Verwandte Anleitungen für INFICON TripleGauge BCG450
Inhaltszusammenfassung für INFICON TripleGauge BCG450
- Seite 1 Gebrauchsanleitung TripleGauge™ Bayard-Alpert Pirani Capacitance Diaphragm Gauge BCG450 BCG450-PN BCG450-SD BCG450-SE BCG450-SP tina40d1-e (2020-06)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. INFICON AG, LI-9496 Balzers Model: Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern BCG450 (ohne Anzeige) 353-550 (Vakuumanschluss DN 25 ISO-KF) -
Seite 3: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Der Messröhrenabgleich erfolgt automatisch. Ein manueller Nachabgleich ist nicht erforderlich. Eine Atmosphärenschaltfunktion erlaubt die Definition einer programmierbaren Atmosphärenschaltschwelle. Marken DeviceNet™ Open DeviceNet Vendor Association, Inc. TripleGauge™ INFICON AG, Balzers ® EtherCAT Beckhoff Automation GmbH, Deutschland ® Profibus Profibus Nutzerorganisation eV, Deutschland ®... -
Seite 4: Inhaltsverzeichnis
3.1 Vakuumanschluss 3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen 3.1.2 Optionales Baffle einbauen / ausbauen 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit einem INFICON Vacuum Gauge Controller VGC40x / VGC50x 3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 3.2.2.1 Messkabel anfertigen 3.2.2.2 Anfertigung zweier Profinet-Schnittstellenkabel (BCG450-PN) 3.2.2.3 DeviceNet-Schnittstellenkabel anfertigen (BCG450-SD) - Seite 5 4.13 Schaltfunktionen (BCG450-PN, -SD, -SE, -SP) 4.13.1 Schaltfunktionen einstellen (BCG450-PN) 4.13.2 Schaltfunktionen einstellen (BCG450-SD, BCG450-SP) 4.13.3 Schaltfunktionen einstellen (BCG450-SE) 5 Ausbau 6 Instandhaltung, Instandsetzung 6.1 Wartung 6.1.1 Messröhre reinigen 6.2 Messröhrenabgleich 6.3 Abgleich des Atmosphärensensors 6.4 Verhalten bei Störung 6.5 Sensor austauschen 7 Optionen 8 Ersatzteile 9 Produkt lagern...
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Seite 6: Sicherheit
1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umweltschäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis Tip, Empfehlung Das Ergebnis ist in Ordnung. Das Ergebnis ist nicht erwartet. -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. 1.4 Verantwortung und INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber Gewährleistung oder Drittpersonen dieses Dokument missachten •... -
Seite 8: Technische Daten
2 Technische Daten Messprinzip Druckbereich 10 … 1500 mbar Kapazitiver Membran-Sensor 1 … 10 mbar Mischbereich 2×10 … 1 mbar Wärmeleitung nach Pirani 5×10 … 2×10 mbar Mischbereich 5×10 … 5×10 mbar Heißkathoden-Ionisation (BA) Messbereich Messbereich (Luft, O CO, N 5×10 …... - Seite 9 Die Messröhre darf nur an Speise- / Anzeigegeräte oder Steuerungen angeschlossen werden, die den Anforderungen der geerdeten Schutz- kleinspannung entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusi- chern (INFICON Vacuum Gauge Controller erfüllen diese Forderun- gen). Versorgungsspannung an der +24 V (dc) (+20 … +28 V (dc)) Messröhre...
- Seite 10 Anschluss elektrisch D-Sub-Stecker ,15-polig, Stifte BCG450 → 20 BCG450-PN, -SD, -SE, -SP → 21 Messkabel abgeschirmt, Anzahl Adern abhängig von den verwendeten Funktionen, max. 15-polig plus Abschirmung Leitungslänge (Speisung 24 V Analog- und Feldbusbetrieb ≤35 m (0.25 mm² Leiterquerschnitt) ≤50 m (0.34 mm²...
- Seite 11 Profinet-Schnittstelle Bezeichnung Profinet (BCG450-PN) Gültige Spezifikation, Datenformat, Kommunikationsprotokoll → [5] Übertragungsrate 100 Mbps Schnittstelle physikalisch 100Base-Tx (IEEE 802.3) Ethernet-Anschluss 2×RJ45, 8-polig, Buchsen <IN>: Profinet Eingang <OUT>: Profinet Ausgang Kabel 8-poliges abgeschirmtes Ethernet Patchkabel (Qualität CAT5e oder höher) Kabellänge ≤100 m DeviceNet-Schnittstelle Bezeichnung DeviceNet...
- Seite 12 Profibus-Schnittstelle Bezeichnung Profibus (BCG450-SP) Gültige Spezifikation → [10] Kommunikationsprotokoll, Datenformat → [3], [10] Schnittstelle physikalisch RS485 Übertragungsrate ≤12 MBaud (→ [3]) Geräteadresse lokal (mit hexadezimalen Schaltern "ADDRESS, MSD, LSD" einstellbar) 00 … 7D (0 … 125 ab Werk über Profibus ("ADDRESS"...
- Seite 13 Zulässige Temperaturen Umgebung Lagerung -20 … 70 °C Betrieb 0 … 50 °C Ausheizen +80 °C (am Vakuumanschluss, Elek- tronikeinheit abgenommen, horizontale Einbaulage) Relative Feuchte (Jahresmittel / an 60 Tagen) ≤65 / 85% (nicht kondensierend) Verwendung nur in Innenräumen Höhe bis 2000 m NN Einbaulage beliebig Schutzart...
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Seite 14: Einbau
3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. GEFAHR Überdruck im Vakuumsystem >2.5 bar Bei KF-Flanschverbindungen können elastomere Dichtungen (z.B. - Seite 15 Vorgehen Schutzkappe entfernen. Schutzkappe wird bei Instandhaltungsarbeiten benötigt. Vakuumanschluss herstellen. Wir empfehlen kein Vakuumfett zu verwenden. Dichtung mit Zenterring oder Dichtung mit Zenterring und Baffle (Option) Bauen Sie die Messröhre so ein, dass für die Einstellarbeiten im einge- bauten Zustand die Zugänglichkeit mit den vorgeschriebenen Werkzeu- gen gewährleistet ist (→...
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Seite 16: Elektronikeinheit Abnehmen / Aufsetzen
3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen Benötigtes Werkzeug / Innensechskantschlüssel SW 2.5 • Material Elektronikeinheit abnehmen Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) lösen. Elektronikeinheit ohne Drehbewegung abnehmen. Elektronikeinheit aufsetzen Elektronikeinheit (2) auf den Sensor (3) aufsetzen (Orientierung der Nut (4) und der Steckerstifte beachten). -
Seite 17: Optionales Baffle Einbauen / Ausbauen
Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem Innensechskant- Gewindestift arretieren. 3.1.2 Optionales Baffle Bei stark verschmutzenden Prozessen und wenn die Messelektroden optisch ge- einbauen / ausbauen gen Licht und schnelle Ladungsträger geschützt werden müssen, empfiehlt es sich, das standardmäßig eingebaute Gitter durch das optionale Baffle (→ 56) zu ersetzen. -
Seite 18: Elektrischer Anschluss
Das Baffle mit dem Schraubendreher vorsichtig entfernen. 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit einem Für den Betrieb mit einem INFICON Vacuum Gauge Controller VGC40x / VGC50x INFICON Vacuum Gauge wird ein entsprechendes Messkabel benötigt (www.inficon.com). Dieses Kabel erlaubt die Speisung der Messröhre, das Übertragen von Messwerten und Controller VGC40x / Gerätezuständen sowie das Einstellen von Geräteparametern. -
Seite 19: Verwendung Mit Anderen Auswertegeräten
Das andere Ende des Messkabels an das VGC40x / VGC50x anschließen und sichern. Die Messröhre kann jetzt zusammen mit einem INFICON Vacuum Gauge Controller VGC40x / VGC50x in Betrieb genommen werden. 3.2.2 Verwendung mit anderen Die Messröhre kann auch mit einem anderen Auswertegerät betrieben werden. - Seite 20 Messkabelanschluss BCG450 Atmosphärendruck erreicht RS232 Degas Degas Messsignal 1.25 AT 42 k Ω Ident. Masse 24 V-Speisung 15-pol. D-Sub, Erde (Gehäuse, Vakuumanschluss) Buchsen, lötseitig Elektrischer Anschluss Pin 1 Relais "Atmosphärendruck erreicht" Arbeits- kontakt (NO) Pin 2 Messsignalausgang 0 … +10.13 V Pin 4 Relais "Atmosphärendruck erreicht"...
- Seite 21 Messkabelanschluss BCG450-PN, -SD, -SE, -SP SP A Schwellwerte SP B SP A SP B Degas Degas Messsignal 1.25 AT 42 k Ω Ident. Masse 24 V-Speisung 15-pol. D-Sub, Buchsen, Erde (Gehäuse, Vakuumanschluss) lötseitig Elektrischer Anschluss Pin 1 Relais Schaltfunktion A, Arbeitskontakt (NO) Pin 2 Messsignalausgang 0 …...
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Seite 22: Anfertigung Zweier Profinet-Schnittstellenkabel (Bcg450-Pn)
Bei Leitungslängen bis 5 m (bei 0.34 mm Leiterquerschnitt) kann das Messsignal direkt zwischen positivem Signalausgang (Pin 2) und Spei- sungserde (Pin 5) gemessen werden. Bei größerer Leitungslänge wird differentielle Messung zwischen Signalausgang (Pin 2) und Signal- masse (Pin 12) empfohlen. ... -
Seite 23: Devicenet-Schnittstellenkabel Anfertigen (Bcg450-Sd)
Ethernet-Kabel (und Messkabel) an die Messröhre anschließen: Das Ether- net-Kabel vom Ausgang <OUT> des Vorgängergerätes am Eingang <IN> des BCG450-PN, und das Kabel vom Ausgang <OUT> des BCG450-PN am Eingang <IN> des Folgegerätes anschließen. FCC68-Kabel Ausgang <OUT> FCC68-Kabel Eingang <IN> Messkabel ... -
Seite 24: Anfertigung Zweier Ethercat-Schnittstellenkabel (Bcg450-Se)
DeviceNet-Kabel (und Messkabel) an die Messröhre anschließen. DeviceNetkabel Messkabel DeviceNet-Kabeldose (und Messkabeldose) verriegeln. Die Messröhre kann jetzt mit der DeviceNet-Schnittstelle in Betrieb ge- nommen werden (→ 41). 3.2.2.4 Anfertigung zweier Falls keine solche Kabel vorhanden sind, müssen dieses gemäß folgenden Anga- EtherCAT-Schnittstellen- ben hergestellt werden. -
Seite 25: Profibus-Schnittstellenkabel Anfertigen (Bcg450-Sp)
Ethernet-Kabel (und Messkabel) an die Messröhre anschließen: Das Ether- net-Kabel vom Ausgang <OUT> des Vorgängergerätes am Eingang <IN> des BCG450-SE, und das Kabel vom Ausgang <OUT> des BCG450-SE am Eingang <IN> des Folgegerätes anschließen. FCC68-Kabel Ausgang <OUT> FCC68-Kabel Eingang <IN> Messkabel ... -
Seite 26: Optionales 24 V (Dc)-Netzteil Verwenden (Mit Rs232C-Leitung)
Profibus-Kabel (und Messkabel) an die Messröhre anschließen. Messkabel Profibuskabel Profibus-Kabelstecker (und Messkabeldose) verriegeln. Die Messröhre kann jetzt mit der Profibus-Schnittstelle in Betrieb genom- men werden (→ 44). 3.2.3 Optionales 24 V (dc)- Die Verwendung der optionalen 24 V (dc) Netzteils (→ 56) ermöglicht den Netzteil verwenden RS232C-Betrieb der BCG450-Messröhren mit einem beliebigen, dafür geeigneten Auswertegerät. - Seite 27 Schema Netzteil anschließen Das Netzteil an die Messröhre anschließen und die Kabeldose mit den Schrauben verriegeln. Das RS232C-Kabel an das Auswertegerät anschließen und die Kabeldose mit den Schrauben verriegeln. RS232C Netz Netzteil BCG450 Netzteil an das Netz anschließen. Die Messröhre kann nun mit der RS232C-Schnittstelle in Betrieb genom- men werden (→...
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Seite 28: Betrieb
4 Betrieb 4.1 Messprinzip, Die BCG450-Messröhren enthalten drei separate Messsysteme (Heißkathoden- Messverhalten Ionisations-Sensor nach Bayard-Alpert (BA), Pirani-Sensor und einen kapazitiven Membran-Sensor). Bayard-Alpert (BA) Das BA–Messsystem besitzt ein Elektrodensystem nach Bayard-Alpert, welches auf eine niedrige Röntgengrenze ausgelegt ist. Das Messprinzip dieses Messsystems beruht auf der Gasionisation. Von der Heiß- khatode (F) emittierte Elektronen ionisieren eine dem Druck im Messraum propor- tionale Anzahl Moleküle. -
Seite 29: Messbereich
Prinzipschaltbild Pirani-Sensor Die Brückenspannung V ist ein Maß für den Gasdruck und wird elektronisch wei- terverarbeitet (Linearisierung, Digitalisierung). Kapazitiver Membran-Sensor Ein kapazitiver Membran-Sensor besteht aus einer Referenzvakuumkammer, die gegen den gemessenen Gasdruck mit einer Keramikmembrane abgeschlossen ist und einem Elektrodensystem. Bei einem Druckunterschied an der Membrane wird diese ausgelenkt und verursacht eine Kapazitätsänderung zwischen den Elektro- den (→... -
Seite 30: Gasartabhängigkeit
Gasartabhängigkeit Durch die Verwendung des Kapazitiven Membran-Sensors im oberen Druck- bereich wird eine geringe Gasartabhängigkeit erreicht. Druckbereich Messprinzip Gasartabhängigkeit Kapazitiver gasartunabhängig, keine Korrektur 10 … 1500 mbar Membran-Sensor erforderlich Kapazitiver 1 … 10 mbar Membran-Sensor Mischbereich und Pirani-Sensor 2×10 … 1 mbar Pirani-Sensor Pirani-Sensor 5×10... -
Seite 31: Inbetriebnahme
4.3 Inbetriebnahme Nach dem Anlegen der Speisespannung (→ Technische Daten) steht zwischen den Anschlüssen 2 (+) und 12 (–) am Messkabelstecker das Messsignal zur Ver- fügung (Beziehung zwischen Messsignal und Druck → Anhang A). Eine Stabilisierungszeit von ca. 10 min. ist zu beachten. Die Messröhre sollte un- abhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben. -
Seite 32: Emission Control Mode
4.5 "Emission Control Mode" Allgemein Die Funktion "Emission Control Mode" bestimmt die Regeln, nach denen die Emis- sion der Messröhre ein- und ausgeschaltet werden. Die Möglichkeit, die Emission manuell zu schalten, wirkt sich bei Anwendungen, bei denen die Prozesskammer häufig belüftet werden muss, positiv auf die Mess- röhrenlebensdauer aus. -
Seite 33: Atmosphären- Schaltfunktion
4.6 Atmosphären- schaltfunktion 4.6.1 Funktionsbeschreibung Die Atmosphärenschaltfunktion erlaubt die Definition einer Atmosphärenschalt- schwelle, bei der ein (Halbleiter-) Relais "Atmosphärendruck erreicht" aktiviert bzw. deaktiviert wird Diese Schwelle kann durch den Benutzer in Prozent des aktuellen Atmosphä- rendrucks (Umgebung) programmiert werden Als Referenz für den Atmosphärendruck dient ein in der Messröhre eingebauter Drucksensor (außerhalb des Vakuumsystems). -
Seite 34: Atmosphärenschaltschwelle Programmieren
Beispiel Das folgende Diagramm zeigt die Wirkungsweise der Atmosphärenschaltfunktion an einem Beispiel (kursiv = Beispielwerte): Messsignal (Druck p) Obere Messbereichsgrenze der Messröhre 1500 mbar Atmosphärendruck (100%, Umgebung) 980 mbar Atmosphären- schaltschwelle (85%) 833 mbar 816 mbar Hysterese (2% der Atmosphären- schaltschwelle) Relaisstatus "Atmosphärendruck erreicht"... -
Seite 35: Beschaltung Des Relais "Atmosphärendruck Erreicht" (Bcg450)
4.6.3 Beschaltung des Relais Das Signal "Atmosphärendruck erreicht" steht bei der Messröhre BCG450 als "Atmosphärendruck "Arbeitskontakt" eines Photo-MOS-Halbleiterrelais auf dem Messkabelstecker zur Verfügung (→ 20) erreicht" (BCG450) Es gelten folgende Spezifikationen: Lastspannung (U ≤30 V (ac) / (dc) Laststrom ≤300 mA (ac) / (dc) Atmosphärendruck erreicht... -
Seite 36: Fehleranzeige
Fehleranzeige kein Fehler (grüne Hintergrundbeleuchtung) Pirani-Sensorfehler (rote Hintergrundbeleuchtung) BA-Sensorfehler (rote Hintergrundbeleuchtung) Membran-Sensorfehler (rote Hintergrundbeleuchtung) EEPROM-Fehler Interne Datenverbindung nicht in Ordnung (rote Hintergrundbeleuchtung) Fehlerbeschreibungen und Verhalten bei Störungen → 53. 4.8 RS232C-Schnittstelle Die in der BCG450 eingebaute RS232C-Schnittstelle erlaubt die Übertragung von digitalen Messwerten und Gerätezuständen sowie das Einstellen von Gerätepa- rametern. -
Seite 37: Funktionsbeschreibung
4.8.1 Funktionsbeschreibung Diese Schnittstelle wird im Duplex-Betrieb verwendet. Die Messröhre sendet kon- tinuierlich ca. alle 20 ms ohne Aufforderung einen neun Byte langen Sendestring. Die Befehlsübermittlung an die Messröhre erfolgt in einem fünf Bytes langen Emp- fangsstring. Betriebsparameter 9600 Baud fest eingestellt, kein Handshake •... - Seite 38 Bit 1 Bit 0 Definition Status-Byte Emission aus Emission 25 µA Emission 5 mA Degas Bit 2 Definition reserviert für spätere Verwendung Bit 3 Definition Toggle-Bit, ändert bei jedem richtig 0 ⇔ 1 verstandenen Empfangsstring Bit 5 Bit 4 Definition aktuelle Druckeinheit mbar aktuelle Druckeinheit Torr aktuelle Druckeinheit Pa...
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Seite 39: Empfangsstring
Beispiel Das Beispiel basiert auf dem Sendestring: Byte Nr. Wert Das Auswertegerät interpretiert diesen String wie folgt: Byte Nr. Bezeichnung Wert Bedeutung Datenstring- (fester Wert) Länge Seiten Nr. (BCG450) Status Emission = aus Druckeinheit = mbar Fehler kein Fehler Messwert high Byte Berechnen des Druckes: low Byte... - Seite 40 Zulässige Empfangsstrings Für die Befehlsübermittlung an die Messröhre sind folgende Strings vorgesehen: Byte Nr. Befehl: Wähle Druckeinheit mbar 0x10 0x8E 0x9E Wähle Druckeinheit Torr 0x10 0x8E 0x9F Wähle Druckeinheit Pa 0x10 0x8E 0xA0 NV-Speicherung der aktuellen Druckeinheit 0x20 0x07 0x27 Degas Ein (schaltet automatisch aus nach 3 Min.) 0x10 0xC4 0xD5...
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Seite 41: Profinet-Schnittstelle (Bcg450-Pn)
Der Betrieb der Messröhre mit Profinet erfordert bei der übergeordneten Steuerung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (GSDML-Datei). Diese Datei kann vom Internet heruntergeladen werden (www.inficon.com). 4.10 DeviceNet-Schnittstelle Diese Schnittstelle erlaubt den Betrieb der Messröhren BCG450-SD mit den Arti-... -
Seite 42: Funktionsbeschreibung
Die Messröhre muss vor der Inbetriebnahme im DeviceNet konfiguriert werden. Dies geschieht mit einem Konfigurations-Tool und der gerätespezifischen "EDS- Datei" (Electronic Data Sheet). Die EDS-Datei kann vom Internet heruntergeladen werden (www.inficon.com). 4.10.2.2 Knotenadresse einstellen Die eindeutige Identifikation der Messröhre im DeviceNet-Verbund erfordert die Zuweisung einer Knotenadresse. -
Seite 43: Status-Lampen
4.10.3 Status-Lampen Zwei Lampen (LEDs) auf der Messröhre erlauben eine grobe Beurteilung des Röh- renzustandes und des aktuellen DeviceNet-Status. Lampe Beschreibung "STATUS MOD" (Messröhren-Status): dunkel keine Speisung rot-grün Selbsttest blinkend grün Normalbetrieb nicht korrigierbarer Fehler korrigierbarer Fehler blinkend (z. B. fehlende DeviceNet- Speisung) "STATUS NET"... -
Seite 44: Funktionsbeschreibung
Betriebssoftware Der Betrieb der Messröhre mit EtherCAT erfordert bei der übergeordneten Steue- rung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (ESI-Datei). Diese Datei kann vom Internet heruntergeladen werden (www.inficon.com). 4.11.2.2 Spezifische Während der Initialisierung liest die Gerätefirmware die am Gerät eingestellte Geräteadresse ändern... -
Seite 45: Funktionsbeschreibung
Der Betrieb der Messröhre am Profibus erfordert bei der übergeordneten Steue- rung die Installation der für diese Messröhre spezifischen Stammdatei (GSD- Datei). Diese Datei kann vom Internet heruntergeladen werden (www.inficon.com). 4.12.2.2 Geräteadresse einstellen Die eindeutige Identifikation der Messröhre am Profibus erfordert die Zuweisung einer Geräteadresse. -
Seite 46: Schaltfunktionen (Bcg450-Pn, -Sd, -Se, -Sp)
4.13 Schaltfunktionen Die (Feldbus-) Messröhren BCG450-PN, BCG450-SD, BCG450-SE und (BCG450-PN, -SD, -SE, BCG450-SP sind mit zwei voneinander unabhängigen, einstellbaren Schaltfunk- tionen ausgestattet. Pro Schaltfunktion steht ein potenzialfreier, frei nutzbarer -SP) Arbeitskontakt zur Verfügung . Die Anschlüsse der Relaiskontakte sind auf den Messkabelstecker geführt (→... - Seite 47 Vorgehen Der Einstellvorgang ist für beide Schaltfunktionen identisch. Messröhre in Betrieb nehmen. Voltmeter (+ Leitung) am Schwellwert-Messpunkt der gewählten Schalt- funktion anschließen ("Setpoint A" Pin 2, "Setpoint B" Pin 3). Voltmeter (– Leitung) an einem gut erreichbaren Erdpunkt (z.B. Mutter für die Verriegelungsschraube neben dem Messkabelanschluss oder Va- kuumanschluss) anschließen.
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Seite 48: Schaltfunktionen Einstellen (Bcg450-Se)
4.13.3 Schaltfunktionen Die Schaltpunkte A und B lassen sich im Druckbereich 1×10 mbar … 1000 mbar einstellen (BCG450-SE) über die EtherCAT-Schnittstelle einstellen (353-598, 353-599 → [4], 353-592, 353-593 → [2]). Eine lokale, optische Zustandsanzeige der Schaltfunktionen ist nicht vorhanden. -
Seite 49: Ausbau
5 Ausbau GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden ver- ursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä- gigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. Vorsicht Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. - Seite 50 Messröhre von der Vakuumapparatur demontieren und Schutzkappe auf- setzen. tina40d1-e (2020-06) BCG450-xx.ga...
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Seite 51: Instandhaltung, Instandsetzung
6 Instandhaltung, Instandsetzung 6.1 Wartung GEFAHR Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Umweltschäden ver- ursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä- gigen Vorschriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. 6.1.1 Messröhre reinigen Kleinere Ablagerungen auf dem Elektrodensystem können durch Ausheizen der Anode (Degas →... -
Seite 52: Abgleich Des Atmosphärensensors Über Die Feldbusschnittstellen
Zwei jeweils 5 Byte lange Befehls-Strings müssen nacheinander an die Messröhre gesendet werden (allgemeine Daten der RS232-Schnittstelle → 36): String Nr. 1 (Abgleich des Atmosphärendrucksensors entriegeln): Byte Nr. Bezeichnung Wert Bemerkungen Datenstring-Länge 0x03 hex fester Wert Daten 0x10 Daten 0x1C Daten... -
Seite 53: Verhalten Bei Störung
6.4 Verhalten bei Störung Im Falle einer Störung oder eines totalen Messsignalausfalles lassen sich einige Untersuchungen an der Messröhre mit kleinem Aufwand durchführen. Benötigtes Werkzeug / Material • Volt-/ Ohmmeter Innensechskantschlüssel SW 2.5 • • Ersatz-Sensor (nach Befund) Fehlerdiagnose an der Das Messsignal steht am Messkabelstecker (Pin 2 und Pin 12) zur Verfügung. -
Seite 54: Fehlerdiagnose An Feldbusmessröhren (Bcg450-Pn, -Sd, -Se, -Sp)
Fehlerdiagnose am Sensor Wird die Ursache einer Störung im Sensor selber vermutet, lässt sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe Diagnose durchführen (eine Belüftung des Va- kuumsystems ist dafür nicht nötig). Der Sensor muss für die Tests von der Elektronikeinheit getrennt werden (→ 16). Mittels Ohmmeter können nun folgende Messungen an den Kontaktstiften des Sensors durchgeführt werden. -
Seite 55: Sensor Austauschen
6.5 Sensor austauschen Nachfolgende Tatbestände machen einen Austausch notwendig • Sensor stark verschmutzt Sensor mechanisch deformiert • Sensor defekt, z. B. Heizfaden der Heißkathode gebrochen (→ 53) • • Sensor defekt, z. B. Piranielement-Unterbruch (→ 53) Benötigtes Werkzeug / Material Innensechskantschlüssel SW 2.5 •... -
Seite 56: Optionen
7 Optionen Artikelnummer 353-511 24 V (dc)-Netzteil mit RS232C-Leitung (→ 26) 353-512 Baffle DN 25 ISO-KF / DN 40 CF-R (→ 17) Dichtung mit Zentrierring und Baffle DN 25 ISO-KF 211-113 8 Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: allen Angaben gemäß... -
Seite 57: Produkt Zurücksenden
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der beteiligten Länder und Transportunter- nehmen beachten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen (Formular unter "www.inficon.com"). Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kosten- pflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kosten- pflichtig zurückgesandt. -
Seite 58: Anhang
Anhang Beziehung zwischen Messsignal und Druck (U - 7.75) / 0.75 + c Umrechnungsformeln p = 10 U = 0.75 × (log p - c) + 7.75 wobei [mbar] [Pa] [Torr] -0.125 Umrechnungskurve Druck p [mbar] 1E+04 1E+03 1E+02 1E+01 1E+00 1E–01 1E–02... -
Seite 59: B: Gasartabhängigkeit
Gasartabhängigkeit Anzeigebereich Angezeigter Druck (Messröhre für Luft abgeglichen) über 10 mbar p [mbar] Kapazitiver Pirani- Misch- Membran- sensor bereich Sensor Luft, O , CO, N –1 –2 –3 –4 –4 –3 –2 –1 [mbar] tina40d1-e (2020-06) BCG450-xx.ga... - Seite 60 Kalibrieren im Druckbereich Die Gasartabhängigkeit im Druckbereich 10 … 1 mbar (Pirani-Druckbereich) wird … 1 mbar mit folgender Korrekturrechnung berücksichtigt: = C × angezeigter Druck wobei Gasart Kalibrierfaktor C Luft, O , CO, N Wasserdampf Freon 12 (Die angeführten Kalibrierfaktoren sind Mittelwerte.) Kalibrieren im Druckbereich Die Gasartabhängigkeit im Druckbereich <10 mbar wird mit folgender Korrektur-...
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Seite 61: C: Literatur
Literatur [1] Kommunikationsanleitung DeviceNet™ BCG450-SD tira40e1 (Communication Protocol, nur englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [2] Kommunikationsanleitung EtherCAT BCG450-SE (ETG.5003.2080 S (R) V1.0.0: Part 2080) tira87e1 (nur englisch) INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein [3] Kommunikationsanleitung Profibus BCG450-SP tira41d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein... - Seite 62 LI–9496 Balzers Liechtenstein Tel +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch www.inficon.com...