Diener Femto Standard Bedienungsanleitung
Niederdruckplasmaanlagen
Inhaltszusammenfassung für Diener Femto Standard
- Seite 1 BEDIENUNGS- ANLEITUNG Bitte lesen Sie vor Gebrauch Ihrer Plasmaanlage sorgfältig diese Bedienungsanleitung durch. diener Niederdruckplasmaanlagen Plasma-Surface-Technology Femto Standard Femto-UHP (Korrosivgasversion)
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Seite 2: Schaltplan
1. Bedienungsanleitung 2. Schaltplan 3. Datenblatt Timer 4. Datenblatt Ventile 5. Datenblatt Vakuumpumpe 6. Sicherheitsdatenblätter 7. Dokumentation „Plasmatechnik" 8. Beispiele zur Prozesstechnik 9. Besonderheiten bei dieser Maschine diener Plasma-Surface-Technology... - Seite 3 BEDIENUNGS- ANLEITUNG Bitte lesen Sie vor Gebrauch Ihrer Plasmaanlage sorgfältig diese Bedienungsanleitung durch. diener Niederdruckplasmaanlagen Plasma-Surface-Technology Femto Standard Femto-UHP (Korrosivgasversion)
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Seite 4: Inhaltsverzeichnis
Internet: www.plasma.de Stand: 01.02.2007 Copyright: Diener electronic GmbH + Co. Nachdruck: Nachdruck Oder Vervielfältigung, auch auszugsweise, ist ohne schriftliche Genehmigung der Firma Diener electronic GmbH + Co. KG nicht gestattet. Urheberrecht: Alle Rechte nach Gesetz über Urheberrecht bleiben Firma Diener... -
Seite 5: Reinigung Von Oberflächen
2. Anwendungen Reinigung von Oberflächen Aktivierung von Oberflächen Oberflächenätzung Beschichten Oberflächen Beispiel: Bauteile in der Plasmaanlage Näheres siehe die Dokumentation „Plasmatechnik"... -
Seite 6: Lieferumfang
3. Lieferumfang 3.1. Plasmaanlage Abb. ähnlich 3.2. Vakuumpumpe 3.3. Abluftschlauch 3.4. Option: Ersatzteilpaket Vakuumschlauch Öl für Vakuumpumpe(1 Liter) Spannring + Dichtung Fensterscheibe Feinsicherungen (10 Stück) Fensterdichtung Türdeckeldichtung... -
Seite 7: Teilebezeichnung
4. Teilebezeichnung für alle FEMTO-Modelle 4.1 Vorderseite: Elektrode Hauptschalter Pumpe •ner Belüftung Tür Warenträger Generator Timer Nadelventil Leistung HF-Generator 4.2 Rückseite: Typenschild Lüfter Timer Pumpen- anschluss Ansaugschlauch für Netz- Vakuumkammer anschluss (220 -240 50 Hz) r 6,0A Gus Vent Belüftung Sicherung Gasanschluss 6 mm Swagelok... -
Seite 8: Anschluss Und
5. Anschluss Inbetriebnahme 5.1. Vorbereitung Vakuumpumpe an Kammer anschließen. Um die beste Saugleistung der 5.1.1. Pumpe zu erreichen, darf diese nicht auf demTisch stehen. Stellen Sie sie auf den Boden. Femto Pumpe Femto Pumpe Abluftschlauch anschließen, die Abluft muss ins Freie gelangen können 5.1.2. - Seite 9 5. Anschluss Inbetriebnahme 5.2. Plasmaprozess 5.2.1. Pumpe einschalten, Kammer ca. 2 Minuten abpumpen Prozessgas einschalten 5.2.2. 5.2.3. Nadelventil einstellen Generatorleistung am Leistungsschalter („Power") einstellen (Leistung 0 —100 %) 5.2.4. 5.2.5. Generator starten (das Plasma sollte gleichmäßig in der Kammer verteilt sein) Nach Ende des Plasmaprozesses schaltet der Generator automatisch 5.2.6.
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Seite 10: Sicherheitshinweise
6. Sicherheitshinweise 6.1. Spannung Die Höhe der Leerlaufspannung am Generator kann bis zu ca. 2.000 V betragen! Deshalb ist hier erhöhte Vorsicht geboten! Das Gerät darf nur an ein Stromnetz angeschlossen werden, dessen Spannung mit der Angabe auf dem Typenschild übereinstimmt. -
Seite 11: Gasballast
6. Sicherheitshinweise 6.6. Gasballast Bei Betrieb mit Sauerstoff muss das Gasballastventil geöffnet werden (siehe Handbuch Vakuumpumpe). 6.7. Abgase Alle Abgase müssen ins Freie geleitet werden. Der Ausgang darf nicht verschlossen werden, da sonst die Pumpe zerstört wird. 6.8. Aggressive Flüssigkeiten Die Nadelventile können durch aggressive Flüssigkeiten (Z.B. -
Seite 12: Verunreinigungen
Effekt der Plasmabehandlung verändern. 6.12. Wartung und Reparatur Die Wartung muss bei Bedarf von der Diener electronic GmbH + Co. KG durchgeführt werden. In die Pumpe darf nur Mineralöl von Diener electronic nachgefüllt werden. Wir verwenden für unsere Pumpen kein flourhaltiges Öl. -
Seite 13: Arbeitsdruck
7. Technische Daten Femto-UHP Femto Femto mit eckiger (Korrosivgas- Standardversion Kammer version) Ø 95 mm, Kammerinnen- Ø 100 mm, 100 x 100 mm, L 270 abmessungen L 270 L 280 Öffnung: Ø 90 mm Kammervolumen ca. 2 Liter ca. 1,9 Liter Liter Rezipientenwerkstoff Edelstahl... -
Seite 14: Wartung
8. Wartung 8.1. Pumpe • Kontrollieren Sie täglich den Ölstand. Bitte beachten Sie die Bedienungsanleitung des Pumpenherstellers. Ölwechselintervalle etc. sind dem Handbuch zu entnehmen. Das Öl sollte mindestens alle 3 Monate gewechselt werden. 8.2. Sicherheitsbauteile Halbjährlich sind folgende Bauteile zu prüfen (siehe Schaltplan): 8.2.1. -
Seite 15: Störungsbeseitigung
9. Störungsbeseitigung Störung Mögliche Ursache Behebung Gasleitung ist nicht geöffnet Gasleitung öffnen Plasmaanlage läuft, Plasma Nadelventil ist nicht geöffnet Nadelventil öffnen brennt nicht Kurzschluss, da leitfähige Leitfähige Bauteile so Bauteile Elektrode platzieren, dass sie die Elektrode nicht berühren berühren Tür lässt sich nicht... -
Seite 16: Ersatzteilliste
Ersatzteilliste Femto Preis I Stück Bezeichnung BesteIl-Nr. 20,00 EUR Ansaugsieb KF 16 25857 Dichtungsring für 10479 3,00 EUR Elektrodendurchführung Elektrodendurchführung 35,00 EUR 10480 Keramik Kammerdichtung 10510 12,00 EUR Keramikisolator für Elektrode 25860 16,00 EUR KF-Dichtungen (Set) 30,00 EUR 10511 Lüfter 25859 12,50 EUR 20,00 EUR... -
Seite 17: Eg-Konformitätserklärung
11. EG-Konformitätserklärung diener Plasma-Surface-Technology Diener electronic GmbH + Co. KG Talstr. D-72202 Nagold Hiermit erklären wir, dass unsere Niederdruckplasmaanlagen der Baureihe Femto Standard Femto-UHP (Korrosivgasversion) in der von uns in den Verkehr gebrachten Ausführung den grundlegenden Schutzanforderungen entsprechen. Bei einer nicht mit uns abgestimmten Änderung verliert diese Erklärung ihre Gültigkeit. - Seite 18 Bei missbräuchlicher und unsachgemäßer Behandlung, Gewaltanwendung Eingriffen, die nicht von uns vorgenommen wurden, erlischt die Garantie. Zu Reparaturzwecken senden Sie bitte die Plasmaanlage gut verpackt an: diener Plasma-Surface-Technology Diener electronic GmbH + Co. KG Talstr. D-72202 Nagold Tel.: 00 49 (0) 74 52...
- Seite 19 Index Abgase..Abluftschlauch ...11 Abmessungen....Aggressive Flüssigkeiten..............Ansaugschlauch für Vakuumkammer........Ansaugsieb ......Anschlussmöglichkeiten ..........Anwendungen.......6, 11 Arbeitsdruck..5-7 Belüftung .........4, 12, 14 Dichtung ........5, 8, 11 Elektrode ......
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Seite 20: Technische Daten
Index Öl für Vakuumpumpe.......4, 12, 14 Power ........6-8 Prozessgas Raumtemperatur............. 13 ..12 Reinigung ..12 Relais ....10 Reparatur..Rezipientenwerkstoff ..11 Schaltplan......