Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum IMR 265
- Seite 1 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N IMR 265 Compact Process Ion Gauge Betriebsanleitung...
-
Seite 2: Produktidentifikation
Sie finden die Artikelnummern (No) auf dem Typenschild. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. Bestimmungsgemäßer Die IMR 265 Compact Process Ion Gauge erlaubt die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich 2×10 … 1000 mbar, wobei die Messung im Druckbereich Gebrauch ≈1 …... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion 1 Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 2 Technische Daten 3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit Mess- und Steuergerät für Kompaktmessröhren 3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 4 Betrieb 4.1 Messprinzip, Messverhalten... -
Seite 4: Sicherheit
Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die ein- schlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. 1.4 Verantwortung und Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung •... -
Seite 5: Technische Daten
2 Technische Daten Messung Messbereich (Luft, N Heißkatode 2×10 … 1 mbar Pirani (Kontrollbereich) 1×10 … 1000 mbar Wiederholbarkeit (nach 10 Min. Stabilisierung) … 10 mbar ≈ 2% Messwert … 100 mbar ≈30% Messwert Gasartabhängigkeit Anhang B → Emission Schaltschwelle 1 mbar –1 (wählbar in Stufen) - Seite 6 ≤34 cm Druck max. 5 bar (absolut) (beschränkt auf inerte Gase und Temperaturen <100 °C) Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergeräte für Kompaktmessröhren erfüllen diese Forderungen. Die minimale Spannung des Speisegerätes muss proportional zur Messkabellänge erhöht werden. BG 5172 BDE (2011-10)
- Seite 7 Umgebung Zulässige Temperaturen Lagerung –20 … 70 °C Betrieb 0 … 50 °C Ausheizen + 50 °C (mit Elektronik) + 80 °C (am Flansch, mit Elektronik) +150 °C (Elektronik abgenommen) Relative Feuchte Jahresmittel ≤65% (nicht kondensierend) an 60 Tagen ≤85% (nicht kondensierend) Verwendung nur in Innenräumen Höhe bis 2000 m NN...
- Seite 8 Flansch DN 25 ISO-KF und DN 40 ISO-KF Abmessungen [mm] DN 25 KF DN 40 KF Gewicht ≈315 g Flansch DN 16 CF-F und DN 40 CF-F Abmessungen [mm] DN 16 CF-F DN 40 CF-F Gewicht ≈300 … 550 g BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265...
-
Seite 9: Einbau
3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Vakuumsystem kann zu Verletzungen durch herumfliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht, und für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. GEFAHR GEFAHR: Gefährliche Spannungen Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebens-... - Seite 10 Schutzdeckel entfernen. Hinweis: Schutzdeckel auf- bewahren und nach jedem Ausbau wie- der aufsetzen. Flanschverbindung herstellen. Bauen Sie die Messröhre so ein, dass ein Abgleich im eingebauten Zustand gewährleistet ist (→ 16, 18, 19). BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265...
-
Seite 11: Elektronikeinheit Abnehmen / Aufsetzen
3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen Benötigtes Werkzeug / • Innensechskantschlüssel SW 2.5 Material Abnehmen a) Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektronikeinheit (2) vorsichtig (Verlustgefahr des Gewindestifts) lösen. b) Elektronikeinheit ohne Drehbewegung abnehmen. Aufsetzen a) Elektronikeinheit sorgfältig auf den Sensor (3) aufsetzen (Anordnung der Steckerstifte und Nut (4) beachten). -
Seite 12: Elektrischer Anschluss
3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit Mess- Für den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Mess- und und Steuergerät für Steuergerät für Kompaktmess- Kompaktmessröhren röhren wird ein entsprechendes Messkabel benötigt (→ 23). • Stecker an die Messröhre anschließen und mit der Schraube sichern. - Seite 13 WARNUNG Die Speisungserde (Pin 5) sowie die Abschirmung (Pin 6) sind in jedem Fall beim Speisegerät mit Erde zu verbinden. Falscher Anschluss, falsche Polarität oder nicht zulässige Speisespannung können die Messröhre beschädigen. Kabeldose zusammenbauen. Das andere Kabelende gemäß Anschluss des Auswertegerätes bestücken. ...
-
Seite 14: Betrieb
Eine Stabilisierungszeit von ca. 10 min. ist zu beachten. Die Messröhre sollte un- abhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet bleiben. 4.1 Messprinzip, Mess- Die IMR 265 enthält zwei separate Messsysteme (High Pressure Heißkatode (HP) und Pirani). verhalten High Pressure (HP) Heißkatode Das HP-Heißkatoden-Messsystem nutzt eine Elektrodenanordnung gemäß... - Seite 15 IMR 265 Figur 2 Die Brückenspannung U ist ein Maß für den Gasdruck und wird elektronisch weiterverarbeitet (Linearisierung, Digitalisierung). Messbereich, Schaltschwelle Die IMR 265 deckt den Messbereich 2×10 … 1000 mbar ab. Heißkatode HP Pirani 2 × 10 mbar 1000 mbar 5 ×...
- Seite 16 Schaltschwelle wählen Die IMR 265 besitzt fünf wählbare Schaltschwellen. Damit lässt sich vermeiden, dass der Schaltbereich im Arbeitsdruckbereich liegt. Ab Werk ist die Schalt- –2 schwelle bei 5×10 mbar eingestellt. Das Umschalten erfolgt mit dem Schalter <P ↔ HP>. Empfehlenswert ist eine möglichst niedrige Schaltschwelle zu wählen, da sich die Tendenz zur Verschmutzung des Heißkatodensystems mit abneh-...
-
Seite 17: Arbeitsweise Der Messröhre
Dazu tragen das Baffle sowie der geschlossene innere Aufbau des Messsystems bei. Die Selbstaufheizung des Messsystems bewirkt eine vermin- derte Verschmutzung mit Prozessprodukten. Ab Werk ist die IMR 265 so eingestellt, dass sich die Heißkatode bei ≈5×10 mbar einschaltet. Die Messröhre kann auch extern durch das Schalten der Speise- spannung geschaltet werden. -
Seite 18: Instandhaltung
Stift ca. ø1.3 × 50 mm (z.B. eine aufgebogene Büroklammer) Vorgehen Messröhre ca. 10 Minuten bei Atmosphärendruck betreiben. Falls die Messröhre zuvor im Ioni-Bereich betrieben wurde, muss mit einer Abkühl- zeit von ca. 30 Minuten gerechnet werden (Messröhrentemperatur = Umgebungstemperatur). BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265... -
Seite 19: Kalibrierwert Heißkatode Einstellen
Stift durch die Öffnung <ATM> führen und die darunter liegende Taste mindestens 5 s lang drücken. 5.3 Kalibrierwert Heißkatode Der Sensor wird im Werk kalibriert und bekommt für den Heißkatodenbereich einen Kalibrierwert im Bereich 0 … F aufgedruckt. Dieser Wert muss mit dem Schalter einstellen <Cal adj>... -
Seite 20: Baffle Auswechseln
Stift (z.B. Bleistift) Vorgehen a) Das Baffle mit dem Schraubendreher vorsichtig entfernen. b) Neues Baffle sorgfältig auf den Sensoreingang legen. c) Das Baffle in der Mitte mit einem Stift vorsichtig hineindrücken bis es einrastet. BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265... -
Seite 21: Sensor Austauschen
5.6 Sensor austauschen Austausch notwendig, wenn • Sensor stark verschmutzt • Sensor defekt, z.B. Heizfaden gebrochen. Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleißteile (Heizfaden), fallen nicht unter die Gewährleistung. Benötigtes Werkzeug / Material • Innensechskantschlüssel SW 2.5 •... -
Seite 22: Ausbau
Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten. Vorgehen Vakuumsystem belüften. Messröhre außer Betrieb setzen. Messkabel lösen. Messröhre von der Vakuumapparatur demontieren. BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265... -
Seite 23: Produkt Zurücksenden
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kosten- pflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produkte werden kosten- pflichtig zurückgesandt. 8 Optionen Bestellnummer Messkabel zu Pfeiffer Vacuum Mess- und Steuergerät für Kompaktmessröhren PT 448 250–T PT 448 251–T 10 m PT 448 252–T... -
Seite 24: Ersatzteile
Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Beschreibung und Bestellnummer gemäß Ersatzteilliste Bestellnummer Sensor IMR 265, Flansch DN 25 ISO-KF PT 120 111–T (Sechskantschlüssel beigelegt) Sensor IMR 265, Flansch DN 40 ISO-KF PT 120 112–T (Sechskantschlüssel beigelegt) Sensor IMR 265, Flansch DN 16 CF-F PT 120 113–T... -
Seite 25: Anhang
Anhang Beziehung zwischen Messsignal und Druck Umrechnungsformeln Messbereich Heißkatode: ⇔ p = 10 U = c + log Messbereich Pirani: 4(U-c ⇔ p = 10 U = c + 0.25 log [mbar] [micron] 4.625 8.281 [µbar] 8.25 [Pa] [Torr] 7.625 9.031 [kPa] 9.25... -
Seite 26: B: Gasartabhängigkeit
Gasartabhängigkeit Unter 10 mbar, Für andere Gase als Luft kann der Druck durch eine einfache Umrechnung HP Heißkatoden-Messbereich ermittelt werden: = K × angezeigter Druck wobei Gasart Luft (N Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte. BG 5172 BDE (2011-10) IMR 265... - Seite 27 –2 Über 10 mbar, p (mbar) Pirani-Messbereich Luft Anzeigenbereich über 10 mbar Freon 12 –1 O-Dampf –2 –3 –2 –1 4 6 8 4 6 8 4 6 8 4 6 8 (mbar) Vorsicht Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Mess- geräten möglich.
- Seite 28 A U S L E I D E N S C H A F T F Ü R P E R F E K T I O N Pfeiffer Vacuum steht weltweit für innovative und individuelle Führend. Zuverlässig. Vakuumlösungen, für deutsche Ingenieurskunst, kompetente Kundennah.