Inhaltsverzeichnis
Werbung
Quicklinks
DRYVAR 150
Model 969-9160
Model 969-9161
Model 969-9162
Model 969-9163
87-900-920-01(B)
APRIL 2002
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
INSTRUCTION MANUAL
Werbung
Inhaltsverzeichnis
Inhaltszusammenfassung für Variant DRYVAR 150 969-9160
- Seite 1 MANUALE DI ISTRUZIONI DRYVAR 150 BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D’EMPLOI Model 969-9160 MANUAL DE INSTRUCCIONES Model 969-9161 Model 969-9162 MANUAL DE INSTRUÇÕES Model 969-9163 BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-920-01(B) APRIL 2002...
- Seite 2 DRYVAR 150...
-
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
ISTRUZIONI PER L’USO ....................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ....................3 MODE D’EMPLOI ........................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ....................7 INSTRUÇÕES PARA O USO....................9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..................... 11 BRUGSANVISNING ......................13 BRUKSANVISNING ......................15 BRUKERVEILEDNING ...................... 17 KÄYTTÖOHJEET ......................19 PDHGIES CRHSEWS ......................21 INSTRUCTIONS FOR USE.................... -
Seite 6: Informazioni Generali
ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali... - Seite 7 ISTRUZIONI PER L'USO La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata Accensione ed Uso del DRYVAR 150 alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti Per accendere il DRYVAR 150 è sufficiente fornire la tensione di singoli.
-
Seite 8: Allgemeine Informationen
GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINE INFORMATIONEN Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. auch teilweiser Nichtbeachtung enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. -
Seite 9: Wartung
GEBRAUCHSANLEITUNG Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels Einschaltung und Gebrauch von Modell DRYVAR doppelter oder einfacher Klemmschellen Vakuumkammer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle Zur Einschaltung von Modell DRYVAR 150 ist es mit der sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für erforderlichen Versorgungsspannung versorgen. -
Seite 10: Indications Générales
MODE D’EMPLOI INDICATIONS GÉNÉRALES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie Varian décline conséquent toute responsabilité... - Seite 11 MODE D’EMPLOI La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la Mise en marche et utilisation du DRYVAR 150 chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le Pour allumer le DRYVAR 150 il suffit de fournir la tension tableau suivant décrit, pour chaque dimension de bride et pour d'alimentation.
-
Seite 12: Información General
INSTRUCCIONES DE USO INFORMACIÓN GENERAL Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario... - Seite 13 INSTRUCCIONES DE USO La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la Encendido y Uso del DRYVAR 150 cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas Para encender el DRYVAR 150 basta con suministrar la tensión de sencillas.
-
Seite 14: Informações Gerais
INSTRUÇÕES DE USO INFORMAÇÕES GERAIS Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar aparelhagem. Varian não responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. - Seite 15 INSTRUÇÕES DE USO A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à Acendimento e Utilização do DRYVAR 150 câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. Para ligar o DRYVAR 150 é suficiente fornecer a tensão de A tabela a seguir indica, para todas as dimensões do flange e alimentação.
-
Seite 16: Algemene Informatie
GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de... - Seite 17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer Inschakeling en gebruik van de DRYVAR 150 worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige Om de DRYVAR 150 in te schakelen is het voldoende om deze klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of van stroom te voorzien.
-
Seite 18: Brugsanvisning
BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning anden yderligere information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler. - Seite 19 BRUGSANVISNING Turbopumpen ISO-indløbsflange skal tilsluttes Start og anvendelse af DRYVAR 150 vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer. Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer For at starte DRYVAR 150 er det tilstrækkeligt at tilslutte et samt drejningsmoment afhængig af flangens størrelse og forsyningsstik.
-
Seite 20: Allmän Information
BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. - Seite 21 BRUKSANVISNING DRYVAR 150 kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett Start och användning av DRYVAR 150 stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast För att starta DRYVAR 150 behöver du bara ansluta till ett fläns som måste tåla ett vridmoment på 221 Nm kring sin axel. eluttag.
-
Seite 22: Generell Informasjon
BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på... - Seite 23 BRUKERVEILEDNING Turbopumpene innløpsflens skal festes Starte og bruke DRYVAR 150 vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det DRYVAR startes å sette strømkabelen relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene veggkontakten. innebygde styreenheten detekterer og typer klemmer.
-
Seite 24: Yleisiä Tietoja
KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä... - Seite 25 KÄYTTÖOHJEET Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää DRYVAR 150:n käynnistys ja käyttö tyhjiökammioon kaksois- yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraavassa taulukossa ovat kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, DRYVAR 150:n käynnistykseen riittää, että se kytketään kiinnikkeiden vaadittava määrä ja kiristysmomentti. sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun. Pumpun ensimmäinen käynnistys tapahtuu “Soft Start”...
-
Seite 26: Pdhgies Crhsews
ODHGIES CRHSHS ODHGIES CRHSHS ODHGIES CRHSHS ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES GENIKES PLHROFORIES GENIKES PLHROFORIES GENIKES PLHROFORIES Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apè... - Seite 27 ODHGIES CRHSHS ODHGIES CRHSHS ODHGIES CRHSHS ODHGIES CRHSHS H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂ /Enaush kai Crÿsh tou DRYVAR 150 /Enaush kai Crÿsh tou /Enaush kai Crÿsh tou /Enaush kai Crÿsh tou ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh Gia na an£yete to DRYVAR 150arke∂...
-
Seite 28: General Information
INSTRUCTION MANUAL GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper untrained... -
Seite 29: Emergency Stop
INSTRUCTION MANUAL The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the Switching on and Use of DRYVAR 150 vacuum chamber by means of clamps or claws. The following To switch on the DRYVAR 150 it is necessary to supply the table shows, for each flange and fixing device, the necessary mains. -
Seite 30: Technical Information
TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE DRYVAR 150 The DRYVAR 150 pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in four models which differ only in the high vacuum flange. The four models are: −... -
Seite 31: Controller Description
TECHNICAL INFORMATION Connect the KF16 flange (you can find it in the attached accessories bag) to the “OPTION FORELINE” port. Use the KF16 port to connect your auxiliary foreline pump. ! ! ! ! WARNING! Never connect an external foreline pump to the ex- haust port (it could damage the device). -
Seite 32: Dryvar 150 Outline
TECHNICAL INFORMATION DRYVAR 150 OUTLINE NOTE The following figure shows the DRYVAR 150 out- When the DRYVAR 150 has been stored at a tempera- line. ture less than 5°C, wait until the DRYVAR 150 has reached the above mentioned temperature. 87-900-920-01(B) - Seite 33 TECHNICAL INFORMATION Graph of Dryvar 150 pumping speed vs inlet pressure Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1.5 litres) Graph of throughput vs inlet pressure 87-900-920-01(B)
-
Seite 34: Interconnections
TECHNICAL INFORMATION INTERCONNECTIONS The following figure shows the DRYVAR 150 interconnections. Connection A (P1) - Vent Connection C (P3) - IN-OUT This connector carries all the input and output sig- This is a dedicated 24 Vdc connector to control the nals to remote control the DRYVAR 150. -
Seite 35: Connection D (J4) - Serial
TECHNICAL INFORMATION When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied cover that short-circuits the START and INTER- LOCK inputs with the COMMON input. Connection D (J4) - Serial To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). -
Seite 36: Purge Valve Installation
TECHNICAL INFORMATION PURGE VALVE INSTALLATION RS 232 CABLE INSTALLATION A gas purge valve is available to protect the pump The supplied RS 232 cable must be installed when bearings against particulate and corrosive gases the DRYVAR 150 or the optional vent valve have to that could move into the pump. -
Seite 37: Rs 232 Communication Description
TECHNICAL INFORMATION RS 232 COMMUNICATION DESCRIPTION DATA TYPE FIELD VALID LENGTH CHARACTERS Communication Format Logic (L) ‘0’ = OFF ‘1’ = ON • 8 data bit Numeric (N) ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified with ‘0’ • no parity Alphanumeric from blank to ‘_’... -
Seite 38: Window Meanings
TECHNICAL INFORMATION When the MESSAGE has a wrong <CRC>, the Window Meanings SLAVE will respond with the following string: Read/ Data Description Admitted Write Type Values <STX>+<ADR>+<NACK>+<ETX>+<CRC> Start/Stop Start = 1 (in remote mode Stop = 0 where <STX>, <ADR>, <ETX> and <CRC> have the window is a (default = 1) the meaning previously discussed, while <NACK>... -
Seite 39: Accessories And Spare Parts
TECHNICAL INFORMATION Read/ Data Description Admitted Read/ Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values Set the vent valve Automatic = 0 Cycle time in 0 to 4x10 operation (see note 1.) minutes (zeroed by the reset On command = 1 command) (see note 2.) Cycle number... -
Seite 40: Customer Information
Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3. - Seite 41 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
- Seite 42 Sales and Service Offices Argentina Germany and Austria UK and Ireland Varian Argentina Ltd. Varian Deutschland GmbH Varian Ltd. Sucursal Argentina Alsfelder Strasse 6 28 Manor Road Av. Ricardo Balbin 2316 Postfach 11 14 35 Walton-On-Thames 1428 Buenos Aires 64289 Darmstadt Surrey KT 12 2QF Argentina Germany...