Jevatec JEVAmet IOM Bedienungsanleitung
Aktives heißkathoden-ionisationsvakuummeter
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Inhaltszusammenfassung für Jevatec JEVAmet IOM
- Seite 1 ® JEVAmet IOM Aktives Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter Bedienungsanleitung BA_IOM_02.2018_DE...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Tabellenverzeichnis Rechtliche Hinweise Gültigkeit Lieferumfang Bestimmungsgemäße Verwendung Gewährleistung Transportschäden Sicherheit Allgemeine Angaben Zeichenerklärung Grundlegende Sicherheitshinweise Technische Produktbeschreibung Funktion Messprinzip Technische Daten Vakuummessung Sensor Emission Entgasen Automatische Überdruckabschaltung Spannungsversorgung Ausgangssignal Material Umgebung 4.10 Abmessungen und Gewicht 4.11 Normen BA_IOM_02.2018_DE... - Seite 4 Installation Mechanische Installation Elektrische Installation 5.2.1 Rückseite des Gerätes 5.2.2 Input / Output Bedienung Anzeige LED Betriebsbereitschaft Messbetrieb (Emission) ein- und ausschalten Analogausgang Emissionsstrom Degas-Funktion Auswahl des Filaments Gasartabhängigkeit Wartung und Service Wartung 7.1.1 Allgemeine Wartungshinweise 7.1.2 Ersatzteile 7.1.3 Austausch des Sensors Störungsbehebung 7.2.1 Fehler und Hilfe bei Störungen...
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Seite 5: Abbildungsverzeichnis
Abbildungsverzeichnis Abbildung 1 – Analogausgang Abbildung 2 – Abmessungen JEVAmet ® IOM (in mm) Abbildung 3 – Rückseite des Gerätes Abbildung 4 – Anschlussstecker Input / Output (SUB-D, 9-polig, männlich) Abbildung 5 – Schematischer Aufbau des JEVAmet ® Tabellenverzeichnis Tabelle 1 – Artikelnummern Tabelle 2 –... -
Seite 6: Rechtliche Hinweise
100031 JEVAmet ® IOM-25K 1.ff 100 ff Tabelle 1 – Artikelnummern Im Verkehr mit der JEVATEC GmbH sind die Angabe von Artikelnummer und Seriennummer erforderlich. Diese Informationen entnehmen Sie bitte dem Typenschild. Lieferumfang Bezeichnung Anzahl ® JEVAmet Bedienungsanleitung (je DE und EN) Tabelle 2 –... -
Seite 7: Transportschäden
Die Verantwortung in Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber. Fehlfunktionen des Messgerätes, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleistung. Technische Änderungen ohne vorherige Ankündigung sind vorbehalten. Die Abbildungen sind unverbindlich. Transportschäden • Untersuchen Sie die Transportverpackung auf äußere Schäden •... -
Seite 8: Sicherheit
Sicherheit Allgemeine Angaben ® Das JEVAmet IOM wird betriebsbereit ausgeliefert. Wir empfehlen Ihnen, diese Bedienungsanleitung sorgfältig zu lesen, um von Anfang an ein optimales Arbeiten zu gewährleisten. Diese Bedienungsanleitung enthält wichtige Informationen zum Verständnis, ® zur Montage, Inbetriebnahme, Betrieb und zur Fehlersuche des JEVAmet IOM. -
Seite 9: Technische Produktbeschreibung
Technische Produktbeschreibung Funktion ® Das JEVAmet IOM ist ein Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter nach Bayard-Alpert. Es – 5·10 erlaubt eine Absolutdruckmessung von Gasen im Bereich 5·10 mbar. Vakuumseitig besitzt es, je nach Ausführung, einen Kleinflanschanschluss DN16KF oder DN25KFund kann somit an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden. WARNUNG: Einsatzbereich. -
Seite 10: Technische Daten
Technische Daten Vakuummessung – 5∙10 Messbereich: 5∙10 mbar Messprinzipien: Heißkathoden-Ionisation (Bayard-Alpert) Empfindlichkeit für N2: ca. 16 mbar Genauigkeit (typisch): typisch ± 20% vom Messwert Reproduzierbarkeit: ± 5% vom Messwert Sensor Einbaulage: beliebig Filamente (Kathoden): -beschichtetes Iridium Anzahl der Filamente: Betriebsmodi der Filamente: manuelle Umschaltung mittels Kippschalter Überdruckfestigkeit: mindestens 1,5 bar (abs.) -
Seite 11: Ausgangssignal
Ausgangssignal 0 – 10,5 V DC Ausgangsspannung: Fehlersignal: > 9 V: Emission aus Messbereich : 0 V = 1∙10 mbar; 8,7 V = 5∙10 mbar Beziehung Spannung-Druck: logarithmisch, 1 V / Dekade (U-10) p = 10 [mbar] U = 1∙lg(p/10 ) [V] Abbildung 1 –... -
Seite 12: Umgebung
Umgebung -20 – +60 °C Temperatur: Lagerung: +5 – +45 °C (Meereshöhe) Betrieb: +5 – +30 °C (2000 m NN) Ausheiztemperatur: max. 80 °C am Flansch Relative Luftfeuchtigkeit: max. 80 % (bis 30 °C) abnehmend auf max. 50 % (ab 40 °C) Verwendung: nur in Innenräumen (Höhe max. -
Seite 13: Installation
Installation Mechanische Installation ® Die Montage des JEVAmet IOM erfolgt unmittelbar an der Vakuumanlage. Grundsätzlich ® funktioniert das JEVAmet IOM in jeder möglichen Einbaulage. Es wird empfohlen, eine Montagestelle mit freier Luftströmung zu wählen. Wird die Vakuumkammer zur Erreichung eines sehr niedrigen Drucks ausgeheizt, so ist das ®... -
Seite 14: Elektrische Installation
Elektrische Installation 5.2.1 Rückseite des Gerätes ® Die Abbildung 3, Seite 14 zeigt die Rückseite des JEVAmet IOM. Die Belegung des Anschlusses sowie die Bedien- und Anzeigeelemente werden in den folgenden Abschnitten beschrieben. Abbildung 3 – Rückseite des Gerätes Anschluss für Spannungsversorgung, Analogausgang und digitale Ein- und Ausgänge LED für Betriebszustandsanzeige Umschalter für Filamentauswahl... -
Seite 15: Bedienung
Gerät ist nicht betriebsbereit. Polyswitch-Sicherung hat ausgelöst. Trennen Sie das Gerät von der Betriebsspannung und verbinden Sie es erneut. Sollte die Sicherung erneut auslösen, so liegt ein Defekt an der Messelektronik vor. Nehmen Sie Kontakt mit JEVATEC auf. Rot blinkend Emission Error. Automatische Abschaltung der Emission. -
Seite 16: Messbetrieb (Emission) Ein- Und Ausschalten
Messbetrieb (Emission) ein- und ausschalten Die Emission wird gestartet durch: • Anlegen eines Low-Pegels an PIN 1 des Anschlusssteckers Input / Output ( Abbildung 4, Seite 14). • Die LED Mode leuchtet grün. Die Emission wird ausgeschaltet durch: • PIN 1 des Anschlusssteckers Input / Output (... -
Seite 17: Degas-Funktion
Degas-Funktion Durch Verschmutzungen im Sensor kann es zur Erhöhung und Schwankungen des Messwertes kommen (verstärkte Gasabgabe in der Röhre). Dann empfiehlt es sich, durch Entgasen bei einem Druck 1∙10 mbar den Sensor mittels Elektronenbeschuss aufzuheizen und damit zu säubern. Der Druckmesswert während des Entgasens dient der Orientierung über den Reinigungsvorgang, liegt aber außerhalb der Genauigkeits- ®... -
Seite 18: Wartung Und Service
Tabelle 5 – Artikelnummern der Ersatzteile 7.1.3 Austausch des Sensors Nach dem Durchbrennen beider Filamente besteht die Möglichkeit, den Sensor selbst zu ersetzen oder das Vakuummeter zum Sensortausch an JEVATEC einzuschicken. WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z.B. radioaktiver, toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art) können... -
Seite 19: Störungsbehebung
Liegt die Störung auch nach mehrmaligem Aus- und Einschalten und / oder Austauschen des Sensors vor, nehmen Sie bitte Kontakt mit JEVATEC auf. 7.2.2 Reparatur Defekte Produkte sind zur Reparatur an JEVATEC zu senden. JEVATEC übernimmt keine ® Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen am JEVAmet IOM Reparaturarbeiten durchführen. -
Seite 20: Lagerung Und Entsorgung
Lagerung und Entsorgung Verpackung Bitte bewahren Sie die Originalverpackung auf. Sie benötigen diese Verpackung, wenn Sie ® das JEVAmet IOM lagern oder an JEVATEC versenden wollen. Lagerung ® Das JEVAmet IOM darf nur in einem trockenen Raum gelagert werden. Dabei sind folgende Umgebungsbedingungen einzuhalten: •... -
Seite 21: Anhang 1 - Kontaminationserklärung (Formular Für Rücksendung)
Verzögerungen der Arbeiten. Wenn diese Erklärung den instandzusetzenden Geräten nicht beiliegt, kann die Sendung zurückgewiesen werden. Für jede Komponente ist eine eigene Erklärung abzugeben. Für die Eingangskontrolle und den Transport durch JEVATEC fallen Kosten an. Bitte beachten Sie auch die Sicherheitsinformationen auf der Rückseite dieser Erklärung! Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal des Betreibers ausgefüllt und unterschrieben werden. -
Seite 22: Sicherheitsinformationen Für Die Rücksendung Von Kontaminierten Artikeln Der Vakuumtechnik
Kontaminationserklärung FB6000 JEVATEC Seite Ideen in der Vakuumtechnik 2 von 2 Sicherheitsinformationen für die Rücksendung von kontaminierten Artikeln der Vakuumtechnik (Vakuummessgeräte, Vakuumpumpen und Vakuumkomponenten) Allgemeine Information Der Unternehmer (Betreiber) trägt die Verantwortung für die Gesundheit und Sicherheit seiner Arbeitnehmer. Sie erstreckt sich auch auf das Personal, dass bei Reparatur und / oder Wartung des Artikels beim Betreiber oder beim Hersteller mit diesem in Berührung kommt. -
Seite 23: Anhang 2 - Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit erklären wir, die JEVATEC GmbH, dass die nachfolgend bezeichneten Produkte in der von uns in Verkehr gebrachten Ausführung den einschlägigen EU-Richtlinien entsprechen. Bei einer nicht mit uns abgestimmten Änderung eines Produktes verliert diese Erklärung ihre Gültigkeit. Die Einhaltung der EMV- Richtlinien setzt einen EMV-angepassten Einbau der Komponenten in der Anlage oder Maschine voraus. - Seite 24 JEVATEC GmbH Schreckenbachweg 8 07743 Jena GERMANY Tel: +49 3641 3596 -0 Fax: +49 3641 3596-39 E-mail: info@jevatec.de...