Spectron Spectrocem BE55+56-SP Betriebsanleitung Seite 14

4 | Aufbau und Funktion
Folgende Bereiche und Funktionen sind nicht im Leistungsumfang von Spectron errichtet wor-
den:
– andere Anlagen, Leitungen und Installationen der Gesamtanlage
– Prozessgasquelle
– Abluft (dies gilt insbesondere für vorhersehbare Probleme, z.B. einen Ausfall des Abluftsys-
tems)
– Versorgung mit Hilfsmedien (Druckluft, Spülgas)
– Versorgung mit Strom
– Beleuchtung
– Steuerung
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Spectron Gas Control Systems GmbH
GDS_BE55+56-SP_0520