil zu, 1 = VV-Ventil auf)» 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 28 Abfrage mit Pumpenadresswert im USS-Indexbyte (Byte 2) (Erklärung Fehlernummern siehe Parameter 564) Warnungsnummer bei Pumpenadresse xx auslesen 0 … 999 bei COOLVAC iCL 18 000 oder größer Abfrage mit Pumpenadresswert im USS-Indexbyte (Byte 2) (Erklärung Fehlernummern siehe Parameter 565) Alarmspeicherlogbuch: Status und Typ 0x31 …...
  • Seite 29 Zu griff meter Beschreibung PB-Wert wert Request Answer Alarmspeicherlogbuch bei COOLVAC iCL 18 000 00 … 999 oder größer Warnungs- oder Fehlernummer Abfrage mit Logbucheintragsnummer im USS- Indexbyte (Byte 2) Indextiefe 00 … 49 Alarmspeicherlogbuch bei COOLVAC iCL 18 000 0x31 …...

  • Seite 30: Beispiele Für 16 Bit Steuerworte (Ppo-Typ 1 Und 6)

    Power up mit Parameter 513 noch nicht bestätigt. 18578 4892h 0100 1000 1001 0010 Pumpe Adr. 09, Pumpe mit Fehler, Status Cryo Ready, Power up mit Parameter 513 schon bestätigt. Wird bei jedem Zugriff an das ProfiBus-Modul gesendet. 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 31 Temperaturmesswerte T1 und T2 Dezi- Hexa- mal- dezimal- Bit-Nr. wert wert Beschreibung T1 = >255K Hauptistwert T1 und T2 T2 = 119 FF77h 1111 1111 0111 0111 vom Slave zum Master (Bereich 0 - 255K!) 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 32: Eg-Konformitätserklärung

    PKE, IND, Bits 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...
  • Seite 33 Notizen 300358931_001_C1 - 07/2018 - © Leybold...

  • Seite 34: Vertriebs- Und Servicenetz

    Vertriebs- und Servicenetz Deutschland Amerika Großbritannien Leybold Japan Co., Ltd. Tsukuba Technical Service Center 1959, Kami-yokoba Leybold UK LTD. Leybold GmbH Tsukuba-shi, Ibaraki-shi 305-0854 Unit 9 Bonner Straße 498 Japan Silverglade Business Park D-50968 Köln Leybold USA Inc. Service: Leatherhead Road...

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