Verwandte Anleitungen für INFICON VGC402
Inhaltszusammenfassung für INFICON VGC402
- Seite 1 Gebrauchsanleitung inkl. EG-Konformitätserklärung VGC402 Zweikanal Mess- und Steuergerät para VGC403 Dreikanal Mess- und Steuergerät para tinb07d1-e 2011-07...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Einleitung 3.3.6 CONTROL ......14 3.3.7 RS232C ......14 Gültigkeit . - Seite 3 5.4.1 Auswahl ......29 6.3.31 TEE ....... 42 5.4.2 Firmware-Version (Pnr) .
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Seite 4: Einleitung
Technische Änderungen ohne vorherige Ankündigung ein: sind vorbehalten. Die Abbildungen sind unverbindlich. Model: 1.3 Geräteversionen Das Mehrkanal-Messgerät ist in zwei verschiedenen Ver- sionen erhältlich: Als VGC402 und als VGC403. Die bei- den Versionen unterscheiden sich in folgenden Punkten voneinander: Abb. 1-1 Typenschild (Beispiel) •... -
Seite 5: Sicherheit
1.4 Sicherheit 1.4.3 Grundlegende Sicherheitsvorschriften 1.4.1 Personalqualifikation Halten Sie bei allen Arbeiten die einschlägigen Sicher- heitsvorschriften ein. Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur von Personen durchgeführt werden, die eine geeig- Beachten Sie zudem alle in diesem Dokument angege- nete technische Ausbildung besitzen und über die nöti- benen Sicherheitshinweise, und geben Sie diese Hin- gen Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber ent-... -
Seite 6: Trennvorrichtung
WARNUNG Falsche Anschluss- und Betriebsdaten. Falsche Anschluss- und Betriebsdaten kön- nen das Mehrkanal-Messgerät beschädigen. Halten Sie alle vorgeschriebenen Anschluss- und Betriebsdaten ein. 1.4.4 Trennvorrichtung Das Mehrkanal-Messgerät ist mit einer Trennvorrichtung gemäss EN 61010-1 ausgestattet. Die Trennvorrichtung befindet sich auf der Rückseite des Mehrkanal-Messgeräts. -
Seite 7: Technische Daten
Höhe: 128.5 mm (3 HE) abnehmend auf Tiefe: 207 mm max. 50 % (ab 40 °C) Siehe Abb. 2-1, Verwendung In Innenräumen Höhe max. 2000 m NN Gewicht VGC402: 1.04 kg Verschmutzungsgrad VGC403: Schutzart IP20 1.16 kg Verwendung Tischgerät 2.1.3... -
Seite 8: Messkanäle
2.3 Messkanäle 2.3.3 Messtechnik Messbereiche Messröhren-abhängig 2.3.1 Messanschlüsse Messfehler Verstärkungsfehler: ≤ 0.005 % FS Anzahl der Messkanäle VGC402: 2 VGC403: 3 Offsetfehler: ≤ 0.01 % FS Anschlussbuchsen pro RJ45 (FCC 68) Messkanal D-Sub, 15-polig, weibl. Messrate 50 s (parallel geschaltet) -
Seite 9: Schaltfunktionsrelais
2.4.1 Schaltfunktionsrelais 2.5.2 Schreiberausgang Kontaktart Wechselkontakt, potential- Anzahl frei Spannungsbereich 0…10 VDC Belastung (ohmsch) Max. 60 VDC, 0.5 A Auflösung 1 mV Max. 30 VAC, 1 A Genauigkeit ± 20 mV Lebensdauer Mechanisch: Schaltzyklen 3300 Ω Innenwiderstand Elektrisch: Beziehung zwischen Programmierbar Schaltzyklen bei maxi- Spannung und Druck... -
Seite 10: Installation
Installation 3.1 Auspacken 3.2.1 Tischgerät Wenn Sie das Mehrkanal-Messgerät als Tischgerät ver- Untersuchen Sie die Transportverpackung auf wenden wollen, gehen Sie wie folgt vor: äussere Schäden Legen Sie das Mehrkanal-Messgerät wie in Packen Sie das Mehrkanal-Messgerät aus und Abb. 3-1, 10 dargestellt auf den Rücken legen Sie die Verpackung beiseite Schieben Sie die im Lieferumfang enthaltene... -
Seite 11: Rackeinbau
Abb. 3-4, 11 zeigt die Rückseite des VGC403. Beim Rackeinschubadapter nach DIN 41 494 (19", 3 HE) vor- VGC402 ist der Anschluss für den Messkanal 3 (Pos. C) gesehen. Dazu sind im Lieferumfang 4 Halsschrauben nicht vorhanden. und 4 Kunststoffhülsen enthalten. -
Seite 12: Netzanschluss
3.3.2 Netzanschluss 3.3.3 Erdung Der Netzanschluss (Abb. 3-4, 11, Pos G) ist für ein Mit Hilfe der Erdungsschraube (Abb. 3-4, 11, Pos. I) Netzkabel vorgesehen, das geräteseitig mit einem Kalt- kann das Mehrkanal-Messgerät mit der Schutzerdung gerätestecker endet. des Pumpstands verbunden werden. Im Lieferumfang ist ein Netzkabel enthalten. -
Seite 13: Relay
Kontaktbelegung VORSICHT Unzulässige Messröhre. Messröhren, die nicht für den Betrieb mit dem Mehrkanal-Messgerät vorgesehen sind, kön- nen das Gerät beschädigen. Betreiben Sie das Mehrkanal-Messgerät nur mit zulässigen Messröhren. Siehe Abb. 3-8 Gerätebuchse RELAY (D-Sub, 25-polig) Kapitel 2.3.1 Messanschlüsse, 1 GND 14 Error Arbeitskontakt (NO) 2 n.c. -
Seite 14: Control
3.3.6 CONTROL 3.3.7 RS232C Der Anschluss CONTROL (Abb. 3-4, 11, Pos. D) ent- Die serielle Schnittstelle RS232C (Abb. 3-4, hält folgende Anschlüsse: Pos. F) ermöglicht die Bedienung des Geräts über einen Computer oder ein Terminal. Siehe Kapitel 6 Rechner- • Analoge Ausgänge für die Signale der einzelnen schnittstelle, Messkanäle... -
Seite 15: Bedienung
In der rechten oberen Ecke (Pos. C) wird die Druckeinheit Abb. 4-1, 15 zeigt die Frontplatte des VGC403. Beim angezeigt: mbar, Torr, Pa, oder Micron. VGC402 sind die Schaltfunktionen SP5 und SP6 (Pos. A) und die Anzeige für den Messkanal 3 (Pos. F) nicht vor- Messkanäle handen. -
Seite 16: Ein- Und Ausschalten
4.2 Ein- und ausschalten 4.3 Betriebsarten Das Mehrkanal-Messgerät kann sich in einer der fol- 4.2.1 Einschalten genden Betriebsarten befinden: Schalten Sie den Netzschalter ein. Siehe Abb. 3-4, Mess-Modus 11, Pos. H. Der Mess-Modus ist die Standard-Betriebsart. Hier wer- Nach dem Einschalten führt das Mehrkanal-Messgerät den die Messwerte der Messröhren angezeigt. -
Seite 17: Mess-Modus
4.4 Mess-Modus 4.4.3 Tastenfunktionen 4.4.3.1 Messkanal wählen 4.4.1 Auswahl Drücken Sie die Taste CH Das Mehrkanal-Messgerät befindet sich nach dem Ein- schalten automatisch im Mess-Modus. para Wenn Sie sich im Parameter-Modus befinden und 10 Sekunden lang keine Taste betätigen, kehrt das Gerät automatisch in den Mess-Modus zurück. -
Seite 18: Degas-Funktion Einschalten
4.4.3.4 Degas-Funktion einschalten 4.4.3.7 Messröhre identifizieren Die Degas-Funktion folgender Messröhren lässt sich Halten Sie die Tasten UP und DOWN etwa manuell einschalten: BPG, BCG. 1 Sekunde lang gedrückt Drücken Sie die Taste CH, um den betreffenden Messkanal zu wählen para Halten Sie die Taste UP etwa 1 Sekunde lang gedrückt. -
Seite 19: Parameter-Modus
4.5 Parameter-Modus Parameter- Parameter gruppe 4.5.1 Auswahl PArA Durch Drücken der Taste PARA gelangen Sie vom Mess- dt-C tESt Modus in den Parameter-Modus. Die Anzeige PARA tr-L leuchtet. rA-t Wenn Sie sich im Parameter-Modus befinden und EP-t 10 Sekunden lang keine Taste betätigen, kehrt das Gerät EE-t automatisch in den Mess-Modus zurück. -
Seite 20: Bedienkonzept
4.5.3 Bedienkonzept Vom Mess-Menü aus können Sie einen bestimmten Parameter wie folgt wählen und ändern: Drücken Sie die Taste CH, um den gewünschten Messkanal zu wählen. (Nur erforderlich, wenn Sie einen Sensorparameter ändern wollen.) Drücken Sie die Taste PARA • Sie befinden sich im Parameter-Menü... -
Seite 21: Parameter
5.1.1 Grundbegriffe Schaltfunktionen Abb. 5-1 Verhalten einer Schaltfunktion bei Druckänderungen Das VGC402 enthält vier Relais, die in Abhängigkeit vom Druck (pressure) gemessenen Druck umschalten. Die Kontakte der Relais Zeit (time) sind potentialfrei und können über den Anschluss RELAY Arbeitskontakt (normally open) für Schaltzwecke genutzt werden. -
Seite 22: Schaltfunktionen Konfigurieren
5.1.2 Schaltfunktionen konfigurieren 5.1.3 Einstellbereich Voraussetzung: Sie haben die Parametergruppe SP-P Einstellbereich für unteren Schwellenwert gewählt Der untere Schwellenwert einer Schaltfunktion lässt sich Drücken Sie die Taste PARA, um den gewünsch- in folgenden Druckbereichen einstellen: ten Parameter zu wählen • Der Name und der Wert des Parameters wird SP-L min. -
Seite 23: Sensorparameter (Para Sen)
5.2 Sensorparameter (PArA SEn) FASt Fast (schnell). Das Mehrkanal-Messgerät reagiert Für jeden Messkanal ist ein eigener Satz von Sensorpa- schnell auf Signalschwankungen. Dadurch ist es auch rametern vorhanden. Wählen Sie den entsprechenden relativ empfindlich gegenüber Signalstörungen. Messkanal, bevor Sie ins Parameter-Menü wechseln um Sensorparameter zu ändern. -
Seite 24: Gasart (Gas)
5.2.2 Gasart (GAS) • 0.01 mbar • 0.01 Torr, 0.02 Torr, 0.05 Torr Messröhren sind normalerweise für eine Messung in • 0.10 mbar, 0.25 mbar, 0.50 mbar Stickstoff oder Luft kalibriert. Mit Hilfe des Parameters • 0.10 Torr, 0.25 Torr, 0.50 Torr GAS können Sie den Messkanal auf andere Gasarten einstellen. -
Seite 25: Degas-Funktion (Degas)
Nullpunkt einer digitalen CDG abgleichen HAnd Manuell. Die Messröhre lässt sich durch Drücken der Wählen Sie den Parameter oFS an Taste UP einschalten. Siehe Kapitel 4.4.3.3 Hochva- Halten Sie die Taste DOWN etwa 2 Sekunden lang kuum-Messkreis einschalten, gedrückt • Der Nullpunkt der Messröhre wird abgeglichen •... -
Seite 26: Messröhren-Ausschaltwert (T-Off)
CH 1 Anzeige Bedeutung Durch Messkanal 1. Mit Hilfe des darauffolgenden Para- meters t-off können Sie einen Ausschaltwert festlegen. Filament 2 ist aktiv Fil 2 Wenn der Druck auf dem Messkanal 1 den Ausschalt- wert überschreitet, wird die Messröhre ausgeschaltet. Tab. -
Seite 27: Generalparameter (Para Gen)
5.3 Generalparameter (PArA GEn) HINWEIS: Der Parameter diGit ist bei Messröhren vom Typ CDG Mit Hilfe dieser Parameter können Sie das Gerät allge- nicht wirksam. mein konfigurieren. Die Parameter gelten für alle HINWEIS: Messkanäle. Bei PSG- und PCG-Messröhren und aktivierter PrE ist die Anzeige im Druckbereich p <... - Seite 28 LoG +0 Logarithmische Darstellung des gesamten Messbe- Logarithmische Darstellung eines Teil-Messbereichs reichs. (2.5 V/Dekade). Messröhre Druck (in mbar) Messröhre Druck (in mbar) p = 10^[U/(10/7) - 4] Alle Typen p = 10^[U/(10/4) - 4] p = 10^[U/(10/7) - 4] LoG +3 Logarithmische Darstellung eines Teil-Messbereichs p = 10^[U/(10/7) - 9] (2.5 V/Dekade).
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Seite 29: Fehlersignalrelais (Err-R)
5.4 Testparameter (PArA tESt) Messröhre Druck (in mbar) Diese Parametergruppe ist für Test- und Servicezwecke Alle Typen p = U/10 * 10 vorgesehen. Hier können interne Gerätedaten abgefragt werden, grundlegende Einstellungen vorgenommen wer- den, und einzelne Funktionen des Geräts überprüft wer- iM221 Logarithmische Darstellung IM221 Controller den. -
Seite 30: Torr-Sperre (Tr-L)
Falls der Test wiederholt fehlschlägt, nehmen Sie bitte Kontakt mit Ihrer nächstgelegenen INFICON-Service- Anzeige Bedeutung stelle auf. Fehlermeldung des Watchdog wird Auto nach 2 Sekunden automatisch quit- 5.4.7 EPROM-Test (EP-t) tiert Führt einen Test des Programmspeichers durch. Fehlermeldung des Watchdog muss Drücken Sie die Taste UP, um den Test zu starten. -
Seite 31: A/D-Wandler Id (Ad-I)
HINWEIS: Anzeige Bedeutung Wenn der Signaleingang offen ist, wird wegen der ho- hen Empfindlichkeit des Geräts ein schnell wech- Fehlersignalrelais ein r7-H selnder Wert angezeigt. Fehlersignalrelais aus r7-L Drücken Sie die Taste UP, um den Test zu starten. Tab. 5-18 Relais-Test 5.4.11 A/D-Wandler ID (Ad-i) 5.4.13 RS232C-Test (rS-t) Liefert für jeden Messkanal ein Signal (in Volt), das durch... -
Seite 32: Rechnerschnittstelle
Rechnerschnittstelle 6.1 Grundlagen Begriff Wert Bedeutung <ACK> Acknowledge. Positive 6.1.1 Anschluss Rückmeldung. Das Mehrkanal-Messgerät kann über eine serielle <LF> Line feed. Zeilenvor- Schnittstelle (RS232C) mit einem Rechner kommunizie- schub. ren. Die Anschlussbuchse und das benötigte Verbin- dungskabel sind in Kapitel 3.3.7 RS232C, 14 beschrie- <CR>... -
Seite 33: Empfangen (Gerät --> Host)
S: Mnemonic [Parameter]<CR>[<LF>] S: <ENQ> E: <ACK><CR><LF> oder <NAK><CR><LF> E: 0,9.0000E-01,2.2000E+00<CR><LF> Messwertfilter ändern 6.2.3 Empfangen (Gerät --> Host) S: FIL,1,2,1<CR>[<LF>] Der Host kann das Gerät auffordern, Daten zu liefern. Dazu sendet der Host eine Nachricht, die festlegt, welche E: <ACK><CR><LF> Daten gewünscht werden. -
Seite 34: Mnemonics
6.3 Mnemonics Mnemonic Bedeutung Pressure sensor 3. Druckwert von 6.3.1 Übersicht Messröhre 3. Mnemonic Bedeutung Pirani range extension. Pirani- Bereichserweiterung. Analog output mode. Charakteristik des Schreiberausgangs. Pressure sensors. Druckwerte aller Messröhren. Baud rate. Übertragungsgeschwin- digkeit der RS232C-Schnittstelle. Reset. Schnittstelle zurücksetzen. Continuous mode. -
Seite 35: Aom
6.3.2 Parameter Bedeutung Analog output mode. Charakteristik des Schreiberaus- gangs. Siehe Kapitel 5.3.5 Schreiberausgang (Ao), Übertragungsrate S: AOM[,a,b]<CR>[<LF>] 0 = 9600 Baud (Standard) 1 = 19200 Baud E: <ACK><CR><LF> 2 = 38400 Baud S: <ENQ> E: a,b<CR><LF> HINWEIS: Die Bestätigung des BAU-Befehls wird bereits mit der geänderten Übertragungsrate gesendet. -
Seite 36: Cor
6.3.5 E: a,b,c<CR><LF> Correction factor. Korrekturfaktor. Siehe Kapitel 5.2.2 Gasart (GAS), Parameter Bedeutung S: COR[,a.aa,b.bb,c.cc]<CR>[<LF>] Messröhre 1 E: <ACK><CR><LF> 0 = Degas aus (Standard) 1 = Degas ein S: <ENQ> Messröhre 2 E: a.aa,b.bb,c.cc<CR><LF> (siehe oben) Parameter Bedeutung HINWEIS: Die Degas-Funktion schaltet nach 3 Minuten automa- a.aa Korrekturfaktor für Messkanal 1 tisch ab. -
Seite 37: Eum
6.3.12 FSR den logischen Operator OR verknüpft werden. Bei- spiel: 1001 = Gerätefehler und Syntax-Fehler. Full scale range. Messbereich für lineare Messröhren (CDG). Siehe Kapitel 5.2.3 Messbereich (FS), 6.3.10 EUM S: FSR[,a,b,c]<CR>[<LF>] Emission umschalten. Siehe Kapitel 5.2.10 Emission E: <ACK><CR><LF> (EMi), S: <ENQ>... -
Seite 38: Fum
6.3.13 FUM 6.3.15 HVC Filament auswählen. Siehe Kapitel 5.2.11 Filamentaus- High vacuum circuit on/off. Hochvakuumkreis von Mess- wahl (FiL), röhren ein- und ausschalten. Siehe Kapitel 4.4.3 Tasten- funktionen, S: FUM[,a,b,c]<CR>[<LF>] S: HVC[,a,b,c]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> S: <ENQ> E: a,b,c<CR><LF>... -
Seite 39: Loc
6.3.17 LOC Parameter Bedeutung Parameter setup lock. Eingabesperre. Siehe Kapitel 5.4.5 Eingabesperre (LoC), ±a.aaaaE±aa Offset-Wert von Messröhre 1 in der aktuellen Masseinheit S: LOC[,a]<CR>[<LF>] Standard: 0.0000E+00 E: <ACK><CR><LF> ±b.bbbbE±bb Offset-Wert von Messröhre 2 in der S: <ENQ> aktuellen Masseinheit (siehe oben) E: a<CR><LF>... -
Seite 40: Pre
6.3.22 PRE Parameter Bedeutung Pirani range extension. Pirani-Bereichserweiterung. ±f.ffffE±ff Druckwert von Messröhre 3 in der Siehe Kapitel 5.2.12 Pirani-Bereichserweiterung (PrE), aktuellen Masseinheit S: PRE[,a,b,c]<CR>[<LF>] 6.3.24 RES E: <ACK><CR><LF> Reset. Schnittstelle zurücksetzen. S: <ENQ> Löscht den Eingabepuffer. Alle anstehenden Fehlermel- E: a,b,c<CR><LF> dungen werden an den Host gesendet. -
Seite 41: Sc1
6.3.27 SP1 Parameter Bedeutung Setpoint 1. Schaltfunktion 1. Siehe Kapitel 5.1 Schalt- funktionsparameter (PArA SP), Parameter speichern S: SP1[,a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc]<CR>[<LF>] 0 = Standard-Parameter speichern 1 = Benutzer-Parameter speichern E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> HINWEIS: Parameter, die manuell geändert werden (Bedienta- E: a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc<CR><LF> sten), werden automatisch im EEPROM gespeichert. -
Seite 42: Tad
6.3.29 TAD 6.3.31 TEE Test A/D converter. Testet den A/D-Wandler. Siehe Test EEPROM. Testet das EEPROM. Siehe Kapitel 5.4.8 Kapitel 5.4.10 A/D-Wandler Signal (Ad-S), 30 und EEPROM-Test (EE-t), Kapitel 5.4.11 A/D-Wandler ID (Ad-i), S: TAD<CR>[<LF>] VORSICHT E: <ACK><CR><LF> EEPROM-Lebensdauer. S: <ENQ> Eine sehr grosse Anzahl von Schreibvorgän- E: ±a.aaaa,±b.bbbb,±c.cccc,±d.dddd,±e.eeee,±f.ffff gen reduziert die EEPROM-Lebensdauer. -
Seite 43: Tid
6.3.33 TID Parameter Bedeutung Transmitter identification. Messröhren-Identifikation. Siehe Kapitel 4.4.3.7 Messröhre identifizieren, Test-Status S: TID<CR>[<LF>] 0 = Aus 1 = Ein E: <ACK><CR><LF> Relais-Status S: <ENQ> 00 = Alle Relais aus E: a,b,c<CR><LF> 01 = Relais Schaltfunktion 1 ein 02 = Relais Schaltfunktion 2 ein Parameter Bedeutung 04 = Relais Schaltfunktion 3 ein... -
Seite 44: Tlc
6.3.36 TLC Parameter Bedeutung Torr lock. Torr-Sperre. Siehe Kapitel 5.4.4 Torr-Sperre (tr-L), Masseinheit S: TLC[,a]<CR>[<LF>] 0 = mbar/bar (Standard) 1 = Torr E: <ACK><CR><LF> 2 = Pascal S: <ENQ> 3 = Micron E: a<CR><LF> 6.3.40 WDT Parameter Bedeutung Watchdog control. Watchdog-Fehlerverhalten. Siehe Kapitel 5.4.3 Watchdog-Fehlerverhalten (dt-C), Torr-Sperre S: WDT[,a]<CR>[<LF>]... -
Seite 45: Wartung Und Service
Die neue Firmware wird an das Mehrkanal-Messgerät INFICON-Servicestelle auf. Firmware-Updates können übertragen. Sie können die einzelnen Schritte des Vor- auch von unserer Website www.inficon.com herunterge- gangs am Bildschirm des PCs verfolgen. Nach etwa laden werden. 1 Minute ist der Übertragungsvorgang beendet. -
Seite 46: Kalibrierung
Vor der Auslieferung wird das Mehrkanal-Messgerät bei INFICON kalibriert. Calibration factor. Kalibrierfaktor des A/D-Wandlers. Der Im Normalfall müssen die Kalibrierdaten nicht geändert Befehl ist nur für Servicetechniker der Firma INFICON werden. vorgesehen. S: CAF[,a.aaaaE±aa,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc] VORSICHT <CR>[<LF>]... - Seite 47 • 0 = Messkanal 1 • 1 = Messkanal 2 • 2 = Messkanal 3 Der Kalibrier-Offset des betreffenden Messkanals wird ermittelt und im EEPROM gespeichert. Kalibrierfaktor Nehmen Sie den D-Sub-Stecker mit der Drahtbrü- cke vom Sensor-Anschluss des betreffenden Messkanals ab Schliessen Sie an Pin 2 (Signal) und Pin 12 (Signal-GND) eines 15-poligen D-Sub-Steckers eine hochpräzise Spannungsquelle an.
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Seite 48: Störungsbehebung
Liegt die Störung auch nach mehrmaligem Quittieren zur Messröhre. und/oder Austauschen der Messröhre vor, nehmen Sie Mit der Taste PARA quittieren. Ist die bitte Kontakt mit Ihrer nächstgelegenen INFICON-Ser- Ursache nicht behoben, erscheinen vicestelle auf. noSEn oder noid. Der Watchdog hat angesprochen. Starke elektrische Störung oder Fehler des... -
Seite 49: Lagerung Und Entsorgung
Lagerung und Entsorgung 9.1 Verpackung Bitte bewahren Sie die Originalverpackung auf. Sie benö- tigen diese Verpackung, wenn Sie das Mehrkanal-Mess- gerät lagern oder an eine INFICON Servicestelle versen- den wollen. 9.2 Lagerung Die Mehrkanal-Messgerät darf nur in einem trockenen Raum gelagert werden. Dabei sind folgende Umge-... -
Seite 50: Anhang
Anhang Umrechnungstabellen Masse = ... slug 6.852 × 10 2.205 35.27 3.108 × 10 0.454 28.35 × 10 62.5 × 10 1.943 × 10 slug 14.59 32.17 514.8 Druck = ... Pa (= N/m mbar Torr (= mm Hg) psi (= lb/in 0.987 ×... -
Seite 51: Standard-Parameter
INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Literaturverzeichnis [11] Gebrauchsanleitung Bayard-Alpert Pirani Gauge BPG400 Alle nachfolgend aufgeführten Gebrauchsanleitungen tina03d1 können von der Website www.inficon.com als PDF- INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein Dateien heruntergeladen werden. [12] Gebrauchsanleitung Gebrauchsanleitung High Pressure / Pirani Gauge HPG400... -
Seite 52: Stichwortverzeichnis
MPG400, MPG401 tina48d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein A/D-Wandler-Kalibrierung ..... . 46 A/D-Wandler-Test ......30... - Seite 53 Erdungsanschluss......12 Mess-Modus ....... . 17 ETL-Zertifizierung .
- Seite 54 Konfigurieren ......22 Schaltfunktionsparameter ..... . 21 Wartezeit .
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Seite 55: Etl-Zertifizierung
ETL LISTED 3103457 Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur Niederspannungsrichtlinie 2006/95/EG und zur EMV-Richtlinie 2004/108/EG. Die Produkte VGC402 und VGC403 erfüllen die Anforde- rungen der folgenden Normen: Produkte UL 61010-1, Ausgabe: 2004-07-12 Ed: 2 VGC402, VGC403 Rev: 2005-07-22 Mehrkanal-Messgerät... - Seite 56 LI-9496 Balzers Original: tinb07d1-e (2011-07) Liechtenstein +423 / 388 3111 +423 / 388 3700 t i nb07d1- e reachus@inficon.com www.inficon.com...