LEYBOLD COMBIVAC CM 32 Gebrauchsanleitung
Verwandte Anleitungen für LEYBOLD COMBIVAC CM 32
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD COMBIVAC CM 32
- Seite 1 Vakuum-Messung LEYBOLD INFICON und Komponenten Lecksuche In Situ Analyse GA 09.505 / 2.01 COMBIVAC CM 32 Kat.-Nr. 157 90, 896 90, 897 90 Gebrauchsanleitung...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
THERMOVAC-Meßkanal (TM) ... 24 1.3.1 COMBIVAC CM 32 ....6 2.10.3 Zustands- und Schreibertabellen für den 1.3.2... -
Seite 3: Beschreibung
1 Beschreibung 1.1.1 Verwendungszweck 1.1 Allgemeine Angaben Das COMBIVAC CM 32 ist ein universell verwendbares Das COMBIVAC CM 32 wird betriebsbereit ausgeliefert. Vakuummeter, das durch die Kombination von drei Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchsanlei- Meßprinzipien - lineare Absolutdrucksensoren (MEM- tung sorgfältig zu lesen, um Ihnen so von Anfang an ein... -
Seite 4: Membranovac-Meßkanal (Dm)
1.2.2 MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM) Schaltpunkte 2; Wechselkontakt Modi Einzel / Intervall Meßbereich -1999 mbar bis + 20 000 mbar Bereitmelder potentialfreier Schließer, Sensoren DI 200, DI 2000, 1 Kontakt geschlossen PV 1001, PV 1502 Ex, bei Betriebsbereitschaft MI 200, MI 2000 Fehleranzeige FAIL optisch bzw. -
Seite 5: Schreiberausgänge
Hysterese (Nur für MEMBRANOVAC (DM)-Meßkanal) 1.2.8 HV-Steuereingang Lineare Sensoren (nur für PENNINGVAC) Grundeinstellung Eingangsspannung 0 bis 24 V DC 1 % des Sensorbereiches (Endwert) bzw. einstellbar von 0,1 bis 9,9 % vom Endwert Max. Eingangsspannungs-Bereich - 33 V bis + 33 V Hysterese SPS kompatibler Logikpegel (Low) <... -
Seite 6: Technische Beschreibung
MOVAC-Geräten ausschließlich das Prinzip des geregel- punkte, drei Schreiberausgänge und die Eigenüberwa- ten Piranis zum Einsatz. chung erlauben die Integration des COMBIVAC CM 32 in Hierbei ist der Meßfaden Teil einer Wheatstone-Brücke. komplexe Vakuumsteuerungen. Der MEMBRANOVAC- Ändert sich die Fadentemperatur aufgrund von Druckän- Meßkanal und der THERMOVAC-Meßkanal sind unmit-... -
Seite 7: Ausstattung
Meßleitung 10 m zu TR-Röhren 162 27 1.4.1 Lieferumfang Meßleitung 20 m zu TR-Röhren 162 28 Kat.-Nr. COMBIVAC CM 32 Verlängerungsleitung 20 m zu TR-Röhren 160 77 Europa 230 V ; mbar 157 90 THERMOVAC Meßröhrensimulator T 210 157 10 USA 120 V;... -
Seite 8: Bedienung Und Betrieb
- Einbau bzw. Prüfen und gegebenen- Siehe hierzu Kapitel 2.2.1. falls Austauschen der eingebauten Netzsicherung (siehe Kapitel 2.2.1). Das COMBIVAC CM 32 ist im Auslieferungszustand betriebsbereit. Am CM 32 ist die Netzspannung eingestellt, die an der Kaltgerätesteckdose (lesbar) nach rechts auf die Mar- Meßröhre über die entsprechende Meßleitung an-... -
Seite 9: Bedienelemente Und Deren Funktion
Zum Einstellen der Gerätespannung ist der Sicherungs- 2.3 Bedienelemente und einschub (1/2) neben der Gerätesteckdose (1/1) mit deren Funktion einem Schraubendreher herauszunehmen und so zu drehen, daß die gewünschte Spannung (lesbar) nach rechts auf die Markierung (1/3) zeigt. Den Sicherungs- Eine Übersicht über die Anordnung der Bedien- und einschub (1/2) in dieser Stellung wieder in die Geräte- Anzeigeelemente ist in Abb. -
Seite 10: Numerische Anzeige
THERMOVAC-Sensoren / PENNINGVAC-Sensoren immer nur die Maßeinheit auf, die in der Parameterseite In der Bargraph-Anzeige (3/2) erfolgt die quasi analoge 6 angewählt worden ist. Meßwertdarstellung in logarithmischer Skalierung. Die In der Einstellung Micron wechselt die Einstellung druck- Pfeile an den beiden Enden der Bargraph-Anzeige sig- abhängig zwischen Micron und Torr;... -
Seite 11: Taste Dm, Tm Und Pm
siehe Kapitel 2.9. 2.3.6 Taste HV DISP Die Taste HV (4/1) dient zum Ein- und Ausschalten der Die Bezeichnung DISP zeigt jeweils den Meßkanal an, Hochspannung für den PM-Meßkanal. dessen Meßwert in der Anzeige dargestellt wird. Hier Nach Einschalten der PM-Hochspannung wird unmittel- DM, TM oder PM. -
Seite 12: Taste Dekrement
2.3.9.1 Kontrolle und Einstellen der Geräteparame- Bei Einschalten des Pennings oberhalb von 1·10 mbar erscheint auf der Anzeige ein beliebiger Druckwert. Bei längerem Betrieb in diesem unzulässigen Druckbereich Zur Kontrolle und zum Einstellen der einzelnen Geräte- kann es auch zu erhöhter Verschmutzung des Meßsy- parameter wird die Taste PARA (5/1) gedrückt. - Seite 13 Parameterebene 1 Seite 2 In der Parameterebene 1 befindet sich folgender Inhalt: Eingestellter Triggerwert von Trigger 2. Die Darstellung erfolgt analog zur Seite 1. Seite 1 Eingestellter Triggerwert von Trigger 1. Seite 3 Bei betriebsbereitem DM-, TM- oder PM-Meßkanal blinkt Beim DM-Meßkanal erfolgt die Einstellung der Betriebs- der linke Pfeil, wenn der eingestellte Triggerwert kleiner arten Level-Trigger, Intervall-Trigger und Dreipunkt-Reg-...
- Seite 14 Hinweis Seite 4 Der Schwellwert 2 ist zuerst einzustellen. Hinweis Das eingestellte Intervall (Differenz zwischen Diese Seite erscheint nur beim TM- und PM-Meßkanal. Schwellwert 1 und 2) darf 5 % des eingestellten Wer- tes von Schwellwert 1 nicht unterschreiten. Gasart-Korrektur Ausgang 2 arbeitet auch bei dieser Einstellung als GAS.n2 ‰...
- Seite 15 Die Maßeinheit MICRON läßt sich nur einstellen, wenn kanals. vor der Parametereinstellung der Meßwert des DM- oder Nach Aufruf der Geräteparameterseite 7 erscheint im TM-Meßkanals angezeigt wurde. Display die Bezeichnung AUTO.0 oder AUTO.1. Der PM-Meßkanal zeigt immer in „TORR“ an. AUTO.0 Die Hochspannung kann mit der Taste „HV“...
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Seite 16: Verriegeln Der Parametereinstellung
Sensorkodierung lassen sich die Druckbereiche in den Hinweis folgenden Grenzen verschieben: Bei der Kombination der Meßröhre TR 211 ab der Bau- Min. Druck (entspricht 4 mA) reihe B1 oder der Meßröhre TR 216 und TM-Meßkanal -1999 bis 0 mbar (Torr) ab Softwareversion 2.0 erfolgt ein automatischer Lei- -1,9·10 bis 0 Pa... -
Seite 17: Versorgungs- Und Steckeranschlüsse Auf Der Geräterückseite
S 2 = TM-Meßkanal Hinweis Die in dieser Abbildung dargestellten Klemmenbe- zeichnungen sind nach DIN-Vorschrift durchge- führt. Aus Platzgründen sind die Ziffern-Bezeichnungen nicht auf der Geräterückseite bzw. der Klemmenlei- ste dargestellt. Abb. 7 Geräterückseite COMBIVAC CM 32 GA 09.505/2.01 - 09/97... -
Seite 18: Ausgangs-Schraubklemmen Des Membranovac- Und Thermovac-Meßkanals
Erläuterungen zur Abb. 8 Pinbelegung Pin 1 Pin 2 Meßsignal 4 bis 20 mA Pin 3 Kodierung Meßbereich Pin 4 Pin 5 Kodierung Sensortyp Pin 6 Versorgung 12 bis 30 V DC (+) Pin 7 Abschirmung Abb. 8 Anschluß der MEMBRANOVAC-Sensoren 2.4.3 Ausgangs-Schraubklemmen des Die Belegung der 4poligen Klemmleiste (9/2) für den MEMBRANOVAC-Meßkanal ist wie folgt:... -
Seite 19: Ausgangs-Schraubklemmen Des Penningvac-Meßkanals
THERMOVAC-Meßkanal ist wie folgt: Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (9/5) ist wie folgt: Kontaktbelegung –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– Kontaktbelegung (Ruhezustand) Kontaktsymbol –––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––––– Ready Schreiberausgang 0 bis 10 V (REC) NO (offen) Schreiberausgang (Masse) NC (geschlossen) Die Belegung der 8poligen Klemmleiste (9/1) und (9/6) Trigger 1 ist wie folgt: NO (offen) -
Seite 20: Aufstellen Des Gerätes
2.5 Aufstellen des Gerätes 2.5.4 Verwendung des CM 32 als Tisch- gerät Das COMBIVAC CM 32 arbeitet zuverlässig bei den übli- Zur Verwendung des CM 32 als Tischgerät kann an der chen industriellen Umgebungsbedingungen (siehe Kapi- Geräteunterseite der Standfuß (Best.-Nr. 200 60 900) tel 1.2.10). -
Seite 21: Der Penningvac-Meßkanal
dem CM 32 selber liegt. 2.7.2 Abgleich der THERMOVAC-Meßröhren 2.6.2 Der PENNINGVAC-Meßkanal Die Alterung und die Verschmutzung des Meßfadens be- einträchtigen die Genauigkeit der Druckanzeige. Daher Der PENNINGVAC-Meßkanal ist werkseitig abgeglichen wird empfohlen, die THERMOVAC-Meßröhren bei Be- und wartungsfrei. darf abzugleichen. Der Abgleich kann wie folgt durchge- Mit dem Testkopf T 35 läßt sich die Gerätefunktion über- führt werden: prüfen. -
Seite 22: Außerbetriebsetzung
Dieses Zeichen kennzeichnet einen gerätein- ternen Fehler bzw. einen Gerätedefekt. Gerät instandsetzen lassen. FAULT 2.9 Zustandsmeldungen Nur beim MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM). Das COMBIVAC CM 32 zeigt verschiedene Zustands- meldungen an. P Sensorendwert (Parameterseite 7) und FAIL FAIL bezeichnet einen Sensorfehler. Codierter Sensor angeschlossen oder vorher Liegt bei Anwahl des MEMBRANOVAC- oder angeschlossen gewesen. -
Seite 23: Zustands- Und Schreibertabellen
2.10 Zustands- und Schreibertabellen 2.10.1 Zustands- und Schreibertabellen für den MEMBRANOVAC-Meßkanal (DM) Tabelle 1 Verhalten von Schreiberausgang, Trigger-Relais und Bereitmelder im DM-Meßkanal I = Sensorsignal System-Zustand Anzeige Urec = Analogaus- Bereitschaftsrelais Triggerrelais in mA gang in V 0 bis 1 kein Sensor No Sen 10 <... -
Seite 24: Zustands- Und Schreibertabellen Für Den Thermovac-Meßkanal (Tm)
Tabelle 2 Verhalten von TM-Druckanzeige zu TM-Schreiberausgang Gleichung für den Schreiberausgang (Ua) beim THER- MOVAC-Meßkanal; siehe auch Tabelle 2: mbar Torr Micron Schreiber- Spannung 1,0·10 1,0·10 1,0·10 0,00 V Ua = — ( log. p + 3) 2,0·10 2,0·10 2,0·10 0,50 V 5,0·10 5,0·10... -
Seite 25: Zustands- Und Schreibertabellen Für Den Penningvac-Meßkanal (Pm)
Tabelle 5 Zuordnung: Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese in Einstellung Leveltrigger und Standard-Auflösung mbar Torr Micron Meßun- Trigger-Hysterese sicherheit Level-Trigger 1,0·10 bis 4,9·10 1,0·10 bis 4,9·10 1,0·10 bis 4,9·10 1, 2, 3, 4 ± 20 % nicht einstellbar 5,0·10 bis 9,9·10 5,0·10 bis 9,9·10 5,0·10... - Seite 26 Tabelle 9 Zuordnung; Meßbereich, Meßunsicherheit und Schaltpunkthysterese Tabelle 8 Anzeigeauflösung und -schritte in Einstellung Level-Trigger Druck Schrittweite Schrittweite mbar Torr Meßunsicherheit Trigger-Hysterese [mbar] bei STD bei HIGH Level-Trigger 9,90·10 9,9·10 9,9·10 9,9·10 nicht einstellbar 0,1er-Schritte 0,05er-Schritte 1,00·10 1,0·10 1,0·10 1,0·10 0,1er-Schritte 0,01er-Schritte - 50;...
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Seite 27: Wartung
3 Wartung 3.1 Service bei LEYBOLD Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. -
Seite 28: Kurzanweisung
4 Kurzanweisung GA 09.505/2.01 - 09/97... - Seite 29 GA 09.505/2.01 - 09/97...
- Seite 30 LEYBOLD INFICON Bonner Straße 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Telefon: + 49 (221) 347-0 Telefax: + 49 (221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de GA 09.505/2.01 - 09/97...