Inhaltszusammenfassung für Vacom ATMION
- Seite 1 VACOM ATMION ® Aktives Weitbereichsvakuummeter Standard und Compact Version Bedienungsanleitung 09/2004 www.vacom.de...
-
Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Druckausgabe über den Befehl ’RV‘ 2.5.2.2 Definition für Steuerbits – SC 2.5.2.3 Definition für Statusbits – RS 2.5.3 Service-Programm 2.5.3.1 Anschlusseinstellungen 2.5.3.2 Benutzung des Programms Montage und Bedienung Sichtkontrolle Montage Schaltpunkte Reinigung der Messzelle Ausheizen der Messzelle Filamente des Ionisationsvakuummeters Austausch der Filamente der Standard-Version Austausch der Messzelle ® ATMION 09/2004... - Seite 3 Inhaltsverzeichnis Abgleich des ATMION -Messsystems ® 3.9.1 Abgleich über das ATMION -Anzeigegerät ® 3.9.2 Abgleich über Schnittstelle RS 232 oder Profibus 3.9.3 Abgleich über die externen Steuereingänge Technische Daten, Zubehör Technische Daten der Standard Version Technische Daten der Compact Version Analogsignal Anschlussbelegung der Messzelle Zubehör Weiterführende Anleitungen Anhang 1 Sicherheitsinformationen für die Rücksendung von kontaminierten...
-
Seite 4: Abbildungsverzeichnis
Abbildung 4 Anschlussbelegung für 15-poligen Sub-D-Stecker “Power supply/Signal“ Abbildung 5 Darstellung der Funktion von Control 1 und Control 2 Abbildung 6 Jumper für Einstellung der Betriebsparameter bei entfernter Rückplatte Abbildung 7 COM-Anschluss-Einstellungen Abbildung 8 Programmfenster “Service-Monitor für ATMION “ ® Abbildung 9 Systematische Darstellung des Abgleichvorgangs über die externen Steuereingänge... -
Seite 5: Sicherheit
Kunden in der Originalverpackung. Wir behalten uns die Entscheidung über Ersatz oder Nachbesserung nach Prüfung in unserem Haus vor. Voraussetzung für Garantieansprüche ist die Rücksendung des Gerätes in der Originalverpackung des Herstellers! Fügen Sie bei einer Rücksendung das ausgefüllte Formular für die Kontaminierungserklärung bei (Anlage 2)! ® 09/2004 ATMION... -
Seite 6: Gerätebeschreibung
Ausgangssignal zwischen 0 und 10 V, welches dem Logarithmus des Druckes mit 0,625 V pro Dekade proportional ist. Die Versorgung der Auswerteelektronik erfolgt mit 24 V DC / 1,5 A. Die Druckausgabe des ATMION -Messsystems ist für Stickstoff kalibriert ®... -
Seite 7: Messprinzip
Messstrom. Der Kollektorstrom ist über einen weiten Bereich dem Gasdruck proportional, wobei er zusätzlich von der Ionisierungswahrschein- lichkeit des Gases abhängt. Zu niedrigen Drücken hin wird die Grenze des Messbereiches hauptsächlich durch die Sensorgeometrie bestimmt und liegt beim ATMION im Bereich ®... - Seite 8 Verfälschungen des Messwertes eintreten. Dieser Effekt wird durch den Einsatz eines Schutzadapters (Baffle) verringert. Starke Magnetfelder z.B. von Ionenget- terpumpen führen zu einer Beugung der Elektronenbahnen und damit unter Umständen zu Messfehlern. Eine Vergrößerung des Abstandes zwischen dem ATMION und dem Magne- ®...
-
Seite 9: Korrekturfaktoren Und Kurven Für Verschiedene Gase
2.3.1 Korrekturfaktoren für das Ionisationsvakuummeter Im Bereich des Ionisationsvakuummeters kann bei bekannter Gaszusammensetzung der tatsächliche Druck durch Multiplikation des angezeigten Druckwertes mit einem Korrektur- faktor ermittelt werden. Für das ATMION -Messsystem wurden für zwei häufig verwendete ® Gase - Helium und Argon - die entsprechenden Korrekturfaktoren aufgenommen (Tabelle 1). -
Seite 10: Aufbau Der Messelektronik
Abbildung 3: Ansicht der Rückseite der Messelektronik bei entfernter Rückplatte 1. Anschluss für Profibus (optional) 2. Anschluss für Betriebsspannung, Signalausgang und Schnittstelle RS 232 3. Schalter für Einstellung der Profibusadresse (optional) 4. Jumper für Einstellung der Betriebsparameter 5. Schalter für Empfindlichkeitseinstellung 6. Kontroll-LED (grün) für Profibus (optional) 7. Kontroll-LED (rot, grün, grün-orange blinkend, grün blinkend, rot blinkend) für Betriebs- und Fehlerzustände ® ATMION 09/2004... -
Seite 11: Tabelle 2: Wahrheitstabelle Für Control 1 Und Control 2
24 V Freigabe extern 24 V Control 1 24 V Control 2 Steuerung über AutoMode Abgleich Abgleich Steuerung über nur Pirani RS232 Pirani ATM Pirani VAC RS232 Abbildung 5: Darstellung der Funktion von Control 1 und Control 2 ® 09/2004 ATMION... -
Seite 12: Tabelle 3 Erläuterung Zum Ausgang Status Schaltpunkt
Gerätebeschreibung Funktion Schaltpunkt normal Schaltpunkt invertiert Ein (On) Aus (Off) Tabelle 3: Erläuterung zum Ausgang Status Schaltpunkt Die Leuchtdiode “Mode“ signalisiert die Betriebsart des ATMION durch folgende Funktion: ® n rot leuchtend Piranibetrieb n grün leuchtend Betrieb des Ionisationsvakuummeters grün orange blinkend Sicherheitsabschaltung des Ionisationsvakuummeters ist erfolgt;... -
Seite 13: Serielle Schnittstelle Rs 232
Status: P = Pirani; I1 bzw. I2 = Filament 1 bzw. 2 des Ionisationsvakuummeters; D = Entgasen; E = Fehler Messwert: 0.00E±00 = Druckwert in mbar (Mantisse und Exponent) Beispielstring: I2_8.21E-06 (im Ionisationsmessbereich) oder P_5.3E+01 (im Piranimessbereich) ® 09/2004 ATMION... -
Seite 14: Definition Für Steuerbits - Sc
Rücksetzen der Fehlerbits für IG bei PIRANI = 1 (AUTORANGE = 0) Abgleich Nullpunkt Pirani-Messzweig bei Vakuumdruck Abgleich Endwert Pirani-Messzweig bei Atmosphärendruck n.a. Tabelle 6 Datenformat für Steuerbits für Steuerung ATMION ® Beispiele Auswahl Modus Starten des Auswahl Filament 2... -
Seite 15: Definition Für Statusbits - Rs
(AUTORANGE=0) erfolgt Abgleich Nullpunkt Pirani-Messzweig aktiviert Abgleich Endwert Pirani-Messzweig aktiviert LEBENSBIT Lebensbit ATMION® (500ms Periode) Tabelle 7: Datenformat für Statusbits für Steuerung ATMION ® Beispiel Anfrage über Eingabe des Befehls `RS`<CR> Autorange, Messzweig IG, automatische Filamentwahl und Filament 1 sind aktiv. -
Seite 16: Service-Programm
Hilfe der Schnittstelle RS 232. Mit diesem Programm können alle unter dem Kapitel 2.5 aufgeführten Befehle ausgeführt werden. Das Programm steht zum kostenlosen Download im Internet unter den Seiten http://www.vacom.de zur Verfügung. Voraussetzung zur Nut- zung des Programms mit dem ATMION -Messsystem ist das Verbinden der RS 232 des ®... - Seite 17 Verfügung. Die Ausgabe und Speicherung der Werte wird durch das Anklicken der Schaltfläche “Stop“ angehalten. Statusfeld Dieses Feld befindet sich am unteren Rand des Programmfensters und gibt die gewählte Schnittstelle, deren eingestellte Parameter, den Speicherort der aufgezeichneten Daten so- wie die Versionsnummer der Service-Software an. Abbildung 8 Programmfester “Service-Monitor für ATMION “ ® Durch das Anklicken der Schaltfläche “Schnittstelle“ gelangt man in das Fenster für die An- schlusseinstellungen der Schnittstelle (2.5.3.1). ® 09/2004...
-
Seite 18: Montage Und Bedienung
Vakuumbereich liegenden Teile. Alle Messzellen werden im Werk einzeln ge- prüft und sorgfältig verpackt. Sollten mechanische Beschädigungen, die auf den Transport zurückzuführen sind, sichtbar sein, setzen Sie sich bitte umgehend mit der Firma VACOM in Verbindung. Reklamationen von Transportschäden nach der Inbetriebnahme bzw. später als fünf Arbeitstage nach der Auslieferung der Ware können nicht anerkannt werden. -
Seite 19: Reinigung Der Messzelle
Reinigung der Messzelle Ablagerungen auf dem Sensoraufbau des Ionisationsvakuummeters können zur Verfäl- schung des Messergebnisses führen. In diesem Fall wird ein Reinigen des Sensors durch Entgasen empfohlen, welches im Fall des ATMION -Messsystems mittels Elektronenbe- ® schuss bei Drücken ≤10 mbar geschieht. Die Häufigkeit des Entgasens hängt von der... -
Seite 20: Ausheizen Der Messzelle
Madenschrauben am Verbindungsstück Die Montage nach dem Ausheizen erfolgt in entgegengesetzter Reihenfolge. Filamente des Ionisationsvakuummeters Die ATMION -Messzelle besitzt zwei Filamente für den Betrieb des Ionisationsvakuumme- ® ters. Dadurch wird eine längere Lebensdauer der Messtelle gewährleistet. Im normalen Messbetrieb (Automatik) wird immer zuerst Filament 1 verwendet. -
Seite 21: Austausch Der Filamente Bei Standard-Messzellen
Montage und Bedienung Das jeweilig in Betrieb befindliche Filament wird angezeigt durch: “FIL 1“ oder “FIL 2“ am Anzeigegerät (Bedienungsanleitung ATMION -Display Unit) ® “Filament 1“ oder “Filament 2“ bzw. “I1“ oder “I2“ über das Service-Programm (2.5.3) Signalausgabe an PIN 10 des 15-poligen Sub-D-Steckers (Abbildung 4) Bei Standard-Messzellen besteht die Möglichkeit, die Filamente auszutauschen. Für Compact Messzellen ist nach dem Durchbrennen beider Filamente ein Messzellenwechsel notwendig. -
Seite 22: Austausch Der Messzelle
Aufschrauben der Überwurfmutter Montage des Messgerätes an der Vakuumkammer Der Pirani-Messzweig der Messzellen wird bereits vom Hersteller abgeglichen. Sollte durch den Transport ein Neuabgleich erforderlich werden, führen Sie diesen bitte nach einer der angegeben Methoden durch (3.9)! ® ATMION 09/2004... -
Seite 23: Abgleich Des Atmion ® -Messsystems
Nullpunktes sind voneinander unabhängig. Deshalb können beide Abläufe zu verschie- denen Zeitpunkten durchgeführt werden. 3.9.2 Abgleich über Schnittstelle RS 232 oder Profibus Der Abgleich über die serielle Schnittstelle RS 232 bzw. den Profibus erfolgt durch Einga- be der entsprechenden Befehle oder Steuerbits (Tabelle 6, Bedienungsanleitung ATMION ® Profibus). Die angegebenen Steuerbits für die Eingabe über die serielle Schnittstelle RS 232 entsprechen dem 3. Ausgangswort (aus der Sicht des Masters) beim Profibus. Arbeiten Sie nach folgenden Schritten: ®... -
Seite 24: Abgleich Über Die Externen Steuereingänge
Messsystem arbeitet nur mit dem Pirani-Messzweig und überprüft den momentanen Endwert des Pirani-Messzweiges Zusätzlich zu PIN 4 (Control 1) auch PIN 5 (Control 2) mit PIN 7 oder 8 (Betriebspannung 24 V DC) verbinden es erfolgt automatisch die Korrektur des Endwertes des Pirani-Messzweiges ® ATMION 09/2004... -
Seite 25: Abbildung 9 Systematische Darstellung Des Abgleichvorgangs Über Die Externen Steuereingänge
Control 1 24 V Control 2 t > 2 s für jeden einzelnen Schritt Atmosphärendruck Abpumpen Druck < 10 mbar 1000 mbar auf einen Druck < 10 mbar Abbildung 9: Systematische Darstellung des Abgleichvorgangs über die externen Steuereingänge ® 09/2004 ATMION... -
Seite 26: Technische Daten, Zubehör
±25 % (10...10 mbar) ±10 % (10 ...10 mbar) Ausheiztemperaturen: max. 250 °C am Anschlussflansch Gewicht: max. 1,6 kg Abmessungen: Breite: 105 mm (IP40) 113 mm (IP65) Höhe: 70 mm (IP40) 76 mm (IP65) Tiefe: 191 mm (IP40) 194 mm (IP65) ® ATMION 09/2004... - Seite 27 Schutzadapter (Tubus) mit Flanschverbindung DN 40 CF zur Vakuumkammer Flanschverbindung mit Kupferdichtring und sechs Schrauben und Muttern M6 Kupferdichtring S ensorflansch mit drei Madenschrauben M2 zur Befestigung des Steckadapters Steckverbindung zwischen Messzelle und Steckadapter Steckadapter mit Abgleichleiterplatte und Überwurfmutter zur Messelektronik Steckverbindung zwischen Steckadapter und Messelektronik Messelektronik ® 09/2004 ATMION...
-
Seite 28: Technische Daten Der Compact Version
Messgenauigkeit: ±25 % (10...10 mbar) ±10 % (10-2...10 mbar) Ausheiztemperaturen: max. 180 °C am Anschlussflansch Gewicht: max. 1,0 kg Abmessungen: Breite: 105 mm (IP40) 113 mm (IP65) Höhe: 70 mm (IP40) 76 mm (IP65) Tiefe: 147 mm (IP40) 150 mm (IP65) ® ATMION 09/2004... - Seite 29 Abbildung 12: Gerätezeichnung der Compact Version (Abmessungen in mm) Abbildung 13: Schematischer Geräteaufbau der Compact Version Messzelle mit Flanschverbindung DN25KF bzw. DN40CF zur Vakuumkammer sowie Abgleichleiterplatte Überwurfmutter zur Verbindung mit der Messelektronik Steckverbindung der Messzelle mit der Messelektronik Messelektronik ® 09/2004 ATMION...
-
Seite 30: Analogsignal
Abbildung 15: Anschlussbelegung PIN 1 Anschluss Piranidraht PIN 2 Anschluss Piranidraht PIN 3 Anodengitter PIN 4 Kollektor PIN 5 Anodengitter PIN 6 Pirani-Eingang PIN 7 Pirani-Ausgang PIN 8 Filament 1 PIN 9 Filament Com PIN 10 Filament 2 ® ATMION 09/2004... -
Seite 31: Zubehör
Anzeigegerät für ein ATMION ® -Messgerät mit zusätzlicher Option für eine PC-Steuerung des Messgerätes (24 V DC) MVC3-A0 Anzeige- und Steuergerät für ein ATMION-Messgerät (100-240 V AC) MVC3-AM Anzeige- und Steuergerät für ein ATMION-Messgerät und zwei zusätzliche Vorvakuumsensoren (100-240 V AC) ATPC Adapter für Anschluss der RS 232-Schnittstelle an einen PC... -
Seite 32: Anhang 1 Sicherheitsinformationen Für Die Rücksendung Von Kontaminierten
Sicherheitsinformationen für die Rücksendung von Vakuumgeräten und -komponenten Allgemeine Information Der Unternehmer (Betreiber) trägt die Verantwortung für die Gesundheit und Sicherheit seiner Arbeit- nehmer. Diese erstreckt sich auch auf das Personal, das bei Reparatur und/oder Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten beim Betreiber oder Hersteller mit diesen in Berührung kommt. Die Kontaminierung der Vakuumgeräte und -komponenten muss kenntlich gemacht werden und die Erklärung über Kontami- nierung ist auszufüllen. -
Seite 33: Erklärung Über Kontaminierung Von Vakuumgeräten Und -Komponenten
Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt werden. Sie muss rechtsverbindlich unterschrie- ben werden und im Original vorliegen. 1. Allgemeine Informationen zur Rücksendung (zwingend erforderlich) Lieferschein- / Rech- Bezeichnung / Stk. / VACOM- Serien-Nr. Grund für die Rücksen- nungs- / Auftrags-Nr. Beschreibung Material-Nr. /... - Seite 35 VACOM VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH Gabelsbergerstraße 9 07749 Jena Germany Tel. +49 3641 4275-0 Fax +49 3641 4275-82 info@vacom.de www.vacom.de www.vacom-shop.de www.vacom.de...