Pfeiffer TPH 240 Betriebsanleitung
Verwandte Anleitungen für Pfeiffer TPH 240
Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer TPH 240
- Seite 1 PFEIFFER VACUUM Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d'emploi Turbomolekularpumpe Turbomolecular Pump Pompe turbomoléculaire PM 800 172 BN/H (9702) N 3719...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Contenu Contents Inhalt Généralités General Allgemeines Pompes å vide primaire Vorvakuumpumpen Backing pumps Installation Installation Installation Remarque concernant I'instal- Note concerning installation Hinweis zur Installation High vacuum connection lation Hochvakuumanschluß Connexion vide poussé Insertion of the splinter shield Einsetzen des Splitterschutzes 3.2.1 3.2.1 Mise en place du pare-éclats... - Seite 3 Instructions Instruction service Betriebsanweisung für pour Pompes turbomoléculaires Turbomolecular Pumps Turbomolekularpumpen TPH 240 H, TPU 240 H TPH 240 H, TPU 240 TPH 240 H, TPIJ 240 Important Information Directives importantes Wichtige Hinweise A Ia réception de I'envoi, s'assurer au...
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Seite 4: Généralités
— "Schadstoffe" sind: Stoffe und Zuberei- — "Harmful substances" are defined Les "substances toxiques" sont celles materials and preparations in accor- énumérées par l'article 2 de la pres- tungen gemäß EG-Richtlinie cription de la CE en date du 18 septem- 18.09.1979, Artikel dance with... - Seite 5 2 Pompes å vide primaire 2 Backing pumps 2 Vorvakuumpumpen Fig. 2 Fig. 2 Fig. 2 We recommend application of our DUO Comme pompe primaire nous recom- A's Vorvakuumpumpe empfehlen mandons notre pompe vide rotative å 016 B rotary vane vacuum pump (Fig.
- Seite 6 — Si Ia position de montage de Ia pompe — If the installation attitude deviates —Weicht die Einbaulage von derVertika- s'écarte de Ia verticale, il faut monter from perpendicular, the pump must be len ab, muß die Pumpe mit dem Vorva- la pompe avec le raccord vide primaire installed with the roughing...
- Seite 7 10. In PFEIFFER-Vorva- safety valve 10. A safety valve is incor- de sécurité 10. Dans les pompes pri- porated in the PFEIFFER backing maires PFEIFFER est intégrée une kuumpumpen ist ein Sicherheitsventil integriert. vanne de sécurité. pumps.
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Seite 8: Cooling
3.4 Cooling Refroidissement Kühlung The turbo pumps must be cooled in Pour dissiper Ia chaleur provenant Zum Abführen der Reibungswärme order to dissipate the frictional heat d'une part, de Ia friction des parties beim Heizen auftretenden Wärme and the heat produced during heating. -
Seite 9: Cooling Water Connection
— Zubehör für Kühlwasseranschluß, siehe — Cooling water connection accessories, refroidissement (19) see PFEIFFER-catalog. d'eau. PFEIFFER-Katalog. —Accessoires pour raccord eau de refroi- dissement voir catalogue PFEIFFER. Fig. 6 7 Kühlwasseranschluß Turbopumpe 11 Anschluß... -
Seite 10: Fitting The Air Cooling
3.4.2.1 Monter Ie refroidissement 3.4.2.1 Fitting the air cooling 3.4.2.1 Luftkühlung montieren — Place turbopump (blank flanged to —Turbopumpe (blindgeflanscht, damit — Placer la pompe turbo (obturée par prevent damage to the sealed surface) Dichtfläche nicht beschädigt wird) auf bride afin que Ia surface d'éntanchéité on its high vacuum flange. -
Seite 11: Venting Connection
Raccord de remise å Vair 3.5 Flutanschluß 3.5 Venting connection Fig. 8 Fig. 8 Fig. 8 Les turbopompes peuvent étre rem- The turbo pumps can be vented Die Turbopumpen können über die seri- plies å Ia mein par I'intermédiaire manually via the standard screw plugs enmäßigen Verschlußschrauben l'orifice de remptissage... -
Seite 12: Operation
4 heures. — Switch off the turbo pump. — Close the safety valve in the fore Abschalten vacuum line. If PFEIFFER backing Arrat —Turbopumpe abschalten. pumps are used, the safety valve clo- Couper Ia pompe turbo. — Sicherheitsventil in Vorvakuumleitung —... -
Seite 13: Instandhaltung
TL 011 operating medium TL 011 used by titude d'agent moteurTL 011 utilisé PFEIFFER is 2 years if the pump is beträgt ohne Betrieb 2 Jahre. par PFEIFFER est de 2 ans hors fonc- not operated. — Hochvakuumflansch der Turbopumpe —... - Seite 14 Pendant ce temps, soulever et abaisser During this period, slowly lift and lower — — Pumpe in dieser Zeit mehrmals lang the pump serveral times to allow for Ia pompe plusieurs fois, ce qui provo- sam heben und senken, so daß an den que un rirwage des disques...
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Seite 15: Changing The Operating
Belastungen Oder unrei- ses are involved please get in touch contenant des impuretés: nen Prozessen: Wechselintervall Ajuster la fréquence de rechange avec with your PFEIFFER Center for advice. PFEIFFER-Service abklären. le service aprés-vente PFEIFFER. —Turbompumpe ausschalten, auf Atmo- Switch off turbopump, vent to atmo- sphärendruck... -
Seite 16: Drive Unit
5.3. I Prüfen des Motors mit Antriebs- 5.3. I Checking the motor with TCP 5.3. I Vérification du moteur avec elektronik electronic drive unit commande électronique Achtung! Hallsondenspannungen sind Caution! Hall probe voltages are not Attention! les tensions émises par les potential-free. -
Seite 17: Replacement Of Bearings
Ein Wechsel des motorseitigen Kugella- On the spot motor side ball bearing un changement des roulements å bil- gers ist vor Ort durch den PFEIFFER- changes can be carried out by les cöté moteur est possible sur place Service möglich. PFEIFFER service technicians. -
Seite 18: Returning To Service Center
We request that you contact the PFEIFFER Service Center responsible n'hésitez pas contacter l'agence Schwierigkeiten Ihren zuständigen PFEIFFER Ia plus proche dans votre for you should problems arise. PFEIFFER-Service. All repair orders are carried out on the district. Reparaturaufträge werden ausschließ- Les ordres de réparation... -
Seite 19: Technical Data
6 Caractéristiques techniques 6 Technical data 6 Technische Daten Pompe turbomoléculaire Turbomolecular pump Turbomolekularpumpe Diamétre nominale de raccordement Nominal diameter Anschlußnennweite ISO-K CF-F Inlet Entrée Eintritt 25 ISO-KF Outlet Sortie Austritt Volume flow rate Débit volume pour Saugvermögen für Nitrogen N2 Azote N2 Stickstoff Helium... -
Seite 20: Dimensions
Dimensions Dimensions Mage DN IOISO_KY 011 h ON IOCISOK 'cocy Fig. 31 O Raccordement vide élevé High-Vacuum Connection Hochvakuumanschluß O Bride vide primaire O Fore-Vacuum Flange O Vorvakuumflansch G Raccordement entrée d'air O Venting Connection O Flutanschluß Raccordement eau de refroidissement 8 Cooling Water Connection Kühlwasseranschluß... -
Seite 21: Ultimate Pressure
End- ing-out. Depending on the type of apres étuvage. La pression finale pour druck für die Pfeiffer Turbo liegt je nach backing pump system used. the ulti- les Turbo-Pfeiffer est située, selon le verwendetem Vorpumpensystem mate pressure of the Pfeiffer turbo systeme de pompage primaire utilisé,... -
Seite 22: Spare Parts
ErsatzteilpaketI (Lagerwechsel)/ Spare part packageI (Bearing replacement)/ PM 058 Paquet des piöces de rechange I (Remplacement des paliers) Ersatzteilliste/ Spare parts list/ Pieces de rechange TPH 240, TPIJ 240 Luftkühlung / Air cooling / Refroidissement par air Stück Benennung / Description / Designation Pos. - Seite 23 Fig. 33 C40-777 Fig. 34...
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Seite 24: Operating Medium
8 Agent moteur 8 Operating Medium 8 Betriebsmittel Numéros de commande Order Codes BesteII-Nummern PM 063 Réservoir d'agent Operating medium Betriebsmittelspeicher PM 063 PM 063 moteur 9 Accessoires 9 Accessories 9 Zubehör 115 V/230V PM 043 Chemise chauffante Heating jacket Heizmanschette PM 006 Pare-éclats... -
Seite 25: Allgemeine Information
Sicherheitsinformation Safety information Information sécurité für die Rücksendung return vacuum sur I'état d'appareils von Vakuumgeräten systems and compo- de composants de tech- -komponenten nique du vide ä retour- nents å I'usine Allgemeine Information General Introduction Information générale Der Unternehmer (Betreiber) trägt die The employer (user) is responsible L'employeur... -
Seite 26: Erklärung Über Kontaminierung
Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Wenn die Reparatur/Wartung im Herstellerwerk und nicht Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, Wird die Sendung und -komponenten Wird nur durchgeführt, wenn eine kor- rekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. -
Seite 27: Declaration Of Contamination
Declaration of Contamination of Vacuum Equipment and Components The repair and/or service of vacuum components will only facturer could refuse to accept any equipment without be carried out if a correctly completed declaration has been declaration. submitted. Non-completion witl result in delay. - Seite 28 Déclaration sur l'état de contamination de matériel de technique du vide rempli. Selon l'état du matériel, nous nous réservons le droit Notre service peut intervenir et s'occuper du matériel seule- de refuser la réparation dans notre usine. ment si vous I'avez envoyé avec ce certificat précisement Ce certificat doit étre rempli et signé...
- Seite 29 PFEIFFER VACUUM Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstr. Herstellererklärung im Sinne folgender EU-Richtlinien: - Maschinen 89ß92JEWG - Elektromagnetischø Verträglichkeit 89B36/EWG - Niederspannung 73/23/EWG Hiermiterklåren wir. daß das unten aufgeführte Produktzum Einbauin eine Maschine bestimmtist und daßderen Inbetriebnahmeso lange untersagt ist, bis festgestettt wurde, daß das Endproduktden Bestimmungonder EU-Richtlinie89/392/EWG, Anhang II B entspricht.
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Seite 30: Unterschriften
• 73i23/E.O,K, napaüoa gnmvn, 89i3G2iE.OX„ Produkt/ProducVProduiVProdotto/Producto/ProdukVProduWProduto/ TPH 240 TPU 240 Angewende Richtlinien, harmonisierte Normen undangewendete, nationale Normen inSprachen und Spezifikationen: Guidelines, harmonised standards, n ational s tandards in languages andspecifications which havebeenapplied: Les directives appliquées, normes h armonisåas et lesnormes n ationales a ppliquées enlangues e t spécifications:...