Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

FerroTec CARRERA Montageanleitung

Hochspannungsnetzgerät
Inhaltsverzeichnis

Werbung

Montageanleitung
Ferrotec GmbH
Postfach 33
Seerosenstraße 1
72669 Unterensingen
Telefon:
+49 7022 9270-0
Telefax:
+49 7022 9270-10
Internet:
http://www.ferrotec-europe.de
E-Mail:
ebgun@de.ferrotec.com
Ausgabe 1.3.4
Original
Hochspannungsnetzgerät

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltszusammenfassung für FerroTec CARRERA

  • Seite 1 Montageanleitung Hochspannungsnetzgerät Ferrotec GmbH Postfach 33 Seerosenstraße 1 72669 Unterensingen Telefon: +49 7022 9270-0 Telefax: +49 7022 9270-10 Internet: http://www.ferrotec-europe.de E-Mail: ebgun@de.ferrotec.com Ausgabe 1.3.4 Original...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    Weiterverkauf der Anlage ist die Montageanleitung immer mitzuliefern. Haftung Die Haftung für das Hochspannungsnetzgerät CARRERA beruht auf den Grundlagen der deutschen Gesetzgebung. Es wird darauf hingewiesen, dass die Haftung des Herstellers aus- geschlossen ist bei Schäden aufgrund von: nicht bestimmungsgemäßer Verwendung;...
  • Seite 3: Abbildungsverzeichnis

    Montageanleitung Carrera 5 Installation ........................16 5.1 Lieferumfang ..........................16 5.2 Transport und Verpackung ......................16 5.3 Zwischenlagerung ........................17 5.4 Transport zum Aufstellort (betreiberseitig) ..................17 5.5 Aufstellung, Montage (nur für Fachpersonal) ................17 6 Funktion und Betrieb ....................23 6.2 Erstinbetriebnahme (nur für Fachkräfte) ..................
  • Seite 4: Einbauerklärung

    Montageanleitung Carrera 1.3 Einbauerklärung Bevollmächtigte Person für die Zusammenstellung der technischen Unterlagen: Alfred Mutscheller, Produktmanager EB Evaporator, Ferrotec GmbH Seerosenstrasse 1 72669 Unterensingen 4/30 Ferrotec GmbH 1.3.4...
  • Seite 5: Übersicht Und Bestimmungsgemäße Verwendung

    Montageanleitung Carrera 2 Übersicht und Bestimmungsgemäße Verwendung 2.1 Übersicht CARRER A- System Abbildung 1: Übersicht Verdampfungssystem 2.1.1.1 Hauptkomponenten des CARRERA-Systems 1. Hochspannungsnetzgerät HVP 2. Steuereinheit GENIUS mit Fernbedienung 3. Filamentstromversorgung (FPS) 4. Elektronenstrahlverdampfer 5. Vakuumkammer 6. Erdungsstab 7. Ratensensor 5/30 Ferrotec GmbH 1.3.4...
  • Seite 6: Bestimmungsgemäße Verwendung

    Zur bestimmungsgemäßen Verwendung gehört auch die Einhaltung der vom Hersteller vorge- schriebenen Betriebs-, Wartungs- und Instandhaltungsbedingungen. Hinweis zur Anwendung der EMV Richtlinie 2004/108/EG in der Herstellererklärung:Das Hochspannungsnetzgerät CARRERA darf nur im Industriebereich betrieben werden. 2.3 Begriffserklärung High Voltage Power Supply (Hochspannungs-Stromversorgung)
  • Seite 7: Allgemeine Daten

    Montageanleitung Carrera 2.4.2 Produktionsdaten Leistung: 3 kW 5 kW 6 kW 10 kW 12 kW Netzanschluss: EU Version: EU Version: 3 x 400 V +/-10 % 2X 3 x 400 V +/-10 % US Version: US Version: 3 x 208 V +/-10 %...
  • Seite 8: Erklärung Der Verwendeten Sicherheitssymbole

    Montageanleitung Carrera „Verweise“ sind mit dem Wort "Verweis" gekennzeichnet. Sie machen auf weitere Literatur aufmerksam. 3.1.1 Erklärung der verwendeten Sicherheitssymbole G E F A H R ! Gefahren durch elektrischen Strom sind mit nebenstehendem Symbol gekennzeichnet. G E F A H R ! Verbrennungsgefahren sind mit nebenstehendem Symbol gekennzeichnet.
  • Seite 9: Eingebaute Sicherheitssysteme

    • 3.2.1.4 Interne Sicherheitsschaltung Prüfzyklus: Monatliche Funktionsprüfung Über den Stecker X304 wird das CARRERA Netzgerät in die Not-Aus-Abschaltung der Anlage eingebunden. 3.2.1.5 Anlagensteuerung Prüfzyklus: Monatliche Funktionsprüfung, Sichtprüfung, Messung Die Anlagensteuerung muss ein 5-Leiter-Zuleitungssystem, mit 3-Phasen und mit belastbarem MP und separater Erdleitung (mit GRÜN/GELBer Leitungsumhüllung) zur Verfügung stellen.
  • Seite 10: Schnittstellen Des Hochspannungsnetzgerätes

    Das Bedien- und Wartungspersonal wird am Einbauort des Hochspannungsnetzgerätes vom Personal der Fa. Ferrotec GmbH auf Wunsch gegen Erstattung der Kosten ausgebildet. Soll- ten Fragen oder Unsicherheiten auftreten, bitte bei der Fa. Ferrotec GmbH nachfragen. H I N W E I S ! Es ist strengstens untersagt, die Sicherheitssysteme außer Kraft zu...
  • Seite 11: Abbildung 3: Schnittstellen Des Hochspannungsnetzgerätes (Rückseite)

    Montageanleitung Carrera Am Hochspannungsnetzgerät (Rückseite) befinden sich folgende Schnittstellen: Abbildung 3: Schnittstellen des Hochspannungsnetzgerätes (Rückseite) 1. Hochspannungsausgang 2. Sicherheitsschalteranschluss 3. Digitalinterface (Verbindung zur Steuereinheit) 4. Analoginterface (Verbindung zur Steuereinheit) 5. Sicherungen 6. Erdung 7. Netzzuleitung 8. Anschluss Master/Slave: Steuersignal Regelung 9.
  • Seite 12: Pflichten Des Betreibers

    Montageanleitung Carrera 3.4.1.2 Fachkraft Eine Person mit geeignetem Training, geeigneter Ausbildung und Erfahrungen die sie in die Lage versetzt Risiken zu erkennen und Gefährdungen zu vermeiden. In der Definition ange- lehnt an die EN 60204-1: 2006 3.5 Pflichten des Betreibers H I N W E I S ! In dem EWR (Europäischen Wirtschaftsraum) sind die nationale...
  • Seite 13: Anschlüsse

    Durch den Betreiber ist nur eine Potentialausgleichsschiene am Vakuumkammerboden vorzusehen. Von diesem Erdungspunkt sind alle Geräte sternförmig (Carrera, GENIUS, FPS, und Erdungsstab) zu verbinden. Hierfür verwenden Sie die vorgesehenen Erdungspunkte an den einzelnen Geräten. Die Potentialausgleichsschiene muss an der Hauserdung geerdet werden. Bei nicht sachgemäßer Installation erlischt die Garantie.
  • Seite 14: Gefahren

    Montageanleitung Carrera G E F A H R ! Achten Sie beim Rüsten, Warten und bei Reparaturarbeiten auf die Gefahren durch elektrischen Strom! Vor dem Berühren des Gerätes ist dieses mit dem Erdungsstab zu entladen. G E F A H R ! An erhitzten Bauteilen besteht die Gefahr der Verbrennung.
  • Seite 15: Einbau Von Ersatz- Und Verschleißteilen

    Verwendung solcher Produkte kann daher u. U. konstruktiv vorgegebene Eigenschaften Ihrer Maschine negativ verändern. Für Schäden, die durch die Verwendung von Nicht-Origi- nalteilen und Nicht-Original-Zubehörteilen entstehen, ist die Haftung der Fa. Ferrotec GmbH ausgeschlossen. G E F A H R ! Die Reparatur innerhalb des Gerätes ist grundsätzlich untersagt.
  • Seite 16: Installation

    6. Erdungskabel (sieh Abb. 5-2) Nr. 950001 7. Sicherheitsschalterkabel (siehe Abb. 5-2) Nr. 950010 5.2 Transport und Verpackung Geräte und Komponentenbaugruppen der Fa. Ferrotec GmbH werden vor dem Versand sorg- fältig verpackt, dennoch sind Beschädigungen während des Transportes nicht auszuschlie- ßen.
  • Seite 17: Verpackung Für Den Rückversand

    Zum Halten des Gerätes sind an seiner Frontseite zwei Griffe angebracht. 5.5 Aufstellung, Montage (nur für Fachpersonal) Die Montage und Erstinbetriebnahme ist vom Fachpersonal der Fa. Ferrotec GmbH oder Kun- denfachpersonal unter Aufsicht des Anlagenbauers durchzuführen, das für diese Arbeiten ent- sprechend ausgebildet sein muss.
  • Seite 18: Aufstellung

    Montageanleitung Carrera 5.5.1 Aufstellung Das Hochspannungsnetzgerät ist zum Einbau in ein Montagegestell (19“-Schrank) vorgese- hen. Bitte beachten Sie, dass die Aufstellung so erfolgen muss, dass ein ungehinderter Luf- teintritt und –austritt zum Betreiben der Lüfter des Hochspannungsnetzgerätes gewährleistet ist. H I N W E I S ! Prüfen Sie die Tragfähigkeit des Montagegestelles.
  • Seite 19: Abbildung 4: Anschlussplan Carrera3/5/6-System

    Montageanleitung Carrera Abbildung 4: Anschlussplan CARRERA3/5/6-System Abbildung 5: Anschlussplan CARRERA10/12-System 19/30 Ferrotec GmbH 1.3.4...
  • Seite 20: Abbildung 6: Übersicht Über Elektroanschlüsse Und Sicherungen

    Montageanleitung Carrera 5.5.3 Übersicht über Elektroanschlüsse und Sicherungen Abbildung 6: Übersicht über Elektroanschlüsse und Sicherungen Die Elektroanschlüsse und Sicherungen befinden sich an der Rückfront des Hochspannungs- netzgerätes. 1. Hochspannungsausgang X306 bis X309, Verbindung zwischen Hochspannungsnetz- gerät und Filamentstromversorgung. Die Ausgänge werden entsprechend der Bestel- lung eingebaut.
  • Seite 21: Erdungsleitung

    Montageanleitung Carrera H I N W E I S ! Verwenden Sie ausschließlich das mitgelieferte Hochspannungskabel. Nur mit diesem kann EMV-Störungsfreiheit gewährleistet werden. H I N W E I S ! Optional können max. 4 Hochspannungskabel an das Hochspannungsnetzgerät angeschlossen werden. Bitte beachten Sie, dass bei der Ausführung des Hochspannungsnetzgerätes mit mehreren Hochspannungsausgängen...
  • Seite 22: Abbildung 7: Sicherheitsschalterstecker

    Montageanleitung Carrera PIN 10 Überstrom PIN 11 ARC-Fehler PIN 12 ARC-Fehler PIN 13 Übertemperatur PIN 14 Übertemperatur 5.5.4.5 Analoger Interface-Stecker X302: (9-polige Sub.-D Buchse) Analoge Eingänge: PIN 1 Spannungs-Sollwert (0...10 V DC) PIN 2 Spannungs-Sollwert Analoge Ausgänge: PIN 5 Spannungs-Istwert (0...10 V DC)
  • Seite 23: Funktion Und Betrieb

    Montageanleitung Carrera PE(GND) PE(GND) L1(T) L2(S) L3(R) L3(T) L1(T) L2(S) Abbildung 8: Hartingstecker (208V) Abbildung 9: Hartingstecker (400V ) 6 Funktion und Betrieb Abbildung 10: Funktionselemente der Vorderseite Abbildung 11: Funktionselemente der Rückseite 1. Transportgriffe 2. Ein-/ Aus-Schalter 3. Lufteintritt mit Filtermatte (austauschbar) 4.
  • Seite 24: Funktion

    Montageanleitung Carrera 10. Netzzuleitung 11. Sicherungen 12. Sicherheitsschalteranschluss 13. Hochspannungsausgang 6.1.1.1 Funktion Das Hochspannungsnetzgerät stellt die Hochspannung für einen Elektronenstrahlverdampfer bereit, der in einer Vakuumanlage eingebaut ist. Es gestattet eine max. Ausgangsleistung von 3, 5, 6, 10 oder 12 kW. Die Hochspannung ist im Bereich von 4 kV bis 10 kV, der Emissionss- trom im Bereich von 0 mA bis 1200 mA jeweils frei wählbar.
  • Seite 25: Bedienung

    Montageanleitung Carrera Prüfen Sie im Rahmen der Erstinbetriebnahme folgendes auf richtige Verkabelung und festen Sitz: die Erdverbindungen • die Netzzuleitung • die Steuerleitungen • das Hochspannungskabel • Prüfen Sie den Sicherheitskreis (sieh Kapitel 5.5.4 Anschließen des Hochspannungsnetzgerä- tes Seite 20, Sicherheitsschalter-Stecker X304).
  • Seite 26: Betriebsarten

    Montageanleitung Carrera 7.2 Betriebsarten H I N W E I S ! Die Betriebsarten sind in den separaten Anleitungen der Komponenten des Bedienungssystems beschrieben. 7.2.1 Betrieb Der Betrieb des Hochspannungsnetzgerätes ist nur in Verbindung mit einem Steuergerät und der entsprechenden Vakuumanlage mit eingebautem Elektronenstrahlverdampfer und Fila- mentstromversorgung möglich.
  • Seite 27: Reinigung, Wartung

    G E F A H R ! Das Bedien- und Wartungspersonal wird am Einbauort des Hochspannungsnetzgerätes vom Personal der Fa. Ferrotec GmbH auf Wunsch gegen Erstattung der Kosten ausgebildet. Sollten Fragen oder Unsicherheiten auftreten, bitte bei der Fa. Ferrotec GmbH nachfragen.
  • Seite 28: Wartung

    Bitte beachten Sie, dass der regelmäßige Wechsel der Filtermatte notwendig ist, da Staubansammlungen im Innern des Hochspannungsnetzgerätes zu Defekten führen können. Bei Betreiben des Hochspannungsnetzgerätes ohne Filtermatte ist das Netzgerät regelmäßig zur Reinigung an die Firma Ferrotec GmbH einzuschicken. 28/30 Ferrotec GmbH 1.3.4...
  • Seite 29: Kontrollen An Der Anlage

    Montageanleitung Carrera G E F A H R ! Bevor Sie mit dem Wechsel der Filtermatte beginnen, ist die Hochspannung auszuschalten. Führen Sie die Abschaltprozeduren durch (siehe Kapitel 4.5 Abschaltprozeduren Seite 15). Gehen Sie dann wie folgt vor: 1. Ziehen Sie den Filtereinsatz nach vorn heraus.
  • Seite 30: Notfall

    Montageanleitung Carrera ARC-Rate leuchtet Prozessdruck zu hoch Niedrigen Prozessdruck verwen- ARC-Rate überschritten ARC-Rate Einstellung ändern 10 Notfall Im Notfall: Drücken Sie den Not-Aus-Taster an der Vakuumanlage • oder Schalten Sie ggf. den Hauptschalter aus. • Der Not-Aus-Taster kann durch Ziehen oder Links-/Rechtsdrehung entriegelt werden.

Inhaltsverzeichnis