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Edwards Active Pirani Gauge Betriebsanleitung
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Edwards Active Pirani Gauge Betriebsanleitung

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Inhaltsverzeichnis

Quicklinks

Instruction Manual | Betriebsanleitung | Mode d'emploi
Active Pirani Gauge
Aktiv-Pirani-Messröhren
Jauge active Pirani
Description
Beschreibung
Description
APG-M-NW16 AL
APG-M-NW25 ST/ST
APG-L-NW16 AL
APG-L-NW25 ST/ST
APG-M-NW16 ST/ST
APG-M-15OD ST/ST
APG-L-NW16 ST/ST
APG-L-15OD ST/ST
APG-MP-NW25 ST/ST
APG-MP-NW16 ST/ST
APG-MP-150D ST/ST
D021-71-885J
Issue J / Ausgabe J / Edition J
Item Number
Bestellnummer
Numéro de Référence
D021-71-000
D021-72-000
D021-73-000
D021-74-000
D021-75-000
D021-76-000
D021-77-000
D021-78-000
D021-82-000
D021-85-000
D021-86-000
Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Edwards Active Pirani Gauge

  • Seite 1 D021-71-885J Issue J / Ausgabe J / Edition J Instruction Manual | Betriebsanleitung | Mode d’emploi Active Pirani Gauge Aktiv-Pirani-Messröhren Jauge active Pirani Description Item Number Beschreibung Bestellnummer Description Numéro de Référence APG-M-NW16 AL D021-71-000 APG-M-NW25 ST/ST D021-72-000 APG-L-NW16 AL...

  • Seite 2: Declaration Of Conformity

    Declaration of Conformity Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK declare under our sole responsibility, as manufacturer and person within the EU authorised to assemble the technical file, that the product(s) Active Pirani Gauges: APG-M-NW16 AL D021-71-000 APG-M-NW25 ST/ST...

  • Seite 3: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Wir, Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK erklären in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person, die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist, dass das Produkt bzw. die Produkte Aktiv-Pirani-Meßröhren: APG-M-NW16 AL D021-71-000...

  • Seite 4: Déclaration De Conformité

    Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, R.U. déclarons sous notre entière responsabilité, en tant que fabricant et personne établie dans l'UE et autorisée à constituer le dossier technique, que le ou les produit(s) suivant(s)

  • Seite 5: Inhaltsverzeichnis

    Fehlersuche ........31 Nettoyage du filtre ......30 Recherche des causes de panne ....31 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page i / Seite i / Page i Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 6 Caractéristiques de pression et de tension pour l’air sec et pour l’azote (APG-L) ..21 Page ii / Seite ii / Page ii © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 7: Introduction

    Edwards APG Wartungsanleitungen für das Edwards-APG (Aktiv-Pirani- tation et d’entretien de l’APG Edwards (Jauge Active (Active Pirani Gauge). You must use the APG as Messröhre). Verwenden Sie bitte das APG entsprechend Pirani). Vous devez utiliser l’APG comme il est indiqué...

  • Seite 8: Description

    Das APG erfordert eine Gleichspannungsversorgung von L’APG requiert une alimentation de 20 à 36 V CC. Elle pressure. The APG is compatible with all of the Edwards 20 bis 36 V; sein Gleichspannungs-Analogausgang von comporte une sortie analogique de 2 à 10 V CC, liée à...

  • Seite 9: Gesamtansicht Des Apg

    2. Prise de raccordement de l’APG 3. Circlip de fixation du filtre 4. Bride de connexion au vide 5. Filtre © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 3 / Seite 3 / Page 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 10 Transistor hat eine feste Hysterese von 700 mV: der la sortie du transistor se positionne sur marche (fermé ou the set-point pressure. Note that, if you use an Edwards Ausgang schaltet aus, sobald der Druck auf 700 mV über basse impédance). La limite de l’hystérésis du transistor AGC controller or AGD display, the APG set-point is not den Druck-Schaltpunkt ansteigt.

  • Seite 11: Gas Dependency

    Edwards in Verbindung. l’hélium et le dioxyde de carbone. © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 5 / Seite 5 / Page 5 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 12 This page has been intentionally left blank. Leerseite. Cette page a été laissée blanche intentionnellement. Page 6 / Seite 6 / Page 6 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 13: Technical Data

    2000 m für Betrieb Nur zur Verwendung fonctionnement Utilisation à l’inté- im Innenbereich rieur uniquement © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 7 / Seite 7 / Page 7 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 14: Electrical Data

    Consommation maximum de 1 W (APG-M) 8-way 8-polig courant 1,5 W (APG-L) Connecteur électrique Type FCC68/RJ45, 8-voies Page 8 / Seite 8 / Page 8 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 15 1. Clearance required for electrical cable 1. Freiraum für elektrisches Kabel 1. Espace requis pour le passage des câbles électriques © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 9 / Seite 9 / Page 9 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 16 Nécessaire si vous utilisez un relais externe CC Ausgang angeschlossenen externen raccordé à la sortie du point de consigne. Geichstromrelais. Page 10 / Seite 10 / Page 10 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 17: Materials Exposed To Vacuum

    (AISI 316L) Other Nickel, fluoroelastomer, PTFE Sonstige Teile Nickel, Fluorelastomer, PTFE Autre Nickel, fluoroélastomère, PTFE © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 11 / Seite 11 / Page 11 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 18 This page has been intentionally left blank. Leerseite. Cette page a été laissée blanche intentionnellement. Page 12 / Seite 12 / Page 12 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 19: Installation

    à la Figure © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 13 / Seite 13 / Page 13 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 20 6. Diode de suppression EMF arrière 7. Rupteur de mise à la terre (en option) Page 14 / Seite 14 / Page 14 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 21: Electrical Connection

    EN61326 exige la présence d’un dispositif de zwischenzuschalten (siehe Abschnitt 7.3). protection contre les surtensions (se reporter à Section 7.3). © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 15 / Seite 15 / Page 15 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 22: Connect To Edwards Controllers Or Agd Display

    CC et de la diode de suppression EMF arrière sont données à la Section Page 16 / Seite 16 / Page 16 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 23 (pour identifier le type d’APG), mesurez la résistance entre les broches 4 et 5. © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 17 / Seite 17 / Page 17 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 24 This page has been intentionally left blank. Leerseite. Cette page a été laissée blanche intentionnellement. Page 18 / Seite 18 / Page 18 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 25: Operation

    Um die genauesten Druckmessungen zu erreichen, das 10 minutes environ, puis utilisez la procédure de APG etwa 10 Minuten lang aufwärmen lassen und dann If you connected the APG to an Edwards AGC controller Section 5.1 pour régler l’APG. gemäß...

  • Seite 26: Druck- Und Spannungswerte Für Stickstoff Und Trockene Luft (Apg-M Und Apg-Mp)

    7.50 x 10 6.82 x 10 6.00 5.12 x 10- 8.41 x 10 6.20 6.31 x 10 Page 20 / Seite 20 / Page 20 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 27: Druck- Und Spannungswerte Für Stickstoff Und

    2.18 x 10 1.00 x 10 10.00 7.50 x 10 3.57 x 10 6.20 2.68 x 10 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 21 / Seite 21 / Page 21 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 28: Set-Point Adjustment

    Set-point adjustment Schaltpunkt-Einstellung Réglage du point de consigne If you connected the APG to a Edwards AGC controller or AGD display, use the set-point adjustment procedure Wenn das APG an einen Edwards-AGC-Controller oder an Si vous raccordez l’APG à un contrôleur AGC Edwards ou detailed in the instruction manual supplied with the ein AGD-Anzeigegerät angeschlossen ist, den...

  • Seite 29: Set-Point Label

    1. Etiquette “Réglage du point de consigne” 2. Couvercle 3. Tournevis 4. Potentiomètre du point de consigne © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 23 / Seite 23 / Page 23 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 30: Schaltpunkt-Label

    Figure 5 — Set-point label Abbildung 5 — Schaltpunkt-Label Figure 5 — Etiquette “point de consigne” Page 24 / Seite 24 / Page 24 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 31 Déconnectez la broche 7 de la broche 2 (ou de  la terre). © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 25 / Seite 25 / Page 25 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 32 This page has been intentionally left blank. Leerseite. Cette page a été laissée blanche intentionnellement. Page 26 / Seite 26 / Page 26 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 33: Maintenance

    5.2). If the APG is faulty, you must Vous pouvez seulement remplacer le filtre et son circlip Nur der Filter und der zur Befestigung verwendete return it to your supplier or your nearest Edwards service de fixation (voir la Section 5.2).

  • Seite 34: Anpassung Des Apg Für Vakuum- Und

    1. Tournevis 2. Couvercle 3. Potentiomètre de pression atmosphérique 4. Potentiomètre de pression sous vide Page 28 / Seite 28 / Page 28 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Seite 35 Wenn der Arbeitsvorgang wiederholt wurde und  das Ausgangssignal noch außerhalb des erforder- lichen Bereichs liegt, siehe Abschnitt 5.3. © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 29 / Seite 29 / Page 29 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 36: Clean The Filter

    6. Den Filter wieder in das Gehäuserohr einsetzen und den Sprengring aufziehen. Page 30 / Seite 30 / Page 30 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 37: Fault Finding

    électriques et assurez-vous que la broche 7 n’est pas If the connections and the electrical supply are correct, raccordée à la broche 2 ou à la terre. then the APG is faulty and should be returned to Edwards Wenn Anschlüsse und Versorgungsspannung korrekt sind, for exchange or replacement.
  • Seite 38 This page has been intentionally left blank. Leerseite. Cette page a été laissée blanche intentionnellement. Page 32 / Seite 32 / Page 32 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 39: Storage And Disposal

    Produkt und die Kabel am Ende der Lebensdauer un service de recyclage du produit/des câbles en fin de an. Wenden Sie sich an Edwards, um zu erfahren, was Sie vie. Consultez Edwards pour plus d’informations sur le bei der Rücksendung der zur Wiederaufbereitung retour du produit/des câbles à...
  • Seite 40 This page has been intentionally left blank. Leerseite. Cette page a été laissée blanche intentionnellement. Page 34 / Seite 34 / Page 34 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 41: Spares And Accessories

    5 filtres. Filter-Ersatzteilgarnitur D021-71-810 Numéro de Pièces détachées référence Kit de remplacement du filtre D021-71-810 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Page 35 / Seite 35 / Page 35 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Seite 42: Accessories

    100 m D400-01-999 Surge Suppressor D400-06-000 Überspannungsschutz- D400-06-000 Dispositif de protection D400-06-000 einrichtung contre les surtensions Page 36 / Seite 36 / Page 36 © Edwards Limited 2010. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

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