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Einrichten und Betrieb 2. Spezifikationen
Reinraum-Modell: G3-***C
Die folgenden Abbildungen zeigen die zusätzlichen Teile und Spezifikationen des Reinraum-Modells für die
Tischplattenmontage im Vergleich zum Standard-Modell, bezogen auf Äußerlichkeiten.
Oberer
Faltenbalg
Unterer
Faltenbalg
16
Metallisierte
Abdeckung (gegen
statische Elektrizität)
Metallisierte
Abdeckung als Oberfläche für
Abdeckung
die Tischplattenmontage
(gegen statische
Elektrizität)
Abluft-Ausgang
G3 Rev.2
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