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*1: Beim PTP-Befehl.
Die maximale Geschwindigkeit für den CP-Befehl beträgt 2.000 mm/s in der horizontalen Ebene.
*2: Wenn der Massenschwerpunkt in der Mitte der 4. Achse liegt.
Wenn der Massenschwerpunkt nicht in der Mitte der 4. Achse liegt, stellen Sie den Parameter mithilfe des
Inertia-Befehls ein.
*3: Das Abluftsystem des Reinraum-Modell-Manipulators saugt Luft aus dem Inneren des Sockels und der
Armabdeckung.
Ein Riss oder eine andere Öffnung im Grundgerät kann den Verlust des negativen Luftdrucks im äußeren
Teil des Armes verursachen, was zu einem erhöhten Staubaustritt führen kann.
Entfernen Sie nicht die Wartungsabdeckung auf der Vorderseite des Sockels.
Dichten Sie den Abluft-Ausgang und den Abluft-Schlauch mit Vinyl-Klebeband ab, sodass der Anschluss
luftdicht ist.
Wenn der Abluft-Durchfluss nicht ausreichend ist, kann der Staubpartikel-Austritt den angegebenen
maximalen Grad überschreiten.
Reinheitsgrad
:
Abluftsystem
*4: Für die Messung müssen die folgenden Bedingungen für den Manipulator erfüllt sein:
Betriebsbedingungen : Unter Nennlast, 4-Achsen simultane Bewegung, maximale Geschwindigkeit,
Messpunkt
*5: Während des Normalbetriebs ist die Accel-Einstellung 100 die optimale Einstellung, die während der
Positionierung ein Gleichgewicht zwischen Beschleunigung und Vibration gewährleistet.
Es ist jedoch möglich, dass Sie den Manipulator mit einer höheren Beschleunigung betreiben müssen, um
die Zykluszeit zu verkürzen, indem Sie die Vibration während der Positionierung erhöhen. Wählen Sie in
diesem Fall eine Accel-Einstellung größer 100.
Wenn Sie einen höheren Accel-Wert einstellen, kann im Dauerbetrieb schneller ein Überlastungsfehler
oder ein Überhitzungsfehler auftreten. Ein hoher Accel-Wert wird nur für Bewegungen empfohlen, für die
er tatsächlich erforderlich ist.
G3 Rev.2
ISO-Klasse 3 (ISO14644-1)
Nach früheren Normen: Reinheitsklasse: 10 bzw. deren Entsprechung
Staubmenge (Durchmesser 0,1 µm oder größer) in 28317 cm
den Mittelpunkt des Arbeitsbereiches herum: 10 Partikel oder weniger.
:
Durchmesser Abluft-Ausgang:
Innendurchmesser: ø 12 mm / Außendurchmesser: ø16 mm
Abluftschlauch : Polyurethan-Schlauch
Außendurchmesser: ø 12 mm (Innendurchmesser: ø 8 mm) oder
Innendurchmesser ø16 mm oder größer
Empfohlene Abluft-Durchflussmenge: ca. 1000 cm
maximale Beschleunigung und 50 % Leistung.
: Gegenüber dem Manipulator, 1000 mm vom Arbeitsbereich entfernt, 50 mm
über der Installationsoberfläche.
Einrichten und Betrieb 2. Spezifikationen
3
3
/s (normal)
(1 cft) Probeluft um
25
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