Herunterladen Inhalt Inhalt
Teilen
Diese Seite drucken
  1. Anleitungen
  2. Marken
  3. IDEAL Anleitungen
  4. Pumpen
  5. 969-9361 series
  6. Bedienungshandbuch

IDEAL 969-9361 series Bedienungshandbuch

Vorschau ausblenden
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Quicklinks

Diese Anleitung herunterladen
Turbo-V 70D
969-9361 series
969-9362 series
969-9363 series
969-9364 series
87-900-861-01(G)
JULY 2006
pumps
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR)
ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK) NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltszusammenfassung für IDEAL 969-9361 series

  • Seite 1 NOTICE DE MODE D’EMPLOI Turbo-V 70D MANUAL DE INSTRUCCIONES pumps MANUAL DE INSTRUÇÕES (NL) BEDRIJFSHANDLEIDING (DK) INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL 969-9361 series (FIN) OHJEKÄSIKIRJA 969-9362 series (GR) ODHGIES CRHSEWS 969-9363 series FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV 969-9364 series (PL) PODRECZNIK INSTRUKCJI (CZ) NÁVOD K POUŽITÍ...
  • Seite 2 Turbo-V 70D...

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    ISTRUZIONI PER L’USO ...........................1 GEBRAUCHSANLEITUNG ..........................4 MODE D’EMPLOI ...............................7 INSTRUCCIONES DE USO ..........................10 INSTRUÇÕES PARA O USO...........................13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN..........................16 BRUGSANVISNING ............................19 BRUKSANVISNING............................22 BRUKERVEILEDNING .............................25 KÄYTTÖOHJEET .............................28 PDHGIES CRHSEWS ............................31 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ..........................34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................37 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.............................40 NÁVOD K POUŽITIU............................43 NAVODILA ZA UPORABO..........................46 INSTRUCTIONS FOR USE..........................49 TECHNICAL INFORMATION ...........................52 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ..................52...

  • Seite 6: Indicazioni Di Sicurezza

    ISTRUZIONI PER L'USO Indicazioni di Sicurezza Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori. Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.

  • Seite 7: Informazioni Generali

    ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI ATTENZIONE! Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti- lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura.
  • Seite 8 ISTRUZIONI PER L'USO La turbopompa può essere installata in qualsiasi posizione. Fissa- re la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ATTENZIONE! ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte resistere ad una coppia di 200 Nm attorno al proprio asse, oppure esente da polvere o particelle.

  • Seite 9: Sicherheitshinweise

    GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.

  • Seite 10: Allgemeines

    GEBRAUCHSANLEITUNG Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist ALLGEMEINES vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch für Umweltschutz. sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitge- lieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeach- tung -auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemä- ACHTUNG! ßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisier-...

  • Seite 11: Anwendung

    GEBRAUCHSANLEITUNG ACHTUNG! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie NEIN! Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf- tungsanschluß muß kleiner als 2 bar sein. ACHTUNG! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt werden könnten.

  • Seite 12: Normes De Sécurité

    MODE D’EMPLOI Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors. En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

  • Seite 13: Preparation Pour L'installation

    MODE D’EMPLOI GENERALITES Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes- ATTENTION! sionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication sup- En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, plémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil.
  • Seite 14 MODE D’EMPLOI ATTENTION! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz NON! inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar. ATTENTION! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement brusque car les paliers pourraient se détério-...

  • Seite 15: Indicaciones De Seguridad

    INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores. En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.

  • Seite 16: Informacion General

    INSTRUCCIONES DE USO Durante la operación de desembalaje, prestar una atención INFORMACION GENERAL especial a no dejar caer la bomba ni someterla a golpes. Este equipo se ha concebido para un uso profesional. El No dispersar el embalaje en el medio ambiente. El material es usuario deberá...
  • Seite 17 INSTRUCCIONES DE USO ¡ATENCION! Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta apropiada deberá ser inferior a 2 bar. ¡ATENCION! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento.

  • Seite 18: Indicações De Segurança

    INSTRUÇÕES PARA O USO Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
  • Seite 19 INSTRUÇÕES PARA O USO Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é INFORMAÇÕES GERAIS completamente reciclável e responde às normas CEE 85/399 Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador para a protecção do meio ambiente. deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem.
  • Seite 20 INSTRUÇÕES PARA O USO ATENÇÃO! NÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar. ATENÇÃO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da tur- bobomba quando está...

  • Seite 21: Veiligheidsinstructies

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.

  • Seite 22: Algemene Informatie

    GEBRUIKSAANWIJZINGEN Laat verpakking niet ergens buiten achter. ALGEMENE INFORMATIE verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De EEG milieurichtlijn 85/399. gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens ATTENTIE! het apparaat in gebruik te nemen.
  • Seite 23 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ATTENTIE! NEE! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen an- ders beschadigd raken. ATTENTIE! Gebruik voor het pompen van agressieve gassen alleen de speciale uitvoeringen van de Turbo-V70D pomp. Deze pompen zijn voorzien van een speciale poort, waardoor een stroom inert gas moet worden geleverd die varieert tussen 0.4 en 1 mbar lt/s.

  • Seite 24: Sikkerhedsanvisninger

    BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.

  • Seite 25: Almene Oplysninger

    BRUGSANVISNING ALMENE OPLYSNINGER VIGTIGT Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Bruge- ren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejled- For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de ning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum.

  • Seite 26: Vedligeholdelse

    BRUGSANVISNING VIGTIGT Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. NEJ! VIGTIGT Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i for- bindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadi- gelse af lejerne.

  • Seite 27: Säkerhetsanvisningar

    BRUKSANVISNING Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.

  • Seite 28: Allmän Information

    BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. VIKTIGT Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av med bara händer p g a kontamineringsrisken.

  • Seite 29: Underhåll

    BRUKSANVISNING VIKTIGT Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar. VIKTIGT Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. VIKTIGT pumpning aggressiva...

  • Seite 30: Brukerveiledning

    BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger Turbomolekylær Pumper Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
  • Seite 31 BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON FORSIKTIG Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke utsettes for vakuum håndteres med bare hendene.
  • Seite 32 BRUKERVEILEDNING FORSIKTIG Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar. FORSIKTIG Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i funksjon. Lagrene kan skades. FORSIKTIG pumping aggressive...

  • Seite 33: Käyttöohjeet

    KÄYTTÖOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAARA! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 87-900-861-01(G)

  • Seite 34: Yleisiä Tietoja

    KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA HUOMIO Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat muun sopivan suojan käyttö...
  • Seite 35 KÄYTTÖOHJEET HUOMIO Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia. HUOMIO Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä laakerit voivat vahingoittua. HUOMIO Aggressiivisten kaasujen...

  • Seite 36: Pdhgies Crhsews

    ODHGIES CRHSHS Οδηγίες για Ασφάλεια για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν. Σε...
  • Seite 37 ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj egceirid∂ou kai opoiadˇpote £llh prÒsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h Varian, prin apÒ th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den f◊rei kamm∂a euqÚnh Òson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou proswpikoÚ, auqa∂retej epemb£seij ˇ...
  • Seite 38 ODHGIES CRHSHS PROSOCH! Gia na dioceteÚsete me a◊ra thn antl∂a crhsimopoie∂ste a◊ra ˇ adran◊j a◊rio kaqarÒ apÒ skÒnh ˇ £lla stoice∂a. H p∂esh eisÒdou diam◊sou thj eidikˇj pÒrtaj, pr◊pei na e∂nai mikrÒterh apÒ 2 bar. PROSOCH! Apofuvgete sugkrouvseiÇ, olisqhvseiÇ apovtomeÇ metakinhvseiÇ...

  • Seite 39: Biztonsági Útmutató

    HASZNÁLATI UTASÍTÁS Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a forgórész széttörése –...
  • Seite 40 HASZNÁLATI UTASÍTÁS ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem megfelelő...
  • Seite 41 HASZNÁLATI UTASÍTÁS FIGYELEM Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie. NEM! FIGYELEM Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A csapágyak megsérülhetnek. FIGYELEM Agresszív gázok szivattyúzásához használja a Turbo-V 70D szivattyú...

  • Seite 42: Instrukcja Uzytkowania

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...

  • Seite 43: Ogólne Informacje

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA OGÓLNE INFORMACJE UWAGA! Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy przed użytkowaniem aparatury.

  • Seite 44: Konserwacja

    INSTRUKCJA UZYTKOWANIA UWAGA! Dla wlotu do powietrza pompy zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi wynosić poniżej 2 barów. UWAGA! Unikać uderzeń, wahań gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska. NIE! UWAGA! Dla pompowania chemicznych gazów agresywnych należy stosować...

  • Seite 45: Příručka K Použití

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ Bezpečnostní návod Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění...

  • Seite 46: Všeobecné Informace

    PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VŠEOBECNÉ INFORMACE Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
  • Seite 47 PŘÍRUČKA K POUŽITÍ VÝSTRAHA! Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny. VAROVÁNÍ Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než 2 bary. VAROVÁNÍ...

  • Seite 48: Návod K Použitiu

    NÁVOD K POUŽITIU Bezpečnostný návod Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa može uvolniť...

  • Seite 49: Všeobecné Informácie

    NÁVOD K POUŽITIU VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito...
  • Seite 50 NÁVOD K POUŽITIU UPOZORNENIE Vývevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bary. NIE! UPOZORNENIE Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť...

  • Seite 51: Varnostna Navodila

    NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. OPOZORILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
  • Seite 52 NAVODILA ZA UPORABO SPLOŠNE INFORMACIJE Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
  • Seite 53 NAVODILA ZA UPORABO OPOZORILO! Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline. POZOR Za prezračevanje črpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2 bara.

  • Seite 54: Instructions For Use

    INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.

  • Seite 55: General Information

    INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, im- proper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by...
  • Seite 56 INSTRUCTIONS FOR USE CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar. CAUTION Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation.

  • Seite 57: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The turbine is made of high-strength, light alumin- ium alloy, and is machined from a single block of The Turbo-V70D pump is available in four ver- aluminium. The turbine blades have five different sions. The difference between the two versions angles, from 42°...

  • Seite 58: Technical Specification

    TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed (l/s) With CF 4.5” or With CF 2.75” Operating ambient + 5° C to + 35° C ISO 63: temperature : 60 l/s KF 40 NW: Coolant water flow: 10 l/h (0.05 GPM) He: 30 l/s : 40 l/s temperature: + 10°...
  • Seite 59 TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed against inlet pressure Graph of compression ratio against foreline pressure Graph of nitrogen throughput against inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 87-900-861-01(G)

  • Seite 60: Inlet Screen Installation

    TECHNICAL INFORMATION The screen can be mounted on either pump series INLET SCREEN INSTALLATION and is supplied with a small tab for easy removal (see figure). The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of the pump from being dam- aged by debris greater than 0.7 mm diameter.

  • Seite 61: Heater Band Installation

    TECHNICAL INFORMATION Switch on the heater while the turbopump is in op- HEATER BAND INSTALLATION eration. If, for any reason, the turbopump body overheats, it will be automatically cut out by the thermistor sensor. NOTE The turbopump must be "baked" only when oper- ating with an inlet pressure less than 10 mbar and with water cooling.

  • Seite 62: Water Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 969-9337 (metallic model), and 969-9347 (plastic model). Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles.

  • Seite 63: Base Fixing Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION BASE FIXING KIT INSTALLATION The kit mod. 969-9326 enables the pump to be fixed at the base. For the feet to the pump by tightening the previ- Open the package containing the feet and respec- ously inserted grub screws with the Allen key. tive screws.

  • Seite 64: Air Cooling Kit Installation

    TECHNICAL INFORMATION AIR COOLING KIT INSTALLATION SIDE MOUNTING A fan kit model 969-9310 is available for air cool- ing the pump, when natural air convection is insuf- ficient. Fan specification: − air flow: The fan can also be mounted under the pump as 9 l/s (10 CFM) shown in the figure.

  • Seite 65: Vent Valve Installation

    TECHNICAL INFORMATION VENT VALVE INSTALLATION The vent valve mod. 969-9843 enables undesired pump areation during a temporary power failure (5 sec maximum) to be avoided, and enables an automatic vent operation. Unscrew the threaded plug. VENT DEVICE INSTALLATION Screw the adapter (1) into the vent hole (2) of the pump.

  • Seite 66: Vibration Isolator Installation

    TECHNICAL INFORMATION Screw the flange mod. 969-9109 on the pump, tak- TYPICAL LAYOUT DIAGRAM ing care of the o-ring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Turbo-V controller VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Vent valve A vibration damper model 969-9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso-...

  • Seite 67: Connection A - High Vacuum Flange

    TECHNICAL INFORMATION For ConFlat flange connections we recommend Connection A - HIGH VACUUM FLANGE using Varian hardware. To connect the Turbo-V70D pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the cen- To facilitate assembly and dismantling, apply Fel- tering ring as shown in the figure.

  • Seite 68: Connection B - Fore-Vacuum Pump

    TECHNICAL INFORMATION Connection B - FORE-VACUUM PUMP ACCESSORIES A flange KF 16 NW is available to connect the DESCRIPTION PART NUMBER Turbo-V 70D to the fore-vacuum pump. A hose or Inlet screen DN40 969-9309 vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical Inlet screen DN63 969-9300...
  • Seite 69 Request for Return 1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. 2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). 3.
  • Seite 70 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Seite 71 Sales and Service Offices France and Benelux Japan Other Countries Varian s.a. Varian Vacuum Technologies Varian Inc. 7 Avenue des Tropiques Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor Vacuum Technologies Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12 4-16-36 Shibaura Via F.lli Varian 54 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 Minato-ku, Tokyo 108 10040 Leini, (Torino)

Diese Anleitung auch für:

969-9363 series969-9364 series

Inhaltsverzeichnis