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Betriebsanleitung • Operating Instructions
Original-Betriebsanleitung
Turbomolekularpumpe
HiPace™ 2400 MC

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum HiPace 2400 MC

  • Seite 1 Betriebsanleitung • Operating Instructions Original-Betriebsanleitung Turbomolekularpumpe HiPace™ 2400 MC...
  • Seite 2 1.2. Piktogramm-Definition ............3 4.13. Notabschaltung..............18 4.14. Fanglager................19 2. Kennenlernen der Pumpe 4.15. Überwachung des Wuchtzustandes ......19 HiPace 2400 MC ....... 4 4.16. Notstrombetrieb .............. 19 2.1. Hauptmerkmale ..............4 Bestimmungsgemäße Verwendung ....... 5 4.17. Stillsetzen für längere Zeit..........19 4.18.
  • Seite 3 ☞ Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen. Sperrgasanschluss ☞ Turbopumpe nicht mit offenem Hochvakuumflansch betreiben. ☞ Turbopumpe HiPace 2400 MC mit Magnetlagerelektronik Verwendete Abkürzungen = Anzeige- und Bediengerät TM 3000 nicht umbauen oder verändern. = Anzeige- und Bediengerät ☞...
  • Seite 4 2. Kennenlernen der Pumpe HiPace 2400 MC 2.1. Hauptmerkmale Transport Bei Transport und Montage keine mechanische Die Turbopumpe HiPace 2400 MC bildet mit der Antriebs- und ACHTUNG Belastung auf die Antriebs- und Magnetlager- Magnetlagerelektronik TM 3000 eine komplette Einheit. elektronik TM 3000 ausüben.
  • Seite 5 Wärmeleistung (siehe Kap. 11. Technische Daten), Bestimmungsgemäße Verwendung – der Einsatz in Umgebungen, die eine Schutzart besser IP 54 – Die Turbopumpe HiPace 2400 MC darf nur zur Vakuum- verlangen, erzeugung eingesetzt werden. – das Einsetzen der Pumpen in Anlagen von denen stoßartige –...
  • Seite 6 WARNUNG arretiert den Rotor zum Schutz der Fanglager einer solchen Befestigung entstehen, während des Transports. Deckel und Blindflan- übernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung. sche schützen die Pumpe vor Verunreinigungen und sollten erst unmittelbar vor der Inbetrieb- Verwendung eines Pfeiffer Vacuum nahme entfernt werden.
  • Seite 7 Bauteile zu verwenden. Anderenfalls kann es zum Drehen D oder/or E oder Abreißen der Turbopumpe kommen. Die Bauteile sind 1) Mutter mit Flansch Spezialausführungen von Pfeiffer Vacuum. – Die Mindestfestigkeit von 170 N/mm des Flanschmaterials ➡ Darauf achten, dass die Dichtflächen nicht beschädigt sind.
  • Seite 8 S S t t i i f f t t s s c c h h r r a a u u b b e e u u n n d d S S a a c c k k l l o o c c h h Variante 3 - Stiftschraube und Durchsteckbohrung ➡...
  • Seite 9 Einzelheiten zur Relaisbox Vorvakuumpumpe und deren 33 Schmutzfänger Installation siehe Betriebsanleitung PT 0030 BN. 3.4. Kühlung anschließen Die Turbopumpe HiPace 2400 MC ist ausschließlich mit Wasserkühlung zu betreiben. (Kühlwasseranschlüsse siehe Kap. 11.1. Maßbild) Kühlung aus Kühlwassernetz Um Ablagerungen in der Pumpe zu vermeiden, muss das...
  • Seite 10 Pumpe betriebsbereit. Der Betriebszustand wird durch drei LEDs an der Magnetlagerelektronik TM 3000 angezeigt (siehe Kap. 7.). Steckeransicht der Antriebs-und Magnetlagerelektronik TM 3000 Service Remote (nur für Pfeiffer Vacuum- Service) Interface RS 485 Optionsschacht DC Input (z.B. für Profibus...
  • Seite 11 TM 3000 an Netzteil TPS 1400/1401 3.6. Flut-und Sperrgasventil anschließen anschließen Das Flut- und das Sperrgasventil bilden eine Einheit. Sie sind serienmäßig Bestandteil der Turbopumpe und bei Sicherstellen, dass das Netzteil während des Auslieferung montiert und angeschlossen. Der Einlass erfolgt WARNUNG Anschließens vollständig vom Stromnetz über einen gemeinsamen Kleinflanschanschluss DN 10 ISO-KF.
  • Seite 12 Steckerbelegung REMOTE P P i i n n B B e e n n e e n n n n u u n n g g / / E E r r l l ä ä u u t t e e r r u u n n g g F F u u n n k k t t i i o o n n T T y y p p + 24 V DC *...
  • Seite 13 S S t t e e c c k k e e r r b b e e l l e e g g u u n n g g R R S S - - 4 4 8 8 5 5 3.8.
  • Seite 14 3.9. Anschlussplan REMOTE potential free contacts electrically insulated optically insulated Optional slot DC Input RS485 SERVICE 140 VDC 1) Nur für Pfeiffer Vacuum-Service...
  • Seite 15 ➡ Kühlwasserzufluss öffnen und Durchfluss kontrollieren. Magnetlager sind grundsätzlich verschleißfrei, haben jedoch begrenzte Tragkraft. Daher ist die HiPace 2400 MC mit Die folgenden w w i i c c h h t t i i g g e e n n Voreinstellungen sind bei trocken laufenden Fanglagern ausgerüstet, die im Falle...
  • Seite 16 4.5. Normalbetrieb der Turbopumpe 4.9. Drehzahlstellbetrieb Der Hochlauf der Turbopumpe erfolgt mit maximaler Antriebs- Der Drehzahlstellbetrieb wird gewählt, wenn der Gasdurch- leistung. satz der Turbopumpe verändert bzw. reduziert werden soll. Bei Erreichen der Solldrehzahl [ [ P P : : 3 3 1 1 5 5 ] ] wird auf Drehzahlrege- Das Druckverhältnis und das Saugvermögen der Pumpe lung umgeschaltet und der Motorstrom [ [ P P : : 3 3 1 1 0 0 ] ] stellt sich auf sinken mit der Drehzahl.
  • Seite 17 4.11. Gasartabhängiger Betrieb Gasdurchsatzkennlinie für “Gas Mode 1” Bei hohem Gasdurchsatz und hoher Drehzahl wird der Rotor Drehzahl 490 Hz, durch Gasreibung stark aufgeheizt. Zur Vermeidung von Kühlwasserdurchsatz 100 l/h Überhitzung ist in die TM 3000 eine Leistungs-Drehzahl-Kenn- linie implementiert, wodurch die Pumpe bei jeder Drehzahl 6000 mit maximal zulässigen Gasdurchsatz ohne die Gefahr einer Schädigung betrieben werden kann.
  • Seite 18 ➡ Nachdem die Drehzahl 0 Hz erreicht hat, das Netzteil TPS spruchung führen. 1400/1401 vom Stromnetz trennen. Da die Turbopumpe, das Die HiPace 2400 MC darf nur über das bereits Magnetlager-Steuergerät und das Netzteil nicht über eine montierte Flutventil geflutet werden. Es darf Einschaltsperre/Sperrkennzeichnung verfügen, lässt sich...
  • Seite 19 4.14. Fanglager 4.16. Notstrombetrieb Bei starken äußeren Erschütterungen oder unsachgemäßer Fällt während des Betriebes der Turbopumpe die Netzversor- Bedienung wird der Rotor durch trocken laufende Fanglager gung aus, wirkt der Pumpenmotor als Generator und über- gestützt (siehe auch Kap 4.1.). nimmt die Stromversorgung der Elektronik.
  • Seite 20 4.18. Betrieb über Fernbedienung Die folgenden Funktionen werden durch “SPS-High-Pegel” aktiviert und durch “SPS-Low-Pegel” deaktiviert: Bei Netzausfall während des Betriebs läuft die ACHTUNG Turbopumpe nach Netzwiederkehr selbst- – Motor TMP EIN/AUS ständig an. – Heizung EIN/AUS – Standby-Drehzahl EIN/AUS – Pumpstand EIN/AUS –...
  • Seite 21 ➡ «0 0 5 5 5 5 : : C C o o n n f f A A O O 1 1 » wählen 4.19. Flutmodi ➡ Funktion «0 0 », «1 1 » oder «2 2 » wählen: Fluten ist nur nach dem Ausschalten des Pumpstandes 0 = Drehzahlsignal, 0 - 10 V DC ...
  • Seite 22 Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E021 – Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E043 E044 Übertemperatur Antriebsendstufe Kühlung der Pumpe kontrollieren wenn i.O., Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E045 Übertemperatur Motor Kühlung der Pumpe kontrollieren wenn i.O., Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E089 Rotor außerhalb Sollposition; Stabilisierung nicht möglich Stöße und Vibration vermeiden;...
  • Seite 23 Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E824 E825 Fehler redundantes Drehzahlmesssystem Im Wiederholfall Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E890 Fanglagerverschleiß > 100 % Zum Fanglager auswechseln Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E813 Fehler Rotorunwucht Pfeiffer Vacuum-Service verständigen E913 1) Drehrichtungsfehler Fehler setzt sich selbst zurück. Achtung! Pumpe versucht selbstständig wieder anzulaufen.
  • Seite 24 0 = Schwere Edelgase; 1=übrige Gase  Opmode Rem Bedienungsart Antriebsgerät 0 = Remote/Schnittstelle RS-485/Tastenbedienung nach Pfeiffer Vacuum Standard* 1 , 1 = wie 0 aber Remoteeingänge haben Vorrang, wenn Pin auf der Fernbedienung gesteckt * 1 ; *1: Schnittstelle RS-485 ohne Funktion...
  • Seite 25 6.3. Statusabfragen (nur lesbar) Anzeige Name, Beschreibung Ein- RS 485 Daten- typ 2) heit Werk Rem ctrld Funktion der Fernbedienung ”REMOTE” aktiv Swpnt att Drehzahlschaltpunkt erreicht Error code aktueller anstehender Fehlercode Drv ovtemp Übertemperatur Elektronik – TMP ovtemp Übertemperatur Pumpe Rotspd Att Solldrehzahl erreicht (±2%) TMP Accel...
  • Seite 26 6.4. Sollwertvorgaben (lesbar und schreibbar) Anzeige Name, Beschreibung Ein- RS-485 Daten- typ 2) heit Werk  TMP RUTime maximal zulässige Anlaufzeit  Switch pnt Drehzahl Schaltpunkt  TMSheatset Sollwert TMS-Heiztemperatur °C  TMProt set Sollwert Drehzahl im Drehzahlstellbetrieb 50.0 100.0 50.0 ...
  • Seite 27 7. Überwachung des Betriebszustandes 7.1. Betriebsanzeige über LED Über drei in der Frontplatte des TM 3000 eingebaute LEDs ist es möglich auf bestimmte Betriebszustände der Turbopumpe und des TM 3000 zu schließen. Folgende Betriebszustände werden angezeigt: L L E E D D - - D D a a u u e e r r E E I I N N D D a a u u e e r r E E I I N N l l a a n n g g s s a a m m e e s s...
  • Seite 28 Rote LED an der TM 3000 leuchtet • Sammelfehler • Reset über Netz aus/ein oder Remote Pin 5 • Differenzierte Fehleranzeige mit DCU 001 oder HPU 001 möglich 1) 1) Ist kein DCU 001 oder HPU 001 vorhanden, zum Überprüfen der Fehlerursache Pfeiffer Vacuum- Service verständigen.
  • Seite 29 Sie verschiedene Möglichkeiten, Ihre Anlagenverfüg- barkeit aufrecht zu erhalten: herunterladen. ➡ Service-Anforderung ausfüllen und per Fax oder Email an – Pumpe vor Ort durch den Pfeiffer Vacuum-Service reparie- ren lassen; Ihre Pfeiffer Vacuum Service-Adresse senden. ➡ Bestätigung der Service-Anforderung von Pfeiffer Vacuum –...
  • Seite 30 übernehmen wir keine Haftung für Personen- oder Materialschäden und der Haftungs- und Gewährleistungsanspruch erlischt. Für alle Wartungs- oder Instandsetzungsarbeiten wenden Sie sich bitte an Ihre zuständige Pfeiffer Vacuum-Servicestelle. Keine mechanische Belastung auf die Antriebs- ACHTUNG und Magnetlagerelektronik TM 3000 ausüben. Notizen / Notes:...
  • Seite 31 11. Technische Daten Größe Einheit HiPace 2400 MC Anschlussnennweiten Eingang DN 250 ISO-K DN 250 ISO-F DN 250 CF-F Ausgang DN 40 ISO-KF Flut-/Sperrgasanschluss DN 10 ISO-KF Nenndrehzahl 1/min / Hz 29 400 / 490 Standby-Drehzahl 1/min / Hz 19 600 / 326 Hochlaufzeit (bis 90 % Nenndrehzahl, Vorvakuumdruck ≤...
  • Seite 32 11.1. Maße HiPace 2400 MC DN 250 ISO-K DN 250 ISO-K 199 (COG) Water cooling G 1/4" DN 40 ISO-KF Purgegas- and Venting- Valve DN 10 ISO-KF HiPace 2400 MC DN 250 ISO-F 300.3 253.1 254.5 Water cooling 178 (COG) 142.5...
  • Seite 33 HiPace 2400 MC DN 250 CF-F DN 250 CF 194 (COG) Water Cooling G1/4" DN 40 ISO-KF Purgegas- and Venting- Valve DN 10 ISO-KF...
  • Seite 34 12. Zubehör Benennung Größe Nummer Bemerkung/ Bestellmenge zugehörige Anleitung Bauteile zum Kühlen Schmutzfänger R 3/8” P 4161 300 2R Wasserrückkühler TZK 2000 230 V, 50 Hz PM Z01 240 PM 0369 BN Bauteile zum Fluten Trockenvorlage TTV 001 PM Z00 121 PM 0022 BN (mit Zeolith gefüllt) Befestigungssätze zur Installation...
  • Seite 35 Zusätzlich entspricht das unten aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestim- mungen der EG-Richtlinie "Elektromagnetische Verträglichkeit" 2004/108/EG . Bevollmächtigter für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Jörg Stanzel, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. HiPace 2400 MC Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale...
  • Seite 36 Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs Vacuum measurement Gas analysis System engineering Service Pfeiffer Vacuum Technology AG · Headquarters/Germany Tel. +49-(0) 64 41-8 02-0 · Fax +49-(0) 64 41-8 02-2 02 · info@pfeiffer-vacuum.de · www.pfeiffer-vacuum.net...